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公開番号2025075082
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-14
出願番号2025026688,2023182449
出願日2025-02-21,2018-05-25
発明の名称両面インプリンティング
出願人マジックリープ, インコーポレイテッド,Magic Leap,Inc.
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/027 20060101AFI20250507BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】好適な両面インプリンティングを提供すること。
【解決手段】両面インプリンティングのためのシステム、装置、および方法が、提供される。例示的システムは、第1のインプリンティング特徴を有する第1のテンプレートを含む第1のウェブを移動させるための第1のローラと、第2のインプリンティング特徴を有する第2のテンプレートを含む第2のウェブを移動させるため第2のローラと、レジストを分注するためのディスペンサと、第1および第2のテンプレートを整合させるための第1および第2のウェブ上の参照マークの場所を特定するための位置決めシステムと、レジストを硬化させるための光源と、第1のテンプレートと第2のテンプレートとの間に基板を送給し、第1および第2のウェブから両面インプリントされた基板を装填解除するための移動システムとを含む。
【選択図】図11B
特許請求の範囲【請求項１】
両面インプリンティングのためのシステムであって、前記システムは、
第１のインプリンティング特徴を有する第１のテンプレートを含む第１のウェブを移動させるための第１のローラと、
第２のインプリンティング特徴を有する第２のテンプレートを含む第２のウェブを移動させるための第２のローラと、
前記第１のウェブの前記第１のテンプレートおよび前記第２のウェブの前記第２のテンプレートがインプリンティングゾーンの中にともに運ばれるまで、前記第１のローラに沿って前記第１のウェブを延伸し、前記第２のローラに沿って前記第２のウェブを延伸するように構成される移動システムと、
前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートのための参照マークを整合させるように構成される整合システムと、
基板の第１の側面上に第１のレジストを分注し、前記基板の第２の側面上に第２のレジストを分注するように構成される１つ以上のディスペンサと、
前記第１のテンプレートと前記第２のテンプレートとの間の前記インプリンティングゾーンの中に前記基板を送給するように構成される装填システムと、
前記第１のレジストが前記基板の前記第１の側面上の前記第１のテンプレートの前記第１のインプリンティング特徴の中に充填し、前記第２のレジストが前記基板の前記第２の側面上の前記第２のテンプレートの前記第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、前記基板上に前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートを押圧するように構成される押圧システムと、
光源であって、前記光源は、硬化した第１のレジストが、前記基板の前記第１の側面上の前記第１のインプリンティング特徴に対応する第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、前記基板の前記第２の側面上の前記第２のインプリンティング特徴に対応する第２のインプリントされた特徴を有するように、前記第１のレジストおよび前記第２のレジストを硬化させるように構成される、光源と、
前記第１の側面上の前記第１のインプリントされた特徴および前記第２の側面上の前記インプリントされた特徴を伴う前記基板を装填解除するように構成される装填解除システムと
を備える、システム。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記押圧システムは、
前記基板に向かって前記第１のテンプレート上に適用されるように構成される第１のプレスドーム、または、
前記基板に向かって前記第２のテンプレート上に適用されるように構成される第２のプレスドーム
のうちの少なくとも１つを備える、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記押圧システムは、
前記第１のプレスドームを前記第１のテンプレートと接触させ、前記第２のプレスドームを前記第２のテンプレートと接触させるように構成され、
前記システムは、前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートの整合に関して補正を行うように構成される補正システムをさらに備える、請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
