特許ウォッチ

公開番号2025089820
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-16
出願番号2023204720
出願日2023-12-04
発明の名称精製管の寿命測定方法及び測定装置
出願人大陽日酸株式会社
代理人弁理士法人志賀国際特許事務所
主分類G01N 5/02 20060101AFI20250609BHJP(測定;試験)
要約【課題】精製管を使用しながら、かつコストを抑えた上で、精製管の寿命を測定することができる、精製管の寿命測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】精製管9の寿命測定方法は、吸着材8を収納した精製管9を、振動機6を用いて振動させ、振動機6で振動している精製管9の振動数を測定し、精製管9の振動数の変化から、吸着材8の吸着による精製管9の重量変化を検知する。精製管9の寿命測定装置Sは、吸着材8を収納した精製管9を振動させる振動機6と、振動機6で振動している精製管9の振動数を測定する測定器13と、精製管9の振動数の変化から、吸着材8の吸着による精製管9の重量変化を検知する検知手段(PC17)と、を備えている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
吸着材を収納した精製管を、振動機を用いて振動させ、
前記振動機で振動している前記精製管の振動数を測定し、
前記精製管の前記振動数の変化から、前記吸着材の吸着による前記精製管の重量変化を検知することを特徴とする、前記精製管の寿命測定方法。
続きを表示（約 750 文字）【請求項２】
前記精製管に一定の強度で振動入力を付与することを特徴とする、請求項１に記載の精製管の寿命測定方法。
【請求項３】
前記精製管に試料ガスを流通して前記精製管の使用状態としながら、前記精製管の前記振動数の変化を測定することを特徴とする、請求項１又は２に記載の精製管の寿命測定方法。
【請求項４】
吸着材を収納した精製管を振動させる振動機と、
前記振動機で振動している前記精製管の振動数を測定する測定器と、
前記精製管の前記振動数の変化から、前記吸着材の吸着による前記精製管の重量変化を検知する検知手段と、を備えていることを特徴とする、前記精製管の寿命測定装置。
【請求項５】
前記精製管の前記振動数が前記精製管の寿命と認められる閾値に到達する前に、前記精製管又は前記吸着材の交換時期であることを通知する通知手段を備えていることを特徴とする、請求項４に記載の精製管の寿命測定装置。
【請求項６】
前記精製管の前記振動数が前記閾値の７割から８割まで到達したときに、前記通知手段が通知を行うことを特徴とする、請求項５に記載の精製管の寿命測定装置。
【請求項７】
前記振動機は、前記精製管に鉛直方向の振動を付与するものであり、
前記精製管の上部又は下部にバネ型配管が接続されていることを特徴とする、請求項４から６の何れか一項に記載の精製管の寿命測定装置。
【請求項８】
前記精製管は、振動方向に沿う側面に、振動数測定用の定点が印字され、
前記測定器は、振動中の前記精製管の前記定点を測定することを特徴とする、請求項４から６の何れか一項に記載の精製管の寿命測定装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、精製管の寿命測定方法及び測定装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体産業や各種産業において、高純度の工業ガスが使用されている。高純度の工業ガスが、製造ラインで使用される際、さらに純度を高めるために、または、大気の混入を防ぐために、ガス出口配管に精製管を設置して工業ガスを使用する必要がある。精製管は、工業ガス中の大気成分の水分や、酸素、炭酸ガス等を精製する目的で設置されている。精製管には、吸着材として、シリカゲル、活性アルミナ等、各大気成分の吸着性能に応じた吸着材が充填されている。精製管は、一定量の対象成分を吸着後は、精製できなくなるため、精製管の交換や再生等の定期的なメンテナンスが必要となっている。精製前の工業ガス中の不純物成分の濃度が一定である場合、精製管の寿命予想は可能であるが、一時的に高濃度の不純物成分が精製管に導入されることがあると、精製管の寿命予想は難しくなる課題があった。精製管のメンテナンス時期の判断として、例えば特許文献１、２及び３が開示されている。
特許文献１では、吸着材の吸・脱着工程における温度差を測定することで、精製管の寿命を判定する方法となっている。
特許文献２では、フィルタ出入口の差圧を測定する方法となっており、フィルタ出入口に分岐した配管と圧力計とが設置されている。
特許文献３では、パージガスを精製管に流通して不純物成分の濃度を測定することで、精製管の寿命を判定する方法となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平８－１１７５４１号公報
特開平８－３３６９９３号公報
特開２０１１－０５３１１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１では、精製管の通常の使用状態は、吸着工程であり、連続して使用しながらの状態で寿命判定は不可となっている。
特許文献２では、精製管の寿命を測定する工程は、真空状態にする必要があり、精製管を連続して使用しながらの状態で寿命判定は不可となっている。
特許文献３では、精製管の寿命を測定するために、一部精製ガスを分析計に流す必要があり、分析時に全ての精製ガスを使用できない問題や、分析計の設置や試料ガスを流通するための流路を増設する必要があり、設備のコストアップにつながる問題があった。
【０００５】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、精製管を使用しながら、かつコストを抑えた上で、精製管の寿命を測定することができる、精製管の寿命測定方法及び測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の精製管の寿命測定方法および測定装置では、振動機による振動を精製管に付与し、振動中の精製管の定点を振動数測定器で測定し、精製管の振動数の変化から、精製管内の吸着材が対象成分を吸着することによる重量変化を検知する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の精製管の寿命測定方法及び測定装置によれば、精製管を通常の使用状態で使用しながら、精製管の寿命を測定することができる。さらに、１台の振動機の検出器とで複数台の精製管の寿命を測定可能であり、精製管の管理コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の実施形態における精製管の寿命測定装置の構成を示す説明図である。
上記寿命測定装置から取り外した状態の精製管を示す説明図である。
実施例１の精製管の寿命測定の試験結果を示すグラフであり、（ａ）は振動数の時間変化を示し、（ｂ）は重量の時間変化を示す。
実施例２の精製管の寿命測定の試験結果を示すグラフであり、（ａ）は振動数の時間変化を示し、（ｂ）は重量の時間変化を示す。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明に係る一実施形態である精製管の寿命測定方法及び測定装置について、図を参照して説明する。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかり易くするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
【００１０】
本発明に適用した精製管の寿命測定方法及び測定装置の構成について説明する。図１は、精製管の寿命測定装置の構成を示す説明図である。図２は、寿命測定装置から取り外した状態の精製管を示す説明図である。
本発明の精製管の寿命測定装置Ｓは、バルブ３，３ｂ，１４，１４ｂ、バネ型配管５、精製管９、蛇腹配管１６、振動機６及び検出器１３を備えている。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許