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公開番号2025081551
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-27
出願番号2025025901,2021027883
出願日2025-02-20,2021-02-24
発明の名称マスク装置の製造方法
出願人大日本印刷株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類C23C 14/04 20060101AFI20250520BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】フレームに変形が生じることを抑制することができる、マスク装置の製造方法を提供する。
【解決手段】マスクは、複数の貫通孔を含み、フレームは、前記マスクを引っ張った状態でマスクを支持し、製造方法は、マスクを引っ張った状態でマスクをフレームに固定する工程と、リフターのフォークによってフレームを下方から支持している状態で、フレームをケースの内部に挿入する工程と、を備え、ケースは、底部と、底部側に位置する下端と、下端とは反対側に位置する上端と、を含み、上端に達する側部開口が形成されている側部と、側部開口が閉鎖される閉鎖状態及び側部開口が開放される開放状態をとることができる閉鎖具と、底部よりも上方においてフレームを支持するフレーム支持面を含むフレーム支持具と、側部の上端の上に位置するカバーと、を備える、マスク装置の製造方法。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
マスク及びフレームを備えるマスク装置の製造方法であって、
前記マスクは、複数の貫通孔を含み、
前記フレームは、前記マスクを引っ張った状態で前記マスクを支持し、
前記製造方法は、
前記マスクを引っ張った状態で前記マスクを前記フレームに固定する工程と、
リフターのフォークによって前記フレームを下方から支持している状態で、前記フレームをケースの内部に挿入する工程と、を備え、
前記ケースは、
底部と、
前記底部側に位置する下端と、前記下端とは反対側に位置する上端と、を含み、前記上端に達する側部開口が形成されている側部と、
前記側部開口が閉鎖される閉鎖状態及び前記側部開口が開放される開放状態をとることができる閉鎖具と、
前記底部よりも上方において前記フレームを支持するフレーム支持面を含むフレーム支持具と、
前記側部の前記上端の上に位置するカバーと、を備える、マスク装置の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示の実施形態は、マスク装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
スマートフォンやタブレットＰＣ等の持ち運び可能なデバイスで用いられる表示装置の分野において、有機ＥＬ表示装置が注目されている。有機ＥＬ表示装置などの有機半導体デバイスの製造方法及び製造装置として、所望のパターンで配列された貫通孔が形成されたマスクを用い、所望のパターンで画素を形成する方法及び装置が知られている。例えば、まず、有機ＥＬ表示装置用の基板に、フレームに固定された状態のマスクを組み合わせる。続いて、有機材料を含む蒸着材料を、マスクの貫通孔を介して基板に付着させる。このような蒸着工程を実施することにより、蒸着マスクの貫通孔のパターンに対応したパターンで、蒸着材料を含む蒸着層を有する画素を基板上に形成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第５３８２２５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
フレームに変形が生じると、フレームに固定されるマスクの貫通孔の位置精度が低下し、基板に付着する蒸着材料の位置精度も低下することが考えられる。このため、フレームに変形が生じることを抑制するようにフレームを扱うことが求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一実施形態による、フレームを収納するケースは、
底部と、
前記底部側に位置する下端と、前記下端とは反対側に位置する上端と、を含み、前記上端に達する側部開口が形成されている側部と、
前記側部開口が閉鎖される閉鎖状態及び前記側部開口が開放される開放状態をとることができる閉鎖具と、
前記底部よりも上方において前記フレームを支持するフレーム支持面を含むフレーム支持具と、
前記側部の前記上端の上に位置するカバーと、を備える。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、フレームに変形が生じることを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
マスクを備えた蒸着装置の一例を示す図である。
蒸着装置を用いて製造した有機ＥＬ表示装置の一例を示す断面図である。
マスク装置の一例を示す平面図である。
扉が閉鎖状態にあるケースの一例を示す斜視図である。
扉が開放状態にあるケースの一例を示す斜視図である。
カバーを外した状態のケースの一例を示す平面図である。
図６のケースからフレームを取り出した状態を示す平面図である。
ケースのフレーム支持具の一例を示す斜視図である。
フレーム支持具の一例を示す断面図である。
フレームが収納されているケースの一例を示す断面図である。
図１０のケースからカバーを外し、且つ扉を開放した状態を示す断面図である。
図１０のケースからカバーを外し、且つ扉を開放した状態を示す平面図である。
ケースの側部開口を介してフォークをケースに挿入する工程を示す平面図である。
ケースの側部開口を介してフォークをケースに挿入する工程を示す断面図である。
フレームをフォークによって持ち上げる工程を示す断面図である。
フォークによって持ち上げられているフレームを示す断面図である。
カバーを外した状態のケースの一例を示す平面図である。
図１６のケースの断面図である。
図１６のケースの断面図である。
カバーを外した状態のケースの一例を示す平面図である。
カバーを外し、且つ扉を開放した状態のケースの一例を示す平面図である。
カバーを外し、且つ扉を開放した状態のケースの一例を示す平面図である。
カバーを外した状態のケースの一例を示す平面図である。
リフター７０の一例を示す平面図である。
図２２のフォーク及び受け具の、線Ｃ－Ｃに沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本明細書および本図面において、特別な説明が無い限りは、「基板」や「基材」や「板」や「シート」や「フィルム」などのある構成の基礎となる物質を意味する用語は、呼称の違いのみに基づいて、互いから区別されるものではない。
【０００９】
本明細書および本図面において、特別な説明が無い限りは、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」や「直交」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。
【００１０】
本明細書および本図面において、特別な説明が無い限りは、ある部材又はある領域等のある構成が、他の部材又は他の領域等の他の構成の「上に」や「下に」、「上側に」や「下側に」、又は「上方に」や「下方に」とする場合、ある構成が他の構成に直接的に接している場合を含む。さらに、ある構成と他の構成との間に別の構成が含まれている場合、つまり間接的に接している場合も含む。また、特別な説明が無い限りは、「上」や「上側」や「上方」、又は、「下」や「下側」や「下方」という語句は、上下方向が逆転してもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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