前記第１のプレスドームまたは前記第２のプレスドームのうちの少なくとも１つは、ガラスドームまたは環状リング真空チャックを備える、請求項２に記載のシステム。
【請求項５】
前記押圧システムは、
前記第１のレジストが前記第１のテンプレート上の前記第１のインプリンティング特徴の中に充填するように、前記第１のウェブ上に移動され、前記第１のテンプレートを前記第１のレジストの中に押動させるように構成される、第１のスキージローラと、
前記第２のレジストが前記第２のテンプレート上の前記第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、前記第２のウェブ上に移動され、前記第２のテンプレートを前記第２のレジストの中に押動させるように構成される、第２のスキージローラと
を備え、
前記第１のスキージローラおよび前記第２のスキージローラは、前記第１のスキージローラおよび前記第２のスキージローラをともに移動させている間に、相互と反対に位置付けられる、請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記基板は、剛性であり、
前記装填システムは、前記基板を送給しながら前記基板の縁を握持するように構成されるホルダを備える、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記基板は、可撓性であり、
前記基板は、ブランク基板のロールから延伸される、請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
前記基板の前記第１の側面上の前記硬化した第１のレジスト上に適用されるように構成される第１の保護膜の第１のローラと、
前記基板の前記第２の側面上の前記硬化した第２のレジスト上に適用されるように構成される第２の保護膜の第２のローラと
をさらに備える、請求項７に記載のシステム。
【請求項９】
回転され、前記第１の側面上の前記硬化した第１のレジストおよび前記第２の側面上の前記硬化した第２のレジストを伴う前記基板を受容するように構成されるローラをさらに備える、請求項７に記載のシステム。
【請求項１０】
前記装填解除システムは、
前記第１のテンプレートおよび前記第２のテンプレートを前記基板から分離するように、前記第１のローラのうちの１つから前記第１のウェブを引き離し、前記第２のローラのうちの１つから前記第２のウェブを引き離すように構成される、請求項１に記載のシステム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
（関連出願の相互参照）
本願は、２０１７年５月２５日に出願された米国仮出願第６２／５１１，１７２号の出願日の利益を主張するものである。米国出願第６２／５１１，１７２の内容は、それらの全体を参照することにより本明細書中に援用される。
続きを表示（約 2,900 文字）【０００２】
本開示は、概して、特に、両面インプリンティングのためのインプリンティング技術に関する。
【背景技術】
【０００３】
基板上に片面インプリントを作成することから、テンプレートからの両方の側面上のインプリントに移行するためのプロセスおよび／またはツールを開発するときに、克服する課題が多くある。課題は、基板およびテンプレートを位置付け、整合させるステップと、参照特徴の場所を特定して整合を支援するステップと、空気の閉じ込めおよび欠陥を伴わずにインプリントを作成するステップと、損傷を伴わずに基板を保持するステップとを含み得る。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本開示は、上記に記述される課題に対処している、両面インプリンティングのための方法、デバイス、およびシステムを説明する。
【０００５】
本開示の一側面は、第１のローラに沿って第１のウェブを延伸し、第２のローラに沿って第２のウェブを延伸するステップであって、第１のウェブは、第１のテンプレートを備え、第２のウェブは、第２のテンプレートを備える、ステップと、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートが相互と整合されるように、第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを整合させるステップと、第１の方向へ第１のローラに沿って第１のウェブを延伸して、第１のテンプレートを第１のディスペンサに暴露し、第２の方向へ第２のローラに沿って第２のウェブを延伸して、第２のテンプレートを第２のディスペンサに暴露するステップと、第１のディスペンサによって第１のテンプレート上に第１のレジストを分注し、第２のディスペンサによって第２のテンプレート上に第２のレジストを分注するステップと、第１のレジストを伴う第１のテンプレートおよび第２のレジストを伴う第２のテンプレートが相互に面するように、第１の方向と逆の方向へ第１のローラに沿って第１のウェブを延伸し、第２の方向と逆の方向へ第２のローラに沿って第２のウェブを延伸するステップと、第１のレジストを伴う第１のテンプレートと第２のレジストを伴う第２のテンプレートとの間に基板を挿入するステップと、硬化した第１のレジストが、基板の第１の側面上の第１のテンプレートと関連付けられる第１のインプリントされた特徴を有し、硬化した第２のレジストが、基板の第２の側面上の第２のテンプレートと関連付けられる第２のインプリントされた特徴を有するように、第１のレジストおよび第２のレジストを硬化させるステップと、第１の側面上の第１のインプリントされた特徴および第２の側面上の第２のインプリントされた特徴を伴う基板を装填解除するステップとを含む、両面インプリンティング方法を特徴とする。
