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公開番号2025066424
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-23
出願番号2023176024
出願日2023-10-11
発明の名称電子線照射装置
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G21K 5/00 20060101AFI20250416BHJP(核物理;核工学)
要約【課題】電子線源の窓部のメンテナンス性の確保と電子線の照射時におけるX線の遮蔽性の確保との両立を図ることができる電子線照射装置を提供する。
【解決手段】電子線照射装置1は、電子線照射ユニット10と、対象物支持ユニット50と、を備える。電子線照射ユニット10は、電子線源11と、第1開口12cが形成された第1壁部12と、を有する。第1開口12cは、電子線源11の窓部4を収容している。対象物支持ユニット50は、支持部51と、第2開口52cが形成された第2壁部52と、を有する。第1壁部12の表面12bには、第1開口12cを含む凸部61が設けられている。第2壁部52の表面52aには、第2開口52cを含む凹部62が設けられている。第1壁部12及び第2壁部52が互いに接触した状態において、表面12b及び表面52aは、互いに接触しており、凹部62及び凸部61は、互いに嵌まり合っている。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
電子線照射ユニットと、対象物支持ユニットと、を備え、
前記電子線照射ユニットは、
電子線を発生する電子線発生部、前記電子線発生部を収容している筐体、及び、前記筐体に設けられており、前記電子線を出射する窓部を有する電子線源と、
前記電子線源に対して前記対象物支持ユニット側に配置されており、前記窓部の少なくとも一部を収容している第１開口が形成された第１壁部と、を有し、
前記対象物支持ユニットは、
対象物を支持する支持部と、
前記支持部に対して前記電子線照射ユニット側に配置されており、前記第１開口と向かい合っている第２開口が形成された第２壁部と、を有し、
前記第１壁部における前記対象物支持ユニット側の第１表面には、前記第１開口を含む凹部及び凸部の一方が設けられており、
前記第２壁部における前記電子線照射ユニット側の第２表面には、前記第２開口を含む前記凹部及び前記凸部の他方が設けられており、
前記第１壁部及び前記第２壁部は、互いに離間可能であり、
前記第１壁部及び前記第２壁部が互いに接触した状態において、前記第１表面及び前記第２表面は、互いに接触しており、前記凹部及び前記凸部は、互いに嵌まり合っている、電子線照射装置。
続きを表示（約 350 文字）【請求項２】
前記第１表面には、前記第１開口を含む前記凸部が設けられており、
前記第２表面には、前記第２開口を含む前記凹部が設けられている、請求項１に記載の電子線照射装置。
【請求項３】
前記電子線照射ユニットは、前記第１壁部に対して着脱可能であるカバーを更に有し、
前記カバーは、前記第１開口における前記対象物支持ユニット側の端部に配置されており、前記窓部の側面と前記第１開口の側面との間に形成された隙間を覆っている、請求項２に記載の電子線照射装置。
【請求項４】
前記凸部の頂面、前記窓部における前記対象物支持ユニット側の表面、及び前記カバーにおける前記対象物支持ユニット側の表面は、同一平面上に位置している、請求項３に記載の電子線照射装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子線照射装置に関する。
続きを表示（約 2,600 文字）【背景技術】
【０００２】
電子線照射装置は、対象物に電子線を照射する装置であり、対象物におけるインクの乾燥、対象物の滅菌、対象物の改質等の用途に利用される。特許文献１には、ウェブ（フィルム状の対象物）を送るローラと、電子線を出射する窓部を有する電子線源と、を備える電子線照射装置であって、電子線源の窓部と向かい合っているローラが、その状態から更に離間可能に構成されたものが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０１０／１０４８２０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の電子線照射装置においては、電子線源の窓部のメンテナンス（例えば、窓部の交換）を実施する際に、ローラを窓部から離間させることで、窓部のメンテナンスに必要なスペースを確保することができる。しかし、特許文献１に記載の電子線照射装置においては、電子線の照射領域に開放領域が多いため、電子線の照射時に二次的に発生するＸ線を十分に遮蔽することが困難である。なお、このようなＸ線は、電子線源の窓部を構成する各部材、窓部の外側に存在するガス、対象物等と電子線が相互作用することによって発生する。
