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公開番号2025066428
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-23
出願番号2023176032
出願日2023-10-11
発明の名称電子線照射装置
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G21K 5/00 20060101AFI20250416BHJP(核物理;核工学)
要約【課題】電子線の照射時に二次的に発生するX線を確実に遮蔽することができる電子線照射装置を提供する。
【解決手段】電子線照射装置1は、電子線EBを発生する電子線発生部2、電子線発生部2を収容している筐体3、及び、筐体3に設けられており、電子線EBを出射する窓部4を有する電子線源11と、X線を減衰させる材料によって形成されており、空間を介して筐体3を包囲している第1遮蔽体13と、X線を減衰させる材料によって形成されており、空間を介して第1遮蔽体13を包囲している第2遮蔽体14と、を備える。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
電子線を発生する電子線発生部、前記電子線発生部を収容している筐体、及び、前記筐体に設けられており、前記電子線を出射する窓部を有する電子線源と、
Ｘ線を減衰させる材料によって形成されており、空間を介して前記筐体を包囲している第１遮蔽体と、
Ｘ線を減衰させる材料によって形成されており、空間を介して前記第１遮蔽体を包囲している第２遮蔽体と、を備える、電子線照射装置。
続きを表示（約 900 文字）【請求項２】
前記電子線源を支持しており、前記窓部の少なくとも一部を収容している開口が形成された壁部を更に備え、
前記第１遮蔽体は、前記壁部上において前記筐体を包囲しており、
前記第２遮蔽体は、前記壁部上において前記第１遮蔽体を包囲している、請求項１に記載の電子線照射装置。
【請求項３】
前記電子線源から外部に延在している配管及び配線を更に備え、
前記第１遮蔽体には、前記配管及び前記配線の少なくとも一つが通っている第１通過口が形成されており、
前記第２遮蔽体には、前記配管及び前記配線の少なくとも一つが通っている第２通過口が形成されており、
前記第１通過口及び前記第２通過口は、互いに見通せない位置関係を有する、請求項１又は２に記載の電子線照射装置。
【請求項４】
前記第２通過口を外側から覆うように前記第２遮蔽体に取り付けられたカバー構造体を更に備え、
前記カバー構造体は、前記配管及び前記配線の少なくとも一つが通っている通過路を有し、
前記通過路は、前記第２通過口から外部に蛇行状に延在している、請求項３に記載の電子線照射装置。
【請求項５】
前記配管のうち前記第１遮蔽体と前記第２遮蔽体との間の領域に位置している部分には、排気ユニットが設けられており、
前記第２遮蔽体のうち前記排気ユニットと向かい合っている部分は、開閉可能である、請求項３に記載の電子線照射装置。
【請求項６】
前記電子線源の一部は、前記第１遮蔽体と前記第２遮蔽体との間の領域に位置しており、
前記第２遮蔽体のうち前記電子線源の前記一部と向かい合っている部分は、開閉可能である、請求項１又は２に記載の電子線照射装置。
【請求項７】
前記電子線源の前記一部は、前記筐体が有する開閉部である、請求項６に記載の電子線照射装置。
【請求項８】
前記電子線源の前記一部は、前記電子線発生部に電力を供給する給電部である、請求項６に記載の電子線照射装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子線照射装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
電子線照射装置は、対象物に電子線を照射する装置であり、対象物におけるインクの乾燥、対象物の滅菌、対象物の改質等の用途に利用される。特許文献１には、ウェブ（フィルム状の対象物）を送る送り機構と、送り機構によって送られるウェブに対して電子線を出射する電子線源と、電子線源を収容する遮蔽室と、を備える電子線照射装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特表２０２１－５２０３１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
電子線照射装置においては、真空引き用の配管、冷媒流通用の配管、電源用の配線等が電子線源から外部に延在していることが一般的である。そのため、特許文献１に記載の電子線照射装置において、電子線の照射時に二次的に発生するＸ線を確実に遮蔽しようとすると、遮蔽室を大型化せざるを得ない。なお、このようなＸ線は、電子線源の窓部を構成する各部材、窓部の外側に存在するガス、対象物等と電子線が相互作用することによって発生する。
【０００５】
本発明は、電子線の照射時に二次的に発生するＸ線を確実に遮蔽することができる電子線照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の電子線照射装置は、［１］「電子線を発生する電子線発生部、前記電子線発生部を収容している筐体、及び、前記筐体に設けられており、前記電子線を出射する窓部を有する電子線源と、Ｘ線を減衰させる材料によって形成されており、空間を介して前記筐体を包囲している第１遮蔽体と、Ｘ線を減衰させる材料によって形成されており、空間を介して前記第１遮蔽体を包囲している第２遮蔽体と、を備える、電子線照射装置」である。
【０００７】
上記［１］に記載の電子線照射装置では、電子線源の筐体が第１遮蔽体によって包囲されており、第１遮蔽体が第２遮蔽体によって包囲されている。これにより、電子線源の窓部近傍のＸ線発生領域に近い位置において第１遮蔽体によってＸ線を減衰させつつ、配管及び配線等の存在に起因して第１遮蔽体のみによっては減衰させることが困難なＸ線を第２遮蔽体によって減衰させることができる。よって、上記［１］に記載の電子線照射装置によれば、電子線の照射時に二次的に発生するＸ線を確実に遮蔽することができる。
【０００８】
本発明の電子線照射装置は、［２］「前記電子線源を支持しており、前記窓部の少なくとも一部を収容している開口が形成された壁部を更に備え、前記第１遮蔽体は、前記壁部上において前記筐体を包囲しており、前記第２遮蔽体は、前記壁部上において前記第１遮蔽体を包囲している、上記［１］に記載の電子線照射装置」であってもよい。当該［２］に記載の電子線照射装置によれば、電子線源の窓部の外側の領域において発生したＸ線を、第１遮蔽体及び第２遮蔽体によって減衰させる前に、壁部によっても減衰させることができるため、電子線の照射時に二次的に発生するＸ線をより確実に遮蔽することができる。
【０００９】
本発明の電子線照射装置は、［３］「前記電子線源から外部に延在している配管及び配線を更に備え、前記第１遮蔽体には、前記配管及び前記配線の少なくとも一つが通っている第１通過口が形成されており、前記第２遮蔽体には、前記配管及び前記配線の少なくとも一つが通っている第２通過口が形成されており、前記第１通過口及び前記第２通過口は、互いに見通せない位置関係を有する、上記［１］又は［２］に記載の電子線照射装置」であってもよい。当該［３］に記載の電子線照射装置によれば、第１遮蔽体の第１通過口を通過したＸ線が第２遮蔽体の第２通過口に到達しにくくなるため、電子線の照射時におけるＸ線の遮蔽性を維持しつつ、電子線源から外部に配管及び配線を引き出すことができる。
【００１０】
本発明の電子線照射装置は、［４］「前記第２通過口を外側から覆うように前記第２遮蔽体に取り付けられたカバー構造体を更に備え、前記カバー構造体は、前記配管及び前記配線の少なくとも一つが通っている通過路を有し、前記通過路は、前記第２通過口から外部に蛇行状に延在している、上記［３］に記載の電子線照射装置」であってもよい。当該［４］に記載の電子線照射装置によれば、第２遮蔽体の第２通過口に到達したＸ線が通過路から外部に漏洩しにくくなるため、電子線の照射時におけるＸ線の遮蔽性を向上させることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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