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公開番号2025062268
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-14
出願番号2023171212
出願日2023-10-02
発明の名称表面電位測定装置
出願人春日電機株式会社
代理人弁理士法人アイリンク国際特許商標事務所
主分類G01R 29/12 20060101AFI20250407BHJP(測定;試験)
要約【課題】プラズマを用いた除電が必要な真空下でも、正確な測定ができる表面電位測定装置を提供すること。
【解決手段】検出窓2を開口させ、接地された金属製のケース1と、上記ケース1内に配置され、上記検出窓2に対応する位置に設けられた検出電極5と、上記検出電極5が接続された検出回路と、上記検出電極及び検出回路を支持する電気絶縁性の基板6とを備えた表面電位測定装置であって、上記ケース1が永久磁石M1,M2を備え、上記検出窓2上を磁力線Bが通過する構成にした。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
検出窓を開口させるとともに、接地された金属製のケースと、
上記ケース内に配置され、
上記検出窓に対応する位置に設けられた検出電極と、
上記検出電極が接続された検出回路と、
上記検出電極及び検出回路を支持する電気絶縁性の基板と
を備えた表面電位測定装置であって、
上記ケースは、
永久磁石を備え、上記検出窓上を磁力線が通過する構成にされた
表面電位測定装置。
続きを表示（約 140 文字）【請求項２】
上記ケースは、
非磁性金属で形成され、
その外表面に上記検出窓を挟む上記永久磁石を備えた
請求項１に記載の表面電位測定装置。
【請求項３】
上記ケースが磁性金属で形成された
請求項１に記載の表面電位測定装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この発明は、表面電位測定装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
物体の表面電位を非接触で測定する表面電位測定装置が知られている。
この種の測定装置は、例えば、図６に示すように、検出窓２を有する金属製のケース１内に、圧電素子３を付設した振動子４、検出電極５、信号の検出回路及び振動子４の駆動回路などを備えた電気絶縁性の基板６が設けられている。
上記振動子４は検出窓２と検出電極５との間に位置し、その振動によって、検出電極５に対向する検出窓２を開閉する。そして、この振動子４が、検出窓２に正対させた帯電した測定対象である帯電物体Ｗの表面から検出電極へ向かう電気力線をチョッピングして、上記電気力線を交流電圧として検出回路が検出する。この交流電圧から、測定対象の表面電位を検出するものである（特許文献１，２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－２１２２０９号公報
特開２００３－０２１６５６号公報
特開２０１８－０５６１１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような測定装置は、帯電物体を除電した際に、その除電効果を確認するために用いられることがあり、表面電位測定装置が除電工程の近傍に設けられることがある。
一方、真空下での帯電物体を除電する際には、プラズマを利用することがある。真空中では、コロナ放電などを利用した除電器を用いることができないためである。
上記プラズマを用いた除電装置では、真空チャンバ内に供給されたプラズマが、帯電物体の表面と真空チャンバ壁などの接地体との間を連結する導体として機能し、帯電物体の表面電荷を接地へ流して除電することができる（特許文献３参照）。
【０００５】
上記のような真空下で、除電及び表面電位の測定を行なうため、帯電電位測定装置のケース１は、予め真空チャンバ内に設置しておく。
なお、上記真空下とは例えば、１×１０
－３
〔Ｐａ〕程度である。
このような真空下で、除電のためにプラズマを供給すると、プラズマは短時間で拡散する。特にプラズマ中の電子は広がりやすい。そのため、帯電物体Ｗの近傍に供給されたプラズマ中の電子は、検出窓２からケース１内に入り込んでしまいやすい。
【０００６】
ケース１内には、上記したように電気絶縁性の基板６が設けられている。図６のように、検出窓２からケース１に電子ｅが入り込めば、基板６は入り込んだ電子ｅによって帯電してしまう。
ケース１内で、基板６が帯電すると、検出電極５は、測定対象である帯電物体Ｗの表面電位とともに上記基板６の表面電位も検出してしまう。特に、基板６は、測定対象である帯電物体Ｗよりも、検出電極５に近いため、基板６の表面電位の影響は大きい。つまり、プラズマ除電を必要とするような環境下で、正確な表面電位測定をすることはできなかった。
【０００７】
この発明の目的は、プラズマを用いた除電が必要な真空下でも、正確な測定ができる表面電位測定装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明は、検出窓を開口させるとともに接地された金属製のケースと、上記ケース内に配置され、上記検出窓に対応する位置に設けられた検出電極と、上記検出電極が接続された検出回路と、上記検出電極及び検出回路を支持する電気絶縁性の基板とを備えた表面電位測定装置であって、上記ケースが永久磁石を備え、上記検出窓上を磁力線が通過する構成にされている。
【０００９】
第２の発明は、上記ケースが非磁性金属で形成され、その外表面に上記検出窓を挟む上記永久磁石を備えている。
【００１０】
第３の発明は、上記ケースが磁性金属で形成されている。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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