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公開番号2025078304
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-20
出願番号2023190768
出願日2023-11-08
発明の名称放電ランプ
出願人ウシオ電機株式会社
代理人弁理士法人ユニアス国際特許事務所
主分類H01J 61/54 20060101AFI20250513BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】寿命末期においても始動性が低下しにくく、従来よりも長寿命の放電ランプを提供する。
【解決手段】放電ランプは、一軸方向に互いに対向配置された一対の電極と、前記一対の電極を内部に有する発光管部、及び、前記発光管部の前記一軸方向にある両端からそれぞれ連接される二つの側管部を有するバルブと、前記一対の電極をそれぞれ支持する二つのリード棒と、前記二つの側管部のうち少なくとも一つの側管部内にあり、前記リード棒を支持する非導電性の支持部材と、前記支持部材を内部に有する前記側管部内にあり、前記リード棒に接する導電部材と、前記バルブの外に位置し、前記導電部材の外周に配置されたトリガー部材と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
一軸方向に互いに対向配置された一対の電極と、
前記一対の電極を内部に有する発光管部、及び、前記発光管部の前記一軸方向にある両端からそれぞれ連接される二つの側管部を有するバルブと、
前記一対の電極をそれぞれ支持する二つのリード棒と、
前記二つの側管部のうち少なくとも一つの側管部内にあり、前記リード棒を支持する、非導電性の支持部材と、
前記支持部材を内部に有する前記側管部内にあり、前記リード棒に接する導電部材と、
前記バルブの外であり、前記導電部材の外周に配置されたトリガー部材と、を備えることを特徴とする、放電ランプ。
続きを表示（約 600 文字）【請求項２】
前記導電部材は、前記一軸方向の厚みが０．４ｍｍ以下であることを特徴とする、請求項１に記載の放電ランプ。
【請求項３】
前記放電ランプは、前記導電部材を固定する固定部材を備え、
前記導電部材は、前記支持部材と前記固定部材との間で挟持されることを特徴とする、請求項１又は２に記載の放電ランプ。
【請求項４】
前記固定部材は前記リード棒に支持されており、前記固定部材は、前記リード棒と前記導電部材を電気的に接続する導電性材料で構成されていることを特徴とする、請求項３に記載の放電ランプ。
【請求項５】
前記バルブの外表面上の、前記導電部材と前記トリガー部材との間に、導電性膜を備えることを特徴とする、請求項１又は２に記載の放電ランプ。
【請求項６】
前記導電部材と前記トリガー部材との間隔が、２５ｍｍ以下であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の放電ランプ。
【請求項７】
前記導電部材の接する前記リード棒が支持する電極の先端と、前記導電部材との間隔が、２２０ｍｍ以下であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の放電ランプ。
【請求項８】
前記導電部材は、前記一軸方向に直交する断面において径方向外側に突出する突出部を有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の放電ランプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この発明は、放電ランプに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体、表示装置又は配線基板等を製造するための露光装置に使用される光源として、超高圧水銀ランプが知られている。超高圧水銀ランプは、発光管部内に、放電のための陽極及び陰極が互いに対向して配置されるとともに、発光ガスとして水銀が封入されている。陽極及び陰極は、それぞれリード棒によって支持されており、各リード棒は、発光管部の両端に連なる一対の側管によって支持される。電極間に電圧を印加すると、発光管内の水銀蒸気中にアーク放電が発生し、超高圧水銀ランプが発光する。
【０００３】
超高圧水銀ランプなどの放電ランプの性能指標のひとつに、点灯の始動性がある。点灯の始動性とは、放電ランプに電力を供給してから実際に放電ランプが点灯するまでの時間の短さである。点灯の始動性が良いとは、放電ランプに電力を供給してから実際に放電ランプが点灯するまでの時間が短いことを表す。本明細書では、放電ランプの点灯の始動性のことを、単に「始動性」と表現する。
【０００４】
始動性の向上を図る方法の一つとして、トリガー部材を使用する方法が知られている。特許文献１には、トリガー部材を側管部に巻いたメタルハライドランプ（放電ランプの一種）が開示されている。ランプの始動時（点灯開始時）に、トリガー部材に電力を印加し、バルブ内で誘電体バリア放電を発生させることで、放電ランプが点灯し易くなる。つまり、始動性を向上させるために、トリガー部材を配置することが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開平９－９７５９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
放電ランプの積算点灯時間が長くなり、放電ランプの寿命が近づくにつれて、始動性が悪化する。始動性が悪化すると、放電ランプが点灯するまでに時間が掛かったり、放電ランプが点灯しなかったりすることがある。放電ランプが点灯するまでの時間が、許容できる時間を超える場合、又は、放電ランプが点灯しない場合、放電ランプは寿命を迎えたと判断される。
【０００７】
市場より、放電ランプの長寿命化が要求されている。放電ランプの寿命末期においても、始動性が低下しにくく、従来よりも長寿命の放電ランプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の放電ランプは、一軸方向に互いに対向配置された一対の電極と、
前記一対の電極を内部に有する発光管部、及び、前記発光管部の前記一軸方向にある両端からそれぞれ連接される二つの側管部を有するバルブと、
前記一対の電極をそれぞれ支持する二つのリード棒と、
前記二つの側管部のうち少なくとも一つの側管部内にあり、前記リード棒を支持する非導電性の支持部材と、
前記支持部材を内部に有する前記側管部内にあり、前記リード棒に接する導電部材と、
前記バルブの外であり、前記導電部材の外周に配置されたトリガー部材と、を備える。
【０００９】
導電部材が無い場合、リード棒とトリガー部材の間という、大きな間隔の領域において誘電体バリア放電を発生させる必要がある。しかしながら、前記放電ランプは、前記導電部材があり、前記導電部材の外周にトリガー部材がある。導電部材の外周にトリガー部材が配置されているため、導電部材とトリガー部材の小さな間隔の領域で誘電体バリア放電を発生させることができる。本明細書において、「導電部材の外周に配置されたトリガー部材」とは、トリガー部材が、誘電体バリア放電によって導電部材に始動電力を与えることのできる位置に配置されていることを示す。そして、誘電体バリア放電が、一対の電極（陽極と陰極）間における発光を伴う放電を促す。よって、絶縁破壊性能が向上し、放電ランプが点灯する確率を高める。
【００１０】
前記導電部材は、厚みの薄いシート形状であっても構わない。例えば、前記導電部材は、前記一軸方向の厚みが０．４ｍｍ以下であっても構わない。前記導電部材の前記一軸方向の厚みは０．１ｍｍ以下であっても構わない。前記導電部材の厚みが薄くなると、誘電体バリア放電の電界強度が高まり、その結果、一対の電極間における発光を伴う放電を発生させやすくする。
（【００１１】以降は省略されています）

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