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公開番号2025090303
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-17
出願番号2023205463
出願日2023-12-05
発明の名称窒素ガス精製装置
出願人大陽日酸株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類C01B 21/04 20060101AFI20250610BHJP(無機化学)
要約【課題】常温では除去が難しい不純物ガスの除去が可能な窒素ガス精製装置を提供する。
【解決手段】吸着部と、前記吸着部への導入経路と、前記吸着部からの排出経路とを有し、前記導入経路から前記吸着部に導入された窒素ガス中の不純物ガスを前記吸着部で吸着することで精製された前記窒素ガスを前記吸着部から前記排出経路へ排出する窒素ガス精製装置であって、前記導入経路は、前記窒素ガスを液化窒素との熱交換によって冷却する熱交換器を有する、窒素ガス精製装置。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
吸着部と、前記吸着部への導入経路と、前記吸着部からの排出経路とを有し、前記導入経路から前記吸着部に導入された窒素ガス中の不純物ガスを前記吸着部で吸着することで精製された前記窒素ガスを前記吸着部から前記排出経路へ排出する窒素ガス精製装置であって、
前記導入経路は、前記窒素ガスを液化窒素との熱交換によって冷却する熱交換器を有する、窒素ガス精製装置。
続きを表示（約 620 文字）【請求項２】
前記導入経路は、前記熱交換器よりも上流側に、前記導入経路を流れる前記窒素ガスを前記排出経路を流れる前記窒素ガスとの熱交換によって冷却する副熱交換器を有する、請求項１に記載の窒素ガス精製装置。
【請求項３】
真空断熱部によって囲繞される恒温室を有する恒温槽を有し、
前記吸着部及び前記熱交換器は前記恒温室内に設けられ、
前記副熱交換器は前記真空断熱部内に設けられる、請求項２に記載の窒素ガス精製装置。
【請求項４】
前記恒温室内の所定部分の温度が－１６０℃以上且つ－１００℃以下となるように、前記熱交換器に導入される前記液化窒素の流量及び温度を調整する制御部を有する、請求項３に記載の窒素ガス精製装置。
【請求項５】
請求項１に記載の窒素ガス精製装置（Ａ）と、
請求項１に記載の窒素ガス精製装置（Ｂ）と、
前記窒素ガス精製装置（Ａ）の導入経路（Ａ）と前記窒素ガス精製装置（Ｂ）の導入経路（Ｂ）とに分岐する共通導入経路と、
前記窒素ガス精製装置（Ａ）の排出経路（Ａ）と前記窒素ガス精製装置（Ｂ）の排出経路（Ｂ）とが合流する共通排出経路とを有し、
前記共通導入経路から導入して前記共通排出経路へ排出する前記窒素ガスの精製を前記窒素ガス精製装置（Ａ）及び前記窒素ガス精製装置（Ｂ）を交互に利用して行う、窒素ガス精製システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は窒素ガス精製装置に関する。
続きを表示（約 950 文字）【背景技術】
【０００２】
導入された窒素ガス中の不純物ガスを常温で吸着する吸着装置を有する窒素ガス精製装置が知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００３－１４６６２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような窒素ガス精製装置は、水分などの不純物ガスを除去できるが、炭化水素などの不純物ガスを除去することは難しい。
【０００５】
そこで本発明の目的は、常温では除去が難しい不純物ガスの除去が可能な窒素ガス精製装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様は以下のとおりである。
【０００７】
［１］
吸着部と、前記吸着部への導入経路と、前記吸着部からの排出経路とを有し、前記導入経路から前記吸着部に導入された窒素ガス中の不純物ガスを前記吸着部で吸着することで精製された前記窒素ガスを前記吸着部から前記排出経路へ排出する窒素ガス精製装置であって、
前記導入経路は、前記窒素ガスを液化窒素との熱交換によって冷却する熱交換器を有する、窒素ガス精製装置。
【０００８】
［２］
前記導入経路は、前記熱交換器よりも上流側に、前記導入経路を流れる前記窒素ガスを前記排出経路を流れる前記窒素ガスとの熱交換によって冷却する副熱交換器を有する、［１］に記載の窒素ガス精製装置。
【０００９】
［３］
真空断熱部によって囲繞される恒温室を有する恒温槽を有し、
前記吸着部及び前記熱交換器は前記恒温室内に設けられ、
前記副熱交換器は前記真空断熱部内に設けられる、［２］に記載の窒素ガス精製装置。
【００１０】
［４］
前記恒温室内の所定部分の温度が－１６０℃以上且つ－１００℃以下となるように、前記熱交換器に導入される前記液化窒素の流量及び温度を調整する制御部を有する、［３］に記載の窒素ガス精製装置。
（【００１１】以降は省略されています）

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