特許ウォッチ

公開番号2025058417
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-09
出願番号2023168333
出願日2023-09-28
発明の名称回転速度算出装置、回転速度算出方法、基板洗浄装置および基板処理装置
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250402BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】より高精度に基板の回転速度を算出する。
【解決手段】洗浄対象の基板の周縁部を保持するローラを回転駆動することにより前記基板が回転される際に、前記基板の周縁部のノッチが前記ローラに当たることで発生する振動を検知する第1振動センサと、前記基板の洗浄を行う空間を画定する筐体の振動を検知する第2振動センサと、前記第1振動センサにより検知される振動および前記第2振動センサにより検知される振動に基づいて、前記基板の回転速度を算出する回転速度算出部と、を備える回転速度算出装置が提供される。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
洗浄対象の基板の周縁部を保持するローラを回転駆動することにより前記基板が回転される際に、前記基板の周縁部のノッチが前記ローラに当たることで発生する振動を検知する第１振動センサと、
前記基板の洗浄を行う空間を画定する筐体の振動を検知する第２振動センサと、
前記第１振動センサにより検知される振動および前記第２振動センサにより検知される振動に基づいて、前記基板の回転速度を算出する回転速度算出部と、を備える回転速度算出装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記回転速度算出部は、前記筐体の振動がキャンセルされるよう、前記第１振動センサおよび前記第２振動センサにより検知される振動に基づいて、前記基板の回転速度を算出する、請求項１に記載の回転速度算出装置。
【請求項３】
前記回転速度算出部は、前記第１振動センサにより検知された振動から、前記第２振動センサにより検知された振動を差し引いた値に基づいて、前記基板の回転速度を算出する、請求項１に記載の回転速度算出装置。
【請求項４】
洗浄対象の基板の周縁部を保持する複数のローラを回転駆動することにより前記基板が回転される際に、前記基板の周縁部のノッチが前記複数のローラのそれぞれに当たることで発生する振動を検知する、前記複数のローラの２以上に対応して設けられた２以上の振動センサと、
前記２以上の振動センサにより検知される振動に基づいて、前記基板の回転速度を算出する回転速度算出部と、を備える回転速度算出装置。
【請求項５】
前記回転速度算出部は、前記２以上の振動センサにより検知される振動の加算値に基づいて、前記基板の回転速度を算出する、請求項４に記載の回転速度算出装置。
【請求項６】
前記ローラの数と、前記振動センサの数は等しく、
前記２以上の振動センサのそれぞれは、前記複数のローラのそれぞれに対応して設けられる、請求項４に記載の回転速度算出装置。
【請求項７】
洗浄対象の基板の周縁部を保持するローラを回転駆動することにより前記基板が回転される際に、前記基板の周縁部のノッチが前記ローラに当たることで発生する音を検知する第１音センサと、
前記基板の洗浄を行う空間を画定する筐体から発生する音を検知する第２音センサと、
前記第１音センサにより検知される音および前記第２音センサにより検知される音に基づいて、前記基板の回転速度を算出する回転速度算出部と、を備える回転速度算出装置。
【請求項８】
洗浄対象の基板の周縁部を保持する複数のローラを回転駆動することにより前記基板が回転される際に、前記基板の周縁部のノッチが前記複数のローラのそれぞれに当たることで発生する音を検知する、前記複数のローラの２以上に対応して設けられた２以上の音センサと、
前記２以上の音センサにより検知される音に基づいて、前記基板の回転速度を算出する回転速度算出部と、を備える回転速度算出装置。
【請求項９】
前記ローラと、
前記ローラを回転駆動することにより前記基板を回転させる回転駆動部と、
回転される前記洗浄対象の基板に接触して洗浄を行う基板洗浄具と、
請求項１乃至８のいずれかに記載の回転速度算出装置と、を備える基板洗浄装置。
【請求項１０】
基板を研磨する基板研磨装置と、
研磨後の基板を洗浄する、請求項９に記載の基板洗浄装置と、を備える基板処理装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の回転速度を算出する回転速度算出装置および回転速度算出方法、ならびに、基板洗浄装置および基板処理装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
基板洗浄装置において、基板の周縁部のノッチがローラに当たることで発生する振動および音を検知して、基板の回転速度を算出する技術が知られている（特許文献１）。ただし、検知される振動および音は、ノッチがローラに当たることで発生するもの（信号）のみならず、他の要因で発生するもの（ノイズ）も含んでいる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第７０７８６０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、より高精度に基板の回転速度を算出することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
例示として、以下の解決手段が提供される。
【０００６】
［１］
洗浄対象の基板の周縁部を保持するローラを回転駆動することにより前記基板が回転される際に、前記基板の周縁部のノッチが前記ローラに当たることで発生する振動を検知する第１振動センサと、
前記基板の洗浄を行う空間を画定する筐体の振動を検知する第２振動センサと、
前記第１振動センサにより検知される振動および前記第２振動センサにより検知される振動に基づいて、前記基板の回転速度を算出する回転速度算出部と、を備える回転速度算出装置。
【０００７】
［２］
前記回転速度算出部は、前記筐体の振動がキャンセルされるよう、前記第１振動センサおよび前記第２振動センサにより検知される振動に基づいて、前記基板の回転速度を算出する、［１］に記載の回転速度算出装置。
【０００８】
［３］
前記回転速度算出部は、前記第１振動センサにより検知された振動から、前記第２振動センサにより検知された振動を差し引いた値に基づいて、前記基板の回転速度を算出する、［１］に記載の回転速度算出装置。
【０００９】
［４］
洗浄対象の基板の周縁部を保持する複数のローラを回転駆動することにより前記基板が回転される際に、前記基板の周縁部のノッチが前記複数のローラのそれぞれに当たることで発生する振動を検知する、前記複数のローラの２以上に対応して設けられた２以上の振動センサと、
前記２以上の振動センサにより検知される振動に基づいて、前記基板の回転速度を算出する回転速度算出部と、を備える回転速度算出装置。
【００１０】
［５］
前記回転速度算出部は、前記２以上の振動センサにより検知される振動の加算値に基づいて、前記基板の回転速度を算出する、［４］に記載の基板洗浄装置。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許