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公開番号2025080151
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-23
出願番号2023193200
出願日2023-11-13
発明の名称センサホルダ
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人
主分類G01D 11/30 20060101AFI20250516BHJP(測定;試験)
要約【課題】センサの着脱が容易であるセンサホルダを提供する。
【解決手段】センサホルダは、設置面に対向するベース部と、ベース部に間隔をおいて立設されてセンサを保持する複数の突起と、を備える。複数の突起の間に、センサが設置される収容空間が形成されている。突起に、センサが収容空間から外れる方向に移動するのを規制する規制凸部が形成されている。複数の突起のうち少なくとも1つは、収容空間から離れる方向に弾性的に曲げ変形可能な第1突起である。第1突起の曲げ剛性は、第1突起以外の突起のうち少なくとも1つである第2突起の曲げ剛性に比べて低い。
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
センサを保持するセンサホルダであって、
設置面に対向するベース部と、
前記ベース部に間隔をおいて立設されて前記センサを保持する複数の突起と、を備え、
複数の前記突起の間に、前記センサが設置される収容空間が形成され、
前記突起に、前記センサが前記収容空間から外れる方向に移動するのを規制する規制凸部が形成され、
複数の前記突起のうち少なくとも１つは、前記収容空間から離れる方向に弾性的に曲げ変形可能な第１突起であり、
前記第１突起の曲げ剛性は、前記第１突起以外の前記突起のうち少なくとも１つである第２突起の曲げ剛性に比べて低い、
センサホルダ。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
複数の前記突起は、等間隔とならないように形成されている、
請求項１記載のセンサホルダ。
【請求項３】
前記第２突起の背面側に、前記設置面に固定される固定部が形成され、
前記ベース部のうち前記第１突起が形成された側の部分は、前記設置面から離れている、
請求項１記載のセンサホルダ。
【請求項４】
前記第１突起は、前記第２突起より薄く形成されることによって曲げ剛性が前記第２突起の曲げ剛性に比べて低くされている、
請求項１記載のセンサホルダ。
【請求項５】
前記規制凸部は、前記センサの上面に対向する対向面を有する、
請求項１記載のセンサホルダ。
【請求項６】
前記突起は、前記センサの側面との間に隙間が確保されるように形成されている、
請求項１記載のセンサホルダ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサホルダに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体ウエハなどの基板に対して各種処理を行うための基板処理装置においては、処理の状況などを検知するためのセンサが用いられている。センサとしては、例えば、処理に用いられる液体の漏洩を検知する漏液センサなどがある。
【０００３】
センサを設置するには、センサホルダを用いることができる（例えば、特許文献１を参照）。センサホルダは、例えば、枠体と、枠体に立設された複数の係止部とを備える。センサホルダは、複数の係止部によってセンサを保持する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００４－２９４１６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
センサは、交換、メンテナンス、確認試験などのために、センサホルダに対して取り外しおよび再取り付けを行うことがある。そのため、センサホルダにおけるセンサの着脱の容易性は重要である。しかしながら、前述のセンサホルダは、センサの着脱の容易性の点で改善の余地があった。
【０００６】
本発明の一態様は、センサの着脱が容易であるセンサホルダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の態様１に係るセンサホルダは、センサを保持するセンサホルダであって、設置面に対向するベース部と、前記ベース部に間隔をおいて立設されて前記センサを保持する複数の突起と、を備え、複数の前記突起の間に、前記センサが設置される収容空間が形成され、前記突起に、前記センサが前記収容空間から外れる方向に移動するのを規制する規制凸部が形成され、複数の前記突起のうち少なくとも１つは、前記収容空間から離れる方向に弾性的に曲げ変形可能な第１突起であり、前記第１突起の曲げ剛性は、前記第１突起以外の前記突起のうち少なくとも１つである第２突起の曲げ剛性に比べて低い。
【０００８】
本発明の態様２に係るセンサホルダは、態様１に係るセンサホルダにおいて、複数の前記突起は、等間隔とならないように形成されている。
【０００９】
本発明の態様３に係るセンサホルダは、態様１または態様２に係るセンサホルダにおいて、前記第２突起の背面側に、前記設置面に固定される固定部が形成され、前記ベース部のうち前記第１突起が形成された側の部分は、前記設置面から離れている。
【００１０】
本発明の態様４に係るセンサホルダは、態様１から態様３のいずれか一つに係るセンサホルダにおいて、前記第１突起は、前記第２突起より薄く形成されることによって曲げ剛性が前記第２突起の曲げ剛性に比べて低くされている。
（【００１１】以降は省略されています）

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