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公開番号2025050496
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-04
出願番号2023159321
出願日2023-09-25
発明の名称チャックピンおよび基板保持装置
出願人株式会社SCREENホールディングス
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250328BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】保持部の交換を容易に行うことが可能なチャックピンおよび基板保持装置を提供する。
【解決手段】チャックピン100は、保持部110および固定部120を備え、基板を保持する。保持部110は、内周面114と基板に当接可能な外周面113とを有する。保持部110の内周面114には、内方に突出する突出部115が形成される。固定部120は、押付部10、被押付部20および付勢部30を含み、保持部110を着脱可能に固定する。押付部10は、開口部12aが形成された側壁部12を有する。被押付部20は、開口部22aが形成された側壁部22を有する。付勢部30は、押付部10を被押付部20に対して回転方向R1に付勢する。保持部110の内周面114の突出部115は、開口部12aおよび開口部22aにおいて押付部10と被押付部20とにより狭持される。
【選択図】図2

特許請求の範囲【請求項１】
基板を保持するチャックピンであって、
内周面と前記基板に当接可能な外周面とを有する保持部と、
前記保持部を着脱可能に固定する固定部とを備え、
前記固定部は、
第１の開口部が形成された第１の側壁部を有する押付部と、
第２の開口部が形成された第２の側壁部を有する被押付部と、
前記押付部を前記被押付部に対して第１の回転方向に付勢する付勢部と含み、
前記保持部の前記内周面には、内方に突出し、前記第１の開口部および前記第２の開口部において前記押付部と前記被押付部とにより狭持される突出部が形成される、チャックピン。
続きを表示（約 980 文字）【請求項２】
前記被押付部の前記第２の側壁部は、前記押付部の前記第１の開口部から露出する、請求項１記載のチャックピン。
【請求項３】
前記被押付部において、前記第２の開口部が形成された前記第２の側壁部の切り口は、前記保持部の前記突出部と当接する凹部を有する、請求項１または２記載のチャックピン。
【請求項４】
前記押付部において、前記第１の開口部が形成された前記第１の側壁部の切り口は、前記第１の回転方向に向かって前記被押付部の前記凹部に漸次近づくテーパ面を有する、請求項３記載のチャックピン。
【請求項５】
前記付勢部は、第１の端部を有し、
前記押付部は、前記付勢部の前記第１の端部が嵌め込まれる第１の孔部が形成された第１の主面部をさらに有し、
前記被押付部は、前記第１の回転方向に平行に延びかつ前記付勢部の前記第１の端部が挿通されるスリットが形成された第２の主面部をさらに有する、請求項１または２記載のチャックピン。
【請求項６】
前記被押付部は、前記第２の側壁部よりも内方に形成された第３の側壁部をさらに有し、
前記付勢部は、前記被押付部の前記第２の側壁部と前記第３の側壁部との間に配置される、請求項１または２記載のチャックピン。
【請求項７】
前記付勢部は、第２の端部を有し、
前記被押付部の前記第３の側壁部には、前記付勢部の前記第２の端部が嵌め込まれる第２の孔部が形成される、請求項６記載のチャックピン。
【請求項８】
前記保持部の前記外周面が前記基板に当接することにより前記基板を保持する保持状態と、前記保持部の前記外周面が前記基板から離間することにより前記基板を保持しない非保持状態との間で前記保持部および前記固定部を回動させる回動駆動部をさらに備える、請求項１または２記載のチャックピン。
【請求項９】
請求項１または２記載のチャックピンと、
前記チャックピンの前記固定部が取り付けられるプレート部とを備える、基板保持装置。
【請求項１０】
前記プレート部を回転させる回転駆動部をさらに備える、請求項９記載の基板保持装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を保持するチャックピンおよび基板保持装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体基板に種々の処理を行うために、基板処理装置が用いられる。基板処理装置においては、複数のチャックピンが基板の外周端部に当接することにより、処理対象の基板が水平姿勢で保持される。チャックピンが長期間使用されると、基板と接触するチャックピンの部分が摩耗することにより、基板の保持または保持の解除を正確に行うことができなくなる。そのため、チャックピンは、摩耗する前に定期的に交換される。
【０００３】
特許文献１には、ピン部材がピン支持部により支持された保持ピンが記載されている。ピン支持部には、内周面に螺旋状溝が形成された穴部が設けられる。ピン部材には、ピン支持部の穴部に螺合する突起部が形成される。そのため、ピン部材は、一方向に回されることによりピン支持部に固定され、逆方向に回されることによりピン支持部から取り外される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０００－１００７０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の保持ピンによれば、ピン部材の交換作業が容易になる。しかしながら、部品交換に伴う基板保持装置の稼働率の低下による生産性の悪化、および交換作業員の人件費の増加を防止するために、保持部の交換をより容易に行うことが可能なチャックピンが求められる。
【０００６】
本発明の目的は、保持部の交換を容易に行うことが可能なチャックピンおよび基板保持装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一局面に従うチャックピンは、基板を保持するチャックピンであって、内周面と前記基板に当接可能な外周面とを有する保持部と、前記保持部を着脱可能に固定する固定部とを備え、前記固定部は、第１の開口部が形成された第１の側壁部を有する押付部と、第２の開口部が形成された第２の側壁部を有する被押付部と、前記押付部を前記被押付部に対して第１の回転方向に付勢する付勢部と含み、前記保持部の前記内周面には、内方に突出し、前記第１の開口部および前記第２の開口部において前記押付部と前記被押付部とにより狭持される突出部が形成される。
【０００８】
本発明の他の局面に従う基板保持装置は、上記のチャックピンと、前記チャックピンの前記固定部が取り付けられるプレート部とを備える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ピン部材の交換を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明の一実施の形態に係る基板保持装置の概略断面図である。
チャックピンの分解斜視図である。
チャックピンの一部を拡大した縦断面図である。
チャックピンの固定部の斜視図である。
アーム部による保持部の取り付け動作を説明するための図である。
アーム部による保持部の取り外し動作を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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