【０００６】
いくつかの実装では、本方法はさらに、整合させるステップの後に、圧着された第１のウェブおよび第２のウェブが、相互と整合される第１のテンプレートおよび第２のテンプレートを伴って移動されるように、参照マークに隣接する場所で第１のウェブおよび第２のウェブを圧着するステップと、硬化させるステップの後に、硬化した第１のレジストおよび第２のレジストを伴う基板が、第１のウェブと第２のウェブとの間の間隙を通過することが可能であるように、第１のウェブおよび第２のウェブを圧着解除するステップとを含む。第１のウェブおよび第２のウェブを圧着するステップは、チャックが第１のウェブ上にあり、クランプが第２のウェブ上にあるように、クランプを用いてチャックを作動させるステップを含むことができる。チャックは、真空を用いて第１のウェブ上にチャックするように構成される、真空チャックを含むことができる。いくつかの実施例では、チャックは、第１のローラによって画定される軸と平行なレールに沿って移動可能であるように構成され、チャックおよびクランプは、圧着後に第１のウェブおよび第２のウェブとともに移動される。チャックは、一対のガイド上に位置付けられることができ、ガイドはそれぞれ、フレームに接続される個別のレール上で移動可能であり得る。第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを整合させるステップは、ｘ、ｙ、またはシータ方向のうちの少なくとも１つに個別のレール上のガイドの相対位置を調節するステップを含むことができる。
【０００７】
第１のローラおよび第２のローラは、挿入するステップの後に、基板が、第１のテンプレートおよび第２のテンプレートとともに移動され、第１のレジストが、基板の第１の側面上に押圧され、第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴の中に充填され、第２のレジストが、基板の第２の側面上に押圧され、第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填されるように、配列されることができる。
【０００８】
本方法はさらに、第１のレジストが第１のテンプレート上の第１のインプリンティング特徴の中に充填するように、第１のウェブ上で第１のスキージローラを移動させ、第１のテンプレートを第１のレジストの中に押動させるステップと、第２のレジストが第２のテンプレート上の第２のインプリンティング特徴の中に充填するように、第２のウェブ上で第２のスキージローラを移動させ、第２のテンプレートを第２のレジストの中に押動させるステップとを含むことができる。第１のスキージローラおよび第２のスキージローラは、第１のスキージおよび第２のスキージをともに移動させている間に、相互と反対に位置付けられることができる。
【０００９】
ある場合には、第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを整合させるステップは、第１のウェブ上の第１の参照マークを第２のウェブ上の第２の参照マークと整合させ、第１のウェブ上の第３の参照マークを第２のウェブ上の第４の参照マークと整合させるステップを含む。第１の参照マークおよび第３の参照マークは、基板が第１のテンプレートを用いてインプリントされるように構成される、範囲を画定することができる。ある場合には、第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを整合させるステップは、ｘ、ｙ、またはシータ方向のうちの少なくとも１つに第１のローラのうちのｚローラを移動させるステップを含む。ある場合には、第１のウェブおよび第２のウェブ上の参照マークを整合させるステップは、カメラシステムまたはレーザシステムのうちの少なくとも１つを使用することによって、参照マークの場所を特定するステップを含む。
【００１０】
第１の方向は、反時計回り方向であり得、第２の方向は、時計回り方向であり得る。いくつかの実施例では、第１のローラは、空気圧によって第１のウェブを浮動させるように構成される、少なくとも１つのエアターンローラを含む。いくつかの実施例では、第１のローラは、真空によって第１のウェブをチャックするように構成される、少なくとも１つのエアターンローラを含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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