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公開番号2025087428
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-10
出願番号2023202085
出願日2023-11-29
発明の名称基板搬送装置及びそれを備えた基板処理装置
出願人株式会社SCREENホールディングス
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250603BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板の受け渡し先との間で確実に基板を受け渡しできる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】制御部は、載置部に基板Wを受け渡す際には、載置部に設定されたキャプチャレンジCRR1に基づいて、挟持制御部を操作して、受け渡し位置RPがキャプチャレンジCRR1の内側となるように各ガイド67を移動させる。したがって、受け渡し位置RPにガイド67が移動する際に基板Wが引きずられたとしても、基板WはキャプチャレンジCRR1内に収まる。その結果、載置部に確実に基板Wを受け渡しできる。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
基板を搬送する基板搬送装置において、
前記基板を水平姿勢で保持するハンドと、
前記基板を受け渡し可能な範囲である第１のキャプチャレンジが規定されている載置部との間で前記基板を受け渡すために、前記ハンドを水平面内で進退駆動する水平駆動機構と、
前記ハンドに設けられ、前記基板の外周縁を当接支持するための第１のガイドと、
前記ハンドに設けられ、前記第１のガイドとともに前記基板を挟持することにより、前記基板を前記ハンドから離間させて保持する第２のガイドと、
前記ハンドで前記基板を受け渡し可能な範囲である第２のキャプチャレンジの外側である待避位置と、前記第２のキャプチャレンジの内側であって、前記基板を挟持するための挟持位置と、前記載置部との間で前記基板を受け渡すための位置であって、前記挟持位置と前記退避位置との間の位置である受け渡し位置との少なくとも３箇所に前記第２のガイドを移動させるモータ駆動部と、
前記載置部に前記基板を受け渡す際には、前記載置部ごとに設定された前記第１のキャプチャレンジに基づいて、前記モータ駆動部を操作して、前記受け渡し位置が前記第１のキャプチャレンジの内側となるように前記第２のガイドを移動させる制御部と、
を備えていることを特徴とする基板搬送装置。
続きを表示（約 750 文字）【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記第１のキャプチャレンジを前記載置部と対応付けて記憶するキャプチャレンジ記憶部をさらに備え、
前記制御部は、前記載置部に前記基板を受け渡す際には、前記キャプチャレンジ記憶部を参照することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記制御部は、前記載置部から前記基板を受け取る際には、前記基板の形状に応じて、前記モータ駆動部を操作して、前記第２のガイドが前記基板の外側に位置するように移動させることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項４】
請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記ガイドは、円柱状を呈していることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項５】
請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記モータ駆動部は、前記ガイドを進退駆動するモータと、前記モータを駆動するための駆動電流を付与する駆動回路と、前記モータの回転位置を検出するエンコーダとを備え、
前記駆動回路の駆動電流情報に基づいて前記当接を検出する駆動電流検出部と、前記エンコーダから出力される位置情報に基づいて前記当接を検出する位置情報検出部との少なくとも一方をさらに備え、
前記制御部は、前記駆動電流情報と前記位置情報との少なくとも一方に基づいて、前記挟持位置において前記基板への付勢力を調整することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の基板搬送装置と、
前記載置部を備え、前記基板に対して所定の処理を行う処理部と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板、液晶表示用や有機ＥＬ（Electroluminescence）表示装置などのＦＰＤ（Flat Panel Display）用基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の基板を搬送する基板搬送装置及びそれを備えた基板処理装置に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、この種の装置として、支持板と、複数のパッドと、少なくとも一つの固定ストッパと、少なくとも１つの可動ストッパと、ストッパアクチュエータとを備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
支持板は、基板を受け渡すことができる範囲として基準となる基準キャプチャレンジが規定されている。複数のパッドは、基準キャプチャレンジ内で支持板に配置されている。固定ストッパは、基準キャプチャレンジの外周円に沿って配置され、複数のパッドで支持された基板が基準キャプチャレンジの外周側への移動することを規制する。可動ストッパは、固定ストッパと同じ高さ部分を有する。ストッパアクチュエータは、可動ストッパを基準キャプチャレンジの外周円の外側の退避位置から、固定ストッパに近い進出位置に移動させる。ストッパアクチュエータは、エアシリンダで構成されている。
【０００４】
この基板搬送装置は、可動ストッパを進出させると、基板の直径より大きく、かつ基準キャプチャレンジより小さい縮小キャプチャレンジとすることができる。この状態で支持板上における基板の位置決めを行い、可動ストッパを退避位置にした状態で基板を受け渡し先である載置部に載置する。これにより、支持板上において縮小キャプチャレンジに基板を載置しているので、載置部に対して良好な位置精度で基板を移載できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２１－１３６３９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の装置は、縮小キャプチャレンジにて基板を保持した後、載置部への受け渡しの際に可動ストッパを退避位置に移動させると、基板の位置がズレすることがある。したがって、載置部側におけるキャプチャレンジである受け側キャプチャレンジから基板がはみ出すことがある。そのため、基板を載置部に受け渡すことができずに移載不良となる恐れがある。特に、最近では、基板が粘着性の物質を含む場合がある。このような基板では、可動ストッパが退避位置に移動する際に、可動ストッパに基板が引きずられるので、移載不良となりやすい。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、基板の受け渡し先との間で確実に基板を受け渡しできる基板搬送装置及びそれを備えた基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板を搬送する基板搬送装置において、前記基板を水平姿勢で保持するハンドと、前記基板を受け渡し可能な範囲である第１のキャプチャレンジが規定されている載置部との間で前記基板を受け渡すために、前記ハンドを水平面内で進退駆動する水平駆動機構と、前記ハンドに設けられ、前記基板の外周縁を当接支持するための第１のガイドと、前記ハンドに設けられ、前記第１のガイドとともに前記基板を挟持することにより、前記基板を前記ハンドから離間させて保持する第２のガイドと、前記ハンドで前記基板を受け渡し可能な範囲である第２のキャプチャレンジの外側である待避位置と、前記第２のキャプチャレンジの内側であって、前記基板を挟持するための挟持位置と、前記載置部との間で前記基板を受け渡すための位置であって、前記挟持位置と前記退避位置との間の位置である受け渡し位置との少なくとも３箇所に前記第２のガイドを移動させるモータ駆動部と、前記載置部に前記基板を受け渡す際には、前記載置部ごとに設定された前記第１のキャプチャレンジに基づいて、前記モータ駆動部を操作して、前記受け渡し位置が前記第１のキャプチャレンジの内側となるように前記第２のガイドを移動させる制御部と、を備えていることを特徴とするものである。
【０００９】
［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、制御部は、載置部に基板を受け渡す際には、載置部ごとに設定された第１のキャプチャレンジに基づいて、モータ駆動部を操作して、受け渡し位置が第１のキャプチャレンジの内側となるように第２のガイドを移動させる。したがって、受け渡し位置に第２のガイドが移動する際に基板が引きずられたとしても、基板は第１のキャプチャレンジ内に収まる。その結果、載置部に確実に基板を受け渡しできる。
【００１０】
また、本発明において、前記第１のキャプチャレンジを前記載置部と対応付けて記憶するキャプチャレンジ記憶部をさらに備え、前記制御部は、前記載置部に前記基板を受け渡す際には、前記キャプチャレンジ記憶部を参照することが好ましい（請求項２）。
（【００１１】以降は省略されています）

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