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公開番号2025082423
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-29
出願番号2023195729
出願日2023-11-17
発明の名称保持装置
出願人日本特殊陶業株式会社
代理人弁理士法人暁合同特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250522BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ガス流路内での異常放電を抑制しつつ、保持装置の大型化を抑制する。
【解決手段】保持装置1は、第1表面S1、及び第1表面S1の反対側に位置する第2表面S2を有する絶縁性の板状部材11と、板状部材11の内部に形成されるガス流路と、板状部材11の内部に形成される第1電極50と、板状部材11の内部に形成され、第1電極50に接続される配線70とを有する保持基板10を備える。ガス流路は、第1表面S1側に開口したガス流出口12Bを含み、ガス流出口12Bから第2表面S2側に延びた縦流路部と、縦流路部と接続し、第1表面S1に対して平行に延びた横流路部14とを有し、第1電極50は、横流路部14内に露出して配される露出部51を有する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
第１表面、及び前記第１表面の反対側に位置する第２表面を有する絶縁性の板状部材と、
前記板状部材の内部に形成されるガス流路と、
前記板状部材の内部に形成される第１電極と、
前記板状部材の内部に形成され、前記第１電極に接続される配線とを有する保持基板を備える保持装置であって、
前記ガス流路は、前記第１表面側に開口したガス流出口を含み、前記ガス流出口から前記第２表面側に延びた縦流路部と、前記縦流路部と接続し、前記第１表面に対して平行に延びた横流路部とを有し、
前記第１電極は、前記横流路部内に露出して配される露出部を有する、保持装置。
続きを表示（約 450 文字）【請求項２】
前記配線は、前記保持基板に接合される金属部材または端子に接続されている、請求項１に記載の保持装置。
【請求項３】
前記板状部材の内部に形成され、前記第１表面に直交する方向について前記第１電極と同じ位置に配される第２電極をさらに備える、請求項１または請求項２に記載の保持装置。
【請求項４】
前記第１電極と前記第２電極とは同電位となっている、請求項３に記載の保持装置。
【請求項５】
前記横流路部が延びる方向に直交する方向の寸法を幅と定義した場合に、前記露出部の幅は前記横流路部の幅よりも小さい、請求項３に記載の保持装置。
【請求項６】
前記第１電極は、前記露出部と連続して形成され、前記横流路部内に露出されない埋設部を有する、請求項１または請求項２に記載の保持装置。
【請求項７】
前記露出部は、前記横流路部における前記第１表面側の内壁に配置されている、請求項１または請求項２に記載の保持装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、保持装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
保持装置の一例として、下記特許文献１に記載の静電チャックが知られている。この静電チャックは、第１の面と第２の面とを有するプレートと、第１の面に近接してプレート内に埋め込まれた第１の電極と、第２の面に近接してプレート内に埋め込まれた第２の電極と、第１の電極を第２の電極に連結する複数の導電性要素と、プレート内で、かつ第１の電極と第２の電極との間に配置された第１のガスチャネルと、プレートの第２の面から第１のガスチャネルへ延在するガス注入口と、プレートの第１の面から第１のガスチャネルへ延在する複数のガス排出口とを含む。
【０００３】
基板やウェハ等のプラズマ処理を行う際には、プラズマ処理チャンバ等の内部に、プレートの第１の面が上面、第２の面が下面となる姿勢で静電チャックを配置し、第１の面上に基板等を保持させる。そして、プレートの下方に配される金属製の冷却板に高周波電力を印加し、プラズマを発生させるとともに、基板等にバイアス電圧を生じさせる。また、プレートの第１の面に保持された基板等の温度制御性を高めるため、ヘリウム等の熱伝導性ガスが、第２の面側からプレート内のガス流路を介して第１の面側に送られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開第２０２０／１８５３９５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、処理の高速化等を図るため、プラズマ処理時に印加される高周波電力が高電圧化されている。この結果、冷却板と基板等との間の電位差が大きくなり、ガス流路内において意図しない異常放電（アーク放電）が発生する場合がある。特許文献１の静電チャックでは、第１のガスチャネルの上下に第１の電極及び第２の電極を配置することにより、第１のガスチャネル内での異常放電を抑制している。しかし、特許文献１に記載の構成によれば、プレート内に第１の電極及び第２の電極を形成することにより、プレートの厚みが大きくなることが懸念される。
【０００６】
本開示は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、ガス流路内での異常放電を抑制しつつ、保持装置の大型化を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の保持装置は、第１表面、及び前記第１表面の反対側に位置する第２表面を有する絶縁性の板状部材と、前記板状部材の内部に形成されるガス流路と、前記板状部材の内部に形成される第１電極と、前記板状部材の内部に形成され、前記第１電極に接続される配線とを有する保持基板を備える保持装置であって、前記ガス流路は、前記第１表面側に開口したガス流出口を含み、前記ガス流出口から前記第２表面側に延びた縦流路部と、前記縦流路部と接続し、前記第１表面に対して平行に延びた横流路部とを有し、前記第１電極は、前記横流路部内に露出して配される露出部を有する、保持装置である。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、ガス流路内での異常放電を抑制しつつ、保持装置の大型化を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、実施形態１にかかる保持装置の外観構成を模式的に表した斜視図である。
図２は、実施形態１にかかる保持装置の内部構造を模式的に表した断面図である。
図３は、基板側ガス流路の一部を拡大した保持装置の断面図である。
図４は、水平方向における第１電極、第２電極、及び横流路部の配置について説明する説明図である。
図５は、実施形態２にかかる基板側ガス流路の一部を拡大した保持装置の断面図である。
図６は、実施形態３にかかる基板側ガス流路の一部を拡大した保持装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
［本開示の実施形態の説明］
最初に本開示の実施形態を列挙して説明する。
（１）本開示の保持装置は、第１表面、及び前記第１表面の反対側に位置する第２表面を有する絶縁性の板状部材と、前記板状部材の内部に形成されるガス流路と、前記板状部材の内部に形成される第１電極と、前記板状部材の内部に形成され、前記第１電極に接続される配線とを有する保持基板を備える保持装置であって、前記ガス流路は、前記第１表面側に開口したガス流出口を含み、前記ガス流出口から前記第２表面側に延びた縦流路部と、前記縦流路部と接続し、前記第１表面に対して平行に延びた横流路部とを有し、前記第１電極は、前記横流路部内に露出して配される露出部を有する。
（【００１１】以降は省略されています）

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