特許ウォッチ

公開番号2025064215
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-17
出願番号2023173792
出願日2023-10-05
発明の名称ゲートバルブ、ゲートバルブ付きチャンバ及び化学蓄熱システム
出願人日新電機株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類F16K 3/18 20060101AFI20250410BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】開閉に伴う弁板の動作量を低減可能であるゲートバルブ及びゲートバルブ付きチャンバ並びに化学蓄熱システムを提供する。
【解決手段】一実施形態に係るゲートバルブは、第1方向に並列に配置されているとともに、前記第1方向に交差する第2方向に延びている複数の第1スリット開口を含む第1スリット開口群が形成された壁部を有するチャンバに取り付けられるゲートバルブであって、弁板と、弁板を駆動する駆動機構とを備え、弁板には、第1方向に並列に配置されているとともに、第2方向に延びている複数の第2スリット開口を含む第2スリット開口群が形成されており、駆動機構は、弁板を、弁板のうち隣接する第2スリット開口の間の領域で複数の第1スリット開口が塞がれている第1配置状態と、複数の第2スリット開口が複数の第1スリット開口と対向配置された第2配置状態とに切り替えるように、弁板を駆動する。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
第１方向に並列に配置されているとともに、前記第１方向に交差する第２方向に延びている複数の第１スリット開口を含む第１スリット開口群が形成された壁部を有するチャンバに取り付けられるゲートバルブであって、
弁板と、
前記弁板を駆動する駆動機構と、
を備え、
前記弁板には、前記第１方向に並列に配置されているとともに、前記第２方向に延びている複数の第２スリット開口を含む第２スリット開口群が形成されており、
前記駆動機構は、前記弁板を、前記弁板のうち隣接する前記第２スリット開口の間の領域で前記第１スリット開口が塞がれている第１配置状態と、前記第２スリット開口が前記第１スリット開口と対向配置された第２配置状態とに切り替えるように、前記弁板を駆動する、
ゲートバルブ。
続きを表示（約 2,300 文字）【請求項２】
前記第１方向及び前記第２方向は直交しており、
前記駆動機構は、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向に沿って前記弁板に力を作用させることによって、前記弁板を、前記第２方向からみて、前記第３方向に対して傾斜した第４方向に移動させるように構成されている、
請求項１に記載のゲートバルブ。
【請求項３】
前記弁板は、前記第１スリット開口群に面する第１面と前記第１面と反対に位置する第２面とを有し、
前記駆動機構は、
前記第２面に形成されており前記第１方向に延びるガイド溝と、
前記第３方向に延在しているシャフトと、
前記第２面に設けられており前記第２面に直交している支持部材と、
前記支持部材に設けられており前記支持部材から前記第２方向に突出した第１ガイド部材と、
前記チャンバに固定されており前記第１ガイド部材を前記第４方向に沿ってガイドするガイド路が形成されている第２ガイド部材と、
を有し、
前記第１方向からみて、前記第２面における前記ガイド溝の開口部の前記第２方向の幅は狭く、
前記シャフトは、前記ガイド溝内に挿入されており前記ガイド溝内における前記第１方向に沿った相対位置が変化可能であるとともに、前記ガイド溝内において前記第２方向に沿った移動が規制されている先端部を有する、
請求項２に記載のゲートバルブ。
【請求項４】
前記第１スリット開口群は、複数の前記第１スリット開口を含む複数の第３スリット開口群を含み、
前記第２スリット開口群は、複数の前記第２スリット開口を含む複数の第４スリット開口群を含む、
請求項１～３の何れか１項に記載のゲートバルブ。
【請求項５】
第１方向に並列に配置されているとともに、前記第１方向に交差する第２方向に延びている複数の第１スリット開口を含む第１スリット開口群が形成された壁部を有するチャンバと、
前記チャンバに取り付けられたゲートバルブと、
を備え、
前記ゲートバルブは、
弁板と、
前記弁板を駆動する駆動機構と、
を備え、
前記弁板には、前記第１方向に並列に配置されているとともに、前記第２方向に延びている複数の第２スリット開口を含む第２スリット開口群が形成されており、
前記駆動機構は、前記弁板を、前記弁板のうち隣接する前記第２スリット開口の間の領域で前記第１スリット開口が塞がれている第１配置状態と、前記第２スリット開口が前記第１スリット開口と対向配置された第２配置状態とに切り替えるように、前記弁板を駆動する、
ゲートバルブ付きチャンバ。
【請求項６】
前記第１方向及び前記第２方向は直交しており、
前記駆動機構は、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向に沿って前記弁板に力を作用させることによって、前記弁板を、前記第２方向からみて、前記第３方向に対して傾斜した第４方向に移動させるように構成されている、
請求項５に記載のゲートバルブ付きチャンバ。
【請求項７】
前記弁板は、前記第１スリット開口群に面する第１面と前記第１面と反対に位置する第２面とを有し、
前記駆動機構は、
前記第２面に形成されており前記第１方向に延びるガイド溝と、
前記第３方向に延在しているシャフトと、
前記第２面に設けられており前記第２面に直交している支持部材と、
前記支持部材に設けられており前記支持部材から前記第２方向に突出した第１ガイド部材と、
前記チャンバに固定されており前記第１ガイド部材を前記第４方向に沿ってガイドするガイド路が形成されている第２ガイド部材と、
を有し、
前記第１方向からみて、前記第２面における前記ガイド溝の開口部の前記第２方向の幅は狭く、
