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公開番号2025087139
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-10
出願番号2023201583
出願日2023-11-29
発明の名称試料支持体
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01N 27/62 20210101AFI20250603BHJP(測定;試験)
要約【課題】分析の高精度化を図ると共にハンドリング性を向上させることができる試料支持体を提供する。
【解決手段】試料支持体1は、第1表面2aと、第1表面2aとは反対側の第2表面2bと、第1表面2aの縁部と第2表面2bの縁部とを接続する側面2cと、少なくとも第1表面2a及び側面2cに開口するように分布する空隙2dと、を有する基板2を備えている。基板2は、互いに連結された複数の粒子20によって形成されている。複数の粒子20のうち側面2cを構成する複数の側面粒子20Bの少なくとも一部の外面は、凹凸構造4が形成された粗面21aとされている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
試料のイオン化用の試料支持体であって、
第１表面と、前記第１表面とは反対側の第２表面と、前記第１表面の縁部と前記第２表面の縁部とを接続する側面と、少なくとも前記第１表面及び前記側面に開口するように分布する空隙と、を有する多孔質基板を備え、
前記多孔質基板は、互いに連結された複数の粒子によって形成されており、
前記複数の粒子のうち前記側面を構成する複数の側面粒子の少なくとも一部の外面は、凹凸構造が形成された粗面とされている、試料支持体。
続きを表示（約 750 文字）【請求項２】
前記複数の側面粒子の少なくとも一部は、前記粗面とは反対側において前記凹凸構造が形成されていない非粗面を有する、請求項１に記載の試料支持体。
【請求項３】
前記複数の側面粒子の少なくとも一部は、エネルギー線が照射されたことに応じてイオンを放出する物質によって形成されている、請求項１に記載の試料支持体。
【請求項４】
前記複数の側面粒子の少なくとも一部の前記粗面上には、エネルギー線が照射されたことに応じてイオンを放出する物質が配置されている、請求項１に記載の試料支持体。
【請求項５】
前記多孔質基板の表面に設けられた導電層を更に備え、
前記導電層は、前記第１表面における前記空隙の開口を塞がないように前記第１表面上に設けられた第１導電領域と、前記第１導電領域と接続されると共に前記側面における前記空隙の開口を塞がないように前記側面上に設けられた第２導電領域と、を含み、
前記第２導電領域は、前記複数の側面粒子の少なくとも一部の前記粗面上において、前記凹凸構造の表面形状に沿って設けられている、請求項１に記載の試料支持体。
【請求項６】
前記第２導電領域における前記導電層の厚さは、前記第１導電領域における前記導電層の厚さよりも小さい、請求項５に記載の試料支持体。
【請求項７】
前記第１表面は、矩形状を有し、
前記第１表面の四隅に対応する部分には、前記導電層が設けられていない、請求項５に記載の試料支持体。
【請求項８】
前記側面は、前記第１表面から前記第２表面に向かうにつれて外側に広がるように傾斜する傾斜領域を含んでいる、請求項１に記載の試料支持体。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、試料支持体に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
試料のイオン化に用いられる試料支持体として、主面及び側面を含む多孔質基板を備えた試料支持体が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような試料支持体の多孔質基板は、不規則に分布し且つ主面に開口する空隙を含んでいる。上記試料支持体によれば、多孔質基板の主面上に留まる試料の量を適切に調整し、試料の成分を好適にイオン化することが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－４３５７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような試料支持体においては、試料の分析の高精度化が求められていると共に、分析作業時における試料支持体の使いやすさ（ハンドリング性）が求められている。
【０００５】
本開示は、分析の高精度化を図ると共にハンドリング性を向上させることができる試料支持体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示は、［１］～［８］の試料支持体を含む。
【０００７】
［１］試料のイオン化用の試料支持体であって、
第１表面と、前記第１表面とは反対側の第２表面と、前記第１表面の縁部と前記第２表面の縁部とを接続する側面と、少なくとも前記第１表面及び前記側面に開口するように分布する空隙と、を有する多孔質基板を備え、
前記多孔質基板は、互いに連結された複数の粒子によって形成されており、
前記複数の粒子のうち前記側面を構成する複数の側面粒子の少なくとも一部の外面は、凹凸構造が形成された粗面とされている、試料支持体。
【０００８】
上記［１］の試料支持体では、多孔質基板は、第１表面に開口する空隙を含んでいる。これにより、多孔質基板の第１表面に対して試料が導入されると、試料が多孔質基板の空隙内に適度に拡散し、第１表面上に留まる試料の量が適切に調整される。その結果、第１表面上に留まる試料を好適にイオン化することができる。また、多孔質基板の空隙は、側面にも開口している。これにより、例えば、試料支持体の第１表面に試料が転写された試料支持体を真空装置に導入した際等に、多孔質基板のガス抜き（すなわち、空隙内に溜まったガスの側面からの排出）を好適に行うことができる。また、第１表面の全面に試料を転写する際にも、第１表面から基板の内部に導入されたガスを側面の開口から逃すことができるため、多孔質基板の内部に余計なガス（残留ガス）が溜まることを抑制でき、ひいては当該残留ガスに起因する転写ムラの発生を抑制することができる。さらに、多孔質基板の側面の少なくとも一部の外面は、凹凸構造が形成された粗面とされている。これにより、例えば、作業者が多孔質基板の側面を指で保持する際や、試料支持体を支持するための器具を用いて多孔質基板の側面を保持する際等において、当該粗面が滑り止めの機能を発揮するため、試料支持体のハンドリング性を向上させることができる。以上により、上記試料支持体によれば、分析の高精度化を図ると共にハンドリング性を向上させることができる。
【０００９】
［２］前記複数の側面粒子の少なくとも一部は、前記粗面とは反対側において前記凹凸構造が形成されていない非粗面を有する、［１］の試料支持体。
【００１０】
上記［２］の試料支持体によれば、側面粒子の内側面を非粗面とすることにより、側面粒子と当該側面粒子の内側に位置する粒子との結合強度を十分に確保し、側面粒子のこぼれ落ち等を抑制できる。また、側面粒子の内側に凹凸構造を設けないことにより、側面粒子の内側にも凹凸構造が形成される場合と比較して、側面粒子の内側におけるガスの流通（例えば、上述した残留ガスの流通）の円滑化を図ることができ、ひいては側面の開口からのガス抜きを好適に行うことができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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