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公開番号2025061616
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-10
出願番号2025009562,2021214674
出願日2025-01-23,2021-12-28
発明の名称めっき装置およびめっき方法
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人,個人
主分類C25D 21/12 20060101AFI20250403BHJP(電気分解または電気泳動方法;そのための装置)
要約【課題】めっき装置においてめっき膜厚の均一性を向上させる。
【解決手段】アノードから基板へ電流を流すことによって前記基板をめっきするためのめっき装置が提供される。めっき装置は、前記アノード上の複数の電気接点を介して前記アノードと電気的に接続される複数のアノード側電気配線と、前記基板上の複数の電気接点を介して前記基板と電気的に接続される複数の基板側電気配線と、前記アノード側と前記基板側の少なくとも一方において、前記複数のアノード側電気配線または前記複数の基板側電気配線の途中に配置された複数の可変抵抗と、前記複数の可変抵抗の各抵抗値を調整するように構成された制御部と、を備える。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
アノードから基板へ電流を流すことによって前記基板をめっきするためのめっき装置であって、
前記アノード上の複数の電気接点を介して前記アノードと電気的に接続される複数のアノード側電気配線と、
前記基板上の複数の電気接点を介して前記基板と電気的に接続される複数の基板側電気配線と、
前記複数のアノード側電気配線および前記複数の基板側電気配線と接続され、前記アノードと前記基板との間にめっき電流を供給する整流器と、
前記複数のアノード側電気配線の途中に配置された複数の可変抵抗と、
前記複数の可変抵抗の各抵抗値を調整するように構成された制御部と、
を備えるめっき装置。
続きを表示（約 550 文字）【請求項２】
前記制御部は、前記複数の電気接点の各々における接触抵抗値にかかわらず、前記複数のアノード側電気配線または前記複数の基板側電気配線の各経路上の抵抗値の和が実質的に等しくなるように、前記複数の可変抵抗の各抵抗値を調整する、請求項１に記載のめっき装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記複数のアノード側電気配線または前記複数の基板側電気配線の各経路に実質的に等しい電流が流れるように、前記複数の可変抵抗の各抵抗値を調整する、請求項２に記載のめっき装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記アノードの中央部近傍の前記電気接点に繋がる前記可変抵抗の抵抗値が相対的に小さく、かつ前記アノードの周縁部近傍の前記電気接点に繋がる前記可変抵抗の抵抗値が相対的に大きくなるように、前記複数の可変抵抗の各抵抗値を調整する、請求項１から３のいずれか１項に記載のめっき装置。
【請求項５】
前記各可変抵抗の抵抗値は、前記電気接点における接触抵抗値よりも大きい、請求項１から４のいずれか１項に記載のめっき装置。
【請求項６】
前記各可変抵抗の抵抗値は、前記電気接点における接触抵抗値よりも１０倍以上大きい、請求項５に記載のめっき装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、めっき装置およびめっき方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
めっき液中に浸漬させた基板に電流を流すことによりめっき処理を行うめっき装置において、基板には、基板の周縁部に設けられた複数の電気接点を介して、電流が供給される（例えば特許文献１（特に図９）参照）。このような構成のめっき装置において、基板上に形成されるめっき膜の膜厚を基板面内にわたって均一にするには、基板周縁部の複数の電気接点に実質的に等しい電流が流れるようにすることが重要である。そのような目的のために、基板周縁部の複数の電気接点にそれぞれ可変抵抗を接続し、可変抵抗の抵抗値を調整することで、複数の電気接点に均一な電流を流すことは公知である（例えば特許文献１（特に段落００５９）参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－２０００１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、複数の可変抵抗をそれぞれどのような抵抗値に設定すればよいかを決定するのは容易ではない。例えば、各電気接点における接触抵抗はばらつくことがあり、また基板面内の膜厚分布はめっき装置に固有の分布を示すことがある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
［形態１］形態１によれば、アノードから基板へ電流を流すことによって前記基板をめっきするためのめっき装置であって、前記アノード上の複数の電気接点を介して前記アノードと電気的に接続される複数のアノード側電気配線と、前記基板上の複数の電気接点を介して前記基板と電気的に接続される複数の基板側電気配線と、前記アノード側と前記基板側の少なくとも一方において、前記複数のアノード側電気配線または前記複数の基板側電気配線の途中に配置された複数の可変抵抗と、前記複数の可変抵抗の各抵抗値を調整するように構成された制御部と、を備えるめっき装置が提供される。
【０００６】
［形態２］形態２によれば、形態１のめっき装置において、前記制御部は、前記基板上の各点におけるめっき膜厚を入力とし、前記各可変抵抗の抵抗値を出力とする機械学習モデルを用いて、前記複数の可変抵抗の各抵抗値を決定し、前記決定した各抵抗値を前記複数の可変抵抗の各々に設定して、前記めっき装置においてめっき処理を実行させる、ように構成される。
【０００７】
［形態３］形態３によれば、形態２のめっき装置において、前記機械学習モデルは、前記入力としてさらに、前記アノードと前記基板の間に供給される電流値、前記アノードと前記基板の間に印加される電圧値、前記アノードと前記基板の間に電流を流す通電時間、前記基板の形状に関する情報、および前記基板のめっきに用いられるめっき液の特性に関する情報、のうちのいずれか１つまたは複数を含む。
【０００８】
［形態４］形態４によれば、形態３のめっき装置において、前記基板の形状に関する情報は、前記基板の開口面積、前記基板の開口率、および前記基板の表面に形成されたシード層の厚さ、のうちのいずれか１つまたは複数を含む。
【０００９】
［形態５］形態５によれば、形態２から形態４のいずれか１つのめっき装置において、前記機械学習モデルは、前記出力としてさらに、前記アノードと前記基板の間の電界を調節するために前記アノードと前記基板の間に配置されるマスクのサイズ値を含む。
【００１０】
［形態６］形態６によれば、形態２から形態４のいずれか１つのめっき装置において、前記制御部は、前記機械学習モデルを用いて、前記基板上の各点におけるめっき膜厚の目標値に少なくとも基づいて前記各可変抵抗の抵抗値を算出し、前記算出された各抵抗値を前記複数の可変抵抗の各々に設定し、前記各抵抗値が前記複数の可変抵抗の各々に設定された前記めっき装置においてめっき処理を実行させ、前記めっき処理後の、前記基板上の各点におけるめっき膜厚の測定値を取得し、前記機械学習モデルを用いて、前記取得された前記基板上の各点におけるめっき膜厚の測定値に少なくとも基づいて前記各可変抵抗の抵抗値を算出し、前者の算出過程において得られた前記各可変抵抗の抵抗値と後者の算出過程において得られた前記各可変抵抗の抵抗値との差に基づいて、前記機械学習モデルを更新する、ように構成される。
（【００１１】以降は省略されています）

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