【０００５】
本発明は、電子線源の窓部のメンテナンス性の確保と電子線の照射時におけるＸ線の遮蔽性の確保との両立を図ることができる電子線照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の電子線照射装置は、［１］「電子線照射ユニットと、対象物支持ユニットと、を備え、前記電子線照射ユニットは、電子線を発生する電子線発生部、前記電子線発生部を収容している筐体、及び、前記筐体に設けられており、前記電子線を出射する窓部を有する電子線源と、前記電子線源に対して前記対象物支持ユニット側に配置されており、前記窓部の少なくとも一部を収容している第１開口が形成された第１壁部と、を有し、前記対象物支持ユニットは、対象物を支持する支持部と、前記支持部に対して前記電子線照射ユニット側に配置されており、前記第１開口と向かい合っている第２開口が形成された第２壁部と、を有し、前記第１壁部における前記対象物支持ユニット側の第１表面には、前記第１開口を含む凹部及び凸部の一方が設けられており、前記第２壁部における前記電子線照射ユニット側の第２表面には、前記第２開口を含む前記凹部及び前記凸部の他方が設けられており、前記第１壁部及び前記第２壁部は、互いに離間可能であり、前記第１壁部及び前記第２壁部が互いに接触した状態において、前記第１表面及び前記第２表面は、互いに接触しており、前記凹部及び前記凸部は、互いに嵌まり合っている、電子線照射装置」である。
【０００７】
上記［１］に記載の電子線照射装置では、電子線照射ユニットにおいて第１壁部の第１開口が電子線源の窓部の少なくとも一部を収容しており、電子線照射ユニットの第１壁部及び対象物支持ユニットの第２壁部が互いに離間可能となっている。そのため、電子線源の窓部のメンテナンスを実施する際に、第１壁部及び第２壁部を互いに離間させることで、窓部のメンテナンスに必要なスペースを確保することができる。また、第１壁部及び第２壁部が互いに接触した状態において、第１壁部の第１表面及び第２壁部の第２表面が互いに接触しており、第１壁部と第２壁部との間において凹部及び凸部が互いに嵌まり合っている。これにより、第１壁部と第２壁部との間の領域が屈曲することになるため、第１壁部と第２壁部との間の領域が平坦に広がっている構成に比べ、電子線の照射時に二次的に発生するＸ線を確実に遮蔽することができる。よって、上記［１］に記載の電子線照射装置によれば、電子線源の窓部のメンテナンス性の確保と電子線の照射時におけるＸ線の遮蔽性の確保との両立を図ることができる。
【０００８】
本発明の電子線照射装置は、［２］「前記第１表面には、前記第１開口を含む前記凸部が設けられており、前記第２表面には、前記第２開口を含む前記凹部が設けられている、上記［１］に記載の電子線照射装置」であってもよい。当該［２］に記載の電子線照射装置によれば、第１壁部のうち第１開口を包囲する部分を厚くすることができるため、第１壁部の第１表面に凹部が設けられており且つ第２壁部の第２表面に凸部が設けられている構成に比べ、電子線の照射時に二次的に発生するＸ線を確実に遮蔽することができる。また、電子線源の窓部の少なくとも一部を収容している第１開口が凸部に形成されているため、対象物支持ユニットの支持部に窓部をより近づけて対象物に電子線を効率良く照射することができる。更に、電子線源の窓部の少なくとも一部を収容している第１開口が凸部に形成されているため、第１開口が凹部に形成されている構成に比べ、窓部のメンテナンス時に窓部に容易にアクセスすることができる。
【０００９】
本発明の電子線照射装置は、［３］「前記電子線照射ユニットは、前記第１壁部に対して着脱可能であるカバーを更に有し、前記カバーは、前記第１開口における前記対象物支持ユニット側の端部に配置されており、前記窓部の側面と前記第１開口の側面との間に形成された隙間を覆っている、上記［２］に記載の電子線照射装置」であってもよい。当該［３］に記載の電子線照射装置によれば、メンテナンス時に第１壁部からカバーを取り外すことで、当該隙間を利用して、窓部の交換等をより容易に実施することができる。なお、電子線の照射時には、当該隙間がカバーによって覆われているため、当該隙間を介したＸ線の漏洩を抑制することができる。
【００１０】
本発明の電子線照射装置は、［４］「前記凸部の頂面、前記窓部における前記対象物支持ユニット側の表面、及び前記カバーにおける前記対象物支持ユニット側の表面は、同一平面上に位置している、上記［３］に記載の電子線照射装置」であってもよい。当該［６］に記載の電子線照射装置によれば、凹部の底面と凸部の頂面とを近接させることが容易となるため、電子線の照射時におけるＸ線の遮蔽性を向上させることができる。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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