前記シャフトは、前記ガイド溝内に挿入されており前記ガイド溝内における前記第１方向に沿った相対位置が変化可能であるとともに、前記ガイド溝内において前記第２方向に沿った移動が規制されている先端部を有する、
請求項６に記載のゲートバルブ付きチャンバ。
【請求項８】
通気部が形成された壁部を有するチャンバに取り付けられるゲートバルブであって、
筐体と、
前記筐体内に配置される弁板と、
前記弁板を駆動する駆動機構と、
を備え、
前記筐体には、第１方向に並列に配置されているとともに、前記第１方向に交差する第２方向に延びている複数の第１スリット開口を含む第１スリット開口群が形成されており、
前記弁板には、前記第１方向に並列に配置されているとともに、前記第２方向に延びている複数の第２スリット開口を含む第２スリット開口群が形成されており、
前記駆動機構は、前記弁板を、前記弁板のうち隣接する前記第２スリット開口の間の領域で前記第１スリット開口が塞がれている第１配置状態と、前記第２スリット開口が前記第１スリット開口と対向配置された第２配置状態とに切り替えるように、前記弁板を駆動する、
ゲートバルブ。
【請求項９】
請求項１若しくは請求項８に記載のゲートバルブが取り付けられており前記第１スリット開口群が形成された壁部を有するチャンバ又は請求項５に記載のゲートバルブ付きチャンバを備える、化学蓄熱システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ゲートバルブ、ゲートバルブ付きチャンバ及び化学蓄熱システムに関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
チャンバ内の気体をチャンバ内に貯留する一方、必要に応じてチャンバ内の気体を外部に放出したりするために、チャンバが有する開口を開閉するためのゲートバルブがチャンバに設けられる。開口を開閉するためのゲートバルブとして、特許文献１～３に記載の技術が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６１５０３８８号
特許第６６０７４２８号
特許第５８０１０９２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
チャンバの開口を開閉するため、ゲートバルブは、例えば弁板を、開口を開放した配置状態と開口を閉塞した配置状態の２つの配置状態間で移動させる。効率的にチャンバ内の気体を外部に流すには大きな開口が必要になる。この場合、開口を開閉するために弁板の動作量が大きくなっていた。
【０００５】
そこで、本発明は、開閉に伴う弁板の動作量を低減可能であるゲートバルブ及びゲートバルブ付きチャンバ並びに化学蓄熱システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
［１］本発明の一側面に係るゲートバルブは、第１方向に並列に配置されているとともに、上記第１方向に交差する第２方向に延びている複数の第１スリット開口を含む第１スリット開口群が形成された壁部を有するチャンバに取り付けられるゲートバルブであって、弁板と、上記弁板を駆動する駆動機構と、を備え、上記弁板には、上記第１方向に並列に配置されているとともに、上記第２方向に延びている複数の第２スリット開口を含む第２スリット開口群が形成されており、上記駆動機構は、上記弁板を、上記弁板のうち隣接する上記第２スリット開口の間の領域で上記第１スリット開口が塞がれている第１配置状態と、上記第２スリット開口が上記第１スリット開口と対向配置された第２配置状態とに切り替えるように、上記弁板を駆動する。
【０００７】
上記［１］に記載のゲートバルブでは、弁板を、第１スリット開口と第２スリット開口が対向されていない配置状態（第１配置状態）と第１スリット開口と第２スリット開口が対向配置された配置状態（第２配置状態）とに切り替えることで、第１スリット開口の開閉を制御できる。この場合、第１スリット開口の開閉のための弁板の動作量を少なくすることが可能である。
【０００８】
［２］上記［１］に記載のゲートバルブにおいて、上記第１方向及び上記第２方向は直交しており、上記駆動機構は、上記第１方向及び上記第２方向に直交する第３方向に沿って上記弁板に力を作用させることによって、上記弁板を、上記第２方向からみて、上記第３方向に対して傾斜した第４方向に移動させるように構成されていてよい。
【０００９】
上記［２］に記載のゲートバルブでは、上記駆動機構が、上記第３方向に沿って上記弁板に力を作用させることによって弁板が上記第４方向に移動する。第４方向は、第２方向からみて第３方向に対して傾斜しているので、第４方向に沿って弁板が移動する場合、弁板は、第１方向及び第３方向に同時に移動している。したがって、上記［２］に記載のゲートバルブでは、第３方向への力の作用のみで、弁板を、第１方向とともに第３方向に移動させることができる。
【００１０】
［３］上記［２］に記載のゲートバルブにおいて、上記弁板は、上記第１スリット開口群に面する第１面と上記第１面と反対に位置する第２面とを有し、上記駆動機構は、上記第２面に形成されており上記第１方向に延びるガイド溝と、上記第３方向に延在しているシャフトと、上記第２面に設けられており上記第２面に直交している支持部材と、上記支持部材に設けられており上記支持部材から上記第２方向に突出した第１ガイド部材と、上記チャンバに固定されており上記第１ガイド部材を上記第４方向に沿ってガイドするガイド路が形成されている第２ガイド部材と、を有し、上記第１方向からみて、上記第２面における上記ガイド溝の開口部の上記第２方向の幅は狭く、上記シャフトは、上記ガイド溝内に挿入されており上記ガイド溝内における上記第１方向に沿った相対位置が変化可能であるとともに、上記ガイド溝内において上記第２方向に沿った移動が規制されている先端部を有してよい。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許