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公開番号2025078821
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-20
出願番号2025036357,2023171892
出願日2025-03-07,2016-12-28
発明の名称枠体及び蒸着マスク
出願人マクセル株式会社
代理人個人
主分類C23C 14/04 20060101AFI20250513BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】補強枠部で保持枠部とマスク本体の変形を起こりにくくして、マスク本体の正しい位置からのずれを抑え、蒸着に係る精度を向上させられる蒸着マスク用の枠体を提供する。
【解決手段】連結一体化されたマスク本体2を保持する保持枠部4に対し、これを補強する補強枠部5を配設し、マスク本体2の応力に対する剛性を高めることから、マスク本体2各部の本来あるべき位置からのずれを抑えた状態で、蒸着マスク1を蒸着装置に固定設置できることとなり、マスクと被蒸着基板との整合状態を確保して、被蒸着基板の適切な位置に精度よく蒸着が行える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
蒸着マスクをなすマスク本体の補強に用いられる枠体において、
前記マスク本体と連結一体化される保持枠部と、
当該保持枠部と一体に配設される補強枠部とを有することを
特徴とする枠体。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記請求項１に記載の枠体において、
前記保持枠部と前記補強枠部との境界部分に、切離し用加工部が設けられることを
特徴とする枠体。
【請求項３】
前記請求項２に記載の枠体において、
前記切離し用加工部は、貫通孔を有し、
前記貫通孔は、切欠き部が設けられていることを
特徴とする枠体。
【請求項４】
前記請求項３に記載の枠体において、
前記切欠き部の尖端位置は、前記保持枠部寄り又は前記補強枠部寄りにずらして設定されていることを
特徴とする枠体。
【請求項５】
前記請求項３に記載の枠体において、
前記切欠き部の尖端位置は、前記保持枠部寄りにずらして設定されていることを
特徴とする枠体。
【請求項６】
前記請求項２に記載の枠体において、
前記切離し用加工部は、溝が線状に連続する配置とされることを
特徴とする枠体。
【請求項７】
前記請求項３ないし６のいずれかに記載の枠体において、
前記切離し用加工部が、前記マスク本体に残存させた状態とされる応力に基づく力が加わった状態を仮定して前記枠体各部についてあらかじめ算出された予想変形量のうち、前記切離し用加工部を設ける箇所における前記予想変形量がより大きくなるほど、前記箇所で前記貫通孔、又は、前記溝として除去される部分の大きさの、除去されない残部に対する割合をより小さくする形状に設定されることを
特徴とする枠体。
【請求項８】
前記請求項３ないし６のいずれかに記載の枠体において、
前記切離し用加工部が、前記マスク本体に残存させた状態とされる応力に基づく力が加わった状態を仮定して予想変形量をあらかじめ算出された、前記枠体各部位の変形可能性に応じて、前記貫通孔、又は、前記溝として除去される除去部分を増減調整した形状とされることを
特徴とする枠体。
【請求項９】
前記請求項８に記載の枠体において、
前記マスク本体の応力に基づいて加わる力による変形量が大きくなる箇所では、除去されない残部に対する前記除去部分の割合を小さくし、前記変形量が小さくなる箇所では、除去されない残部に対する前記除去部分の割合を大きくするように設定されることを
特徴とする枠体。
【請求項１０】
前記請求項１ないし９のいずれかに記載の枠体において、
前記マスク本体より肉厚の薄板を枠形状として形成されることを
特徴とする枠体。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着マスク用の枠体に関し、例えば、蒸着マスク法により、有機ＥＬ素子の発光層を形成する際に用いられる蒸着マスクの補強に適用できる。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ（Electroluminescence）素子の発光層を形成する方法としては、蒸着マスク法が多く用いられている。この蒸着マスク法では、ガラス等の透明材質からなる基板上の所望の位置に有機発光物質を蒸着形成するために、基板の蒸着部位に対応する箇所を除去穿孔した蒸着マスクが使用される。
【０００３】
蒸着を行う蒸着装置においては、蒸着対象の基板に対し蒸着マスクを正しく位置合せした状態で設置し、蒸着が実行される。ただし、蒸着に際しては蒸着装置内を蒸着可能な環境とするために一般に加熱がなされることから、蒸着マスクとガラス基板の熱変形状態が異なる場合、蒸着マスクと基板との相対位置関係が変化し、形成される発光層の要求される精度を満足できなくなるという問題がある。
【０００４】
近年、薄いマスク本体の外周縁に、ガラス等の被蒸着基板と同等の熱膨張係数を有する素材又は低熱膨張係数の素材からなる補強用の枠体が装着されたマスク構造を採用することで、被蒸着基板とは熱膨張係数が異なる素材製のマスク本体を用いても、マスク本体が被蒸着基板と同等の熱膨張係数を有する枠体の膨張に追随して形状変化する、あるいは低熱膨張係数を有する枠体に抑制されて形状変化しない状態となり、蒸着装置内での昇温時における被蒸着基板に対するマスク本体の整合精度を担保でき、被蒸着基板上に発光層を高精度に形成できる蒸着マスクが提案されている。
【０００５】
このような従来の蒸着マスクの一例として、特開２００５－１５９０８号公報に開示されるものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００５－１５９０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の蒸着マスクは前記特許文献に示される構成となっており、熱膨張係数の差異によるマスクと基板の相対変形を抑え、蒸着形成物の位置精度の著しい悪化を防止することができる。
【０００８】
ただし、市場ではさらなる高精度化の要求があり、マスクの変位によるずれの発生をさらに抑えることが求められている。しかしながら、従来のマスク本体と枠体との組合せ構造の場合、補強用の枠体も薄くすることが必要であることから、こうした薄型の枠体による高強度化には限界があり、マスク本体側の応力の影響によるわずかな変形も回避できるような剛性を枠体のみで確保することはできなかった。このため、従来のマスク構造では、高精度化に伴い厳しくなる許容範囲にマスク本体の変位を収めることが難しく、蒸着形成物の位置ずれによる歩留まりの悪化が避けられないという課題を有していた。
【０００９】
本発明の開示は前記課題を解消するためになされたもので、マスク本体の変形を起こりにくくして、マスク本体の正しい位置からのずれを抑え、蒸着に係る精度を向上させられる枠体、及び、これを用いた蒸着マスクを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の開示に係る枠体は、蒸着マスクをなすマスク本体の補強に用いられる枠体において、前記マスク本体と連結一体化される保持枠部と、当該保持枠部と一体に配設される補強枠部とを有するものである。
（【００１１】以降は省略されています）

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