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公開番号2025056551
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-08
出願番号2023166090
出願日2023-09-27
発明の名称光スペクトラムアナライザおよび測定方法
出願人アンリツ株式会社
代理人弁理士法人栄光事務所
主分類G01J 3/18 20060101AFI20250401BHJP(測定;試験)
要約【課題】短時間で2チャンネルの被測定光の測定を行う。
【解決手段】制御部(9)と、入射部(1)と、回折格子(3)と、受光部(7)と、測定部(8)とを備え、入射部は、第1の被測定光(ChA)を出射する第1の入射手段(1a)と、第2の被測定光(ChB)を出射する第2の入射手段(1b)とを備え、受光部は、第1の被測定光の回折光を受光する第1の受光手段(7a)と、第2の被測定光の回折光を受光する第2の受光手段(7b)とを備え、測定部は、第1及び第2の被測定光の波長成分を並行して測定する第1の測定を行い、測定が出来なかった波長範囲がある場合は、測定が出来なかった第1又は第2の被測定光の波長範囲を含む波長範囲であって、その被測定光についての設定波長範囲よりも狭い波長範囲について再度測定する第2の測定を行い、制御部は、第2の測定のデータに基づいて第1の測定の測定データを補完する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
制御部（９）と、被測定光を出射する入射部（１）と、前記入射部からの光を分散分光する回動可能な回折格子（３）と、前記回折格子で回折された回折光を受光する受光部（７）と、前記受光部の出力信号に基づいて前記被測定光の波長成分を測定する測定部（８）とを備えた光スペクトラムアナライザであって、
前記入射部は、第１の被測定光（ＣｈＡ）を出射する第１の入射手段（１ａ）と、第２の被測定光（ＣｈＢ）を出射する第２の入射手段（１ｂ）とを備え、
前記受光部は、前記第１の被測定光の回折光を受光する第１の受光手段（７ａ）と、第２の被測定光の回折光を受光する第２の受光手段（７ｂ）とを備え、
前記測定部は、
前記回折格子を回動して前記第１の被測定光及び前記第２の被測定光の波長成分を並行して測定する第１の測定を行い、
測定が出来なかった波長範囲がある場合は、測定が出来なかった前記第１または第２の被測定光の波長範囲を含む波長範囲であって、かつ、その被測定光についての設定波長範囲よりも狭い波長範囲について、再度掃引して波長成分について測定する第２の測定を行い、
前記制御部は、第２の測定によって測定されたデータに基づいて、第１の測定によって得られた測定データを補完する、
光スペクトラムアナライザ。
続きを表示（約 830 文字）【請求項２】
前記第１の測定において、前記第１の被測定光および前記第２の被測定光のうち一方について測定している途中で、他方の被測定光が入力された場合、前記測定部は、前記他方の被測定光について前記設定波長範囲の開始波長から他方の被測定光が入力された時点の波長までを含む波長範囲について前記第２の測定を行う、
請求項１に記載の光スペクトラムアナライザ。
【請求項３】
光スペクトラムアナライザによる被測定光の測定方法であって、
前記光スペクトラムアナライザは、制御部（９）と、被測定光を出射する入射部（１）と、前記入射部からの光を分散分光する回動可能な回折格子（３）と、前記回折格子で回折された回折光を受光する受光部（７）と、前記受光部の出力信号に基づいて前記被測定光の波長成分を測定する測定部（８）とを備え、
前記入射部は、第１の被測定光（ＣｈＡ）を出射する第１の入射手段（１ａ）と、第２の被測定光（ＣｈＢ）を出射する第２の入射手段（１ｂ）とを備え、
前記受光部は、前記第１の被測定光の回折光を受光する第１の受光手段（７ａ）と、第２の被測定光の回折光を受光する第２の受光手段（７ｂ）とを備え、
前記測定方法は、
前記回折格子を回動して前記第１の被測定光及び前記第２の被測定光の波長成分を並行して測定する第１の測定ステップと、
測定が出来なかった波長範囲がある場合は、測定が出来なかった前記第１または第２の被測定光の波長範囲を含む波長範囲であって、かつ、その被測定光についての設定波長範囲よりも狭い波長範囲について、再度掃引して波長成分について測定する第２の測定ステップと、
測定が出来なかった波長範囲がある場合は、第２の測定ステップによって測定されたデータに基づいて、第１の測定ステップによって得られた測定データを補完する、補完ステップと、を有する、
測定方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、光スペクトラムアナライザおよび測定方法に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、被測定光を回折格子に二回入射させるモノクロメータに関し、特に二つのパス間での波長同調の改善を図り、装置の小型、簡素化を実現したモノクロメータが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第３２７４０３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
２チャンネル入力の光スペクトラムアナライザにおいて、第１チャンネルの被測定光を測定している途中に、第２チャンネルの被測定光が入力される場合がある。このような場合、第２チャンネルの被測定光についての測定を最初からやり直す必要があった。しかし、第２チャンネルの被測定光についての測定のやり直しには時間がかかる。
【０００５】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、短時間で２チャンネルの被測定光についての測定を行えるような光スペクトラムアナライザおよび測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前述した目的を達成するために、本発明に係る光スペクトラムアナライザおよび測定方法は、下記［１］～［３］を特徴としている。
［１］
制御部（９）と、被測定光を出射する入射部（１）と、前記入射部からの光を分散分光する回動可能な回折格子（３）と、前記回折格子で回折された回折光を受光する受光部（７）と、前記受光部の出力信号に基づいて前記被測定光の波長成分を測定する測定部（８）とを備えた光スペクトラムアナライザであって、
前記入射部は、第１の被測定光（ＣｈＡ）を出射する第１の入射手段（１ａ）と、第２の被測定光（ＣｈＢ）を出射する第２の入射手段（１ｂ）とを備え、
前記受光部は、前記第１の被測定光の回折光を受光する第１の受光手段（７ａ）と、第２の被測定光の回折光を受光する第２の受光手段（７ｂ）とを備え、
前記測定部は、
前記回折格子を回動して前記第１の被測定光及び前記第２の被測定光の波長成分を並行して測定する第１の測定を行い、
測定が出来なかった波長範囲がある場合は、測定が出来なかった前記第１または第２の被測定光の波長範囲を含む波長範囲であって、かつ、その被測定光についての設定波長範囲よりも狭い波長範囲について、再度掃引して波長成分について測定する第２の測定を行い、第２の測定によって測定されたデータに基づいて、第１の測定によって得られた測定データを補完する、
光スペクトラムアナライザ。
［２］
前記第１の測定において、前記第１の被測定光および前記第２の被測定光のうち一方について測定している途中で、他方の被測定光が入力された場合、前記測定部は、前記他方の被測定光について前記設定波長範囲の開始波長から他方の被測定光が入力された時点の波長までを含む波長範囲について前記第２の測定を行う、
［１］に記載の光スペクトラムアナライザ。
［３］
光スペクトラムアナライザによる被測定光の測定方法であって、
前記光スペクトラムアナライザは、制御部（９）と、被測定光を出射する入射部（１）と、前記入射部からの光を分散分光する回動可能な回折格子（３）と、前記回折格子で回折された回折光を受光する受光部（７）と、前記受光部の出力信号に基づいて前記被測定光の波長成分を測定する測定部（８）とを備え、
前記入射部は、第１の被測定光（ＣｈＡ）を出射する第１の入射手段（１ａ）と、第２の被測定光（ＣｈＢ）を出射する第２の入射手段（１ｂ）とを備え、
前記受光部は、前記第１の被測定光の回折光を受光する第１の受光手段（７ａ）と、第２の被測定光の回折光を受光する第２の受光手段（７ｂ）とを備え、
前記測定方法は、
前記回折格子を回動して前記第１の被測定光及び前記第２の被測定光の波長成分を並行して測定する第１の測定ステップと、
測定が出来なかった波長範囲がある場合は、測定が出来なかった前記第１または第２の被測定光の波長範囲を含む波長範囲であって、かつ、その被測定光についての設定波長範囲よりも狭い波長範囲について、再度掃引して波長成分について測定する第２の測定ステップと、
測定が出来なかった波長範囲がある場合は、第２の測定ステップによって測定されたデータに基づいて、第１の測定ステップによって得られた測定データを補完する、補完ステップと、を有する、
測定方法。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、短時間で２チャンネルの被測定光についての測定を行うことができる。
【０００８】
以上、本発明について簡潔に説明した。更に、以下に説明される発明を実施するための形態（以下、「実施形態」という。）を添付の図面を参照して通読することにより、本発明の詳細は更に明確化されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、本開示の一実施形態に係る光スペクトラムアナライザの構成例を示す概念図である。
図２は、本開示の一実施形態に係る測定方法の概略を説明する概念図である。
図３は、本開示の一実施形態に係る測定方法を例示するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明に関する具体的な実施形態について、各図を参照しながら以下に説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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