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公開番号2025039262
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-21
出願番号2023146219
出願日2023-09-08
発明の名称研削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類B24B 41/047 20060101AFI20250313BHJP(研削;研磨)
要約【課題】被加工物の研削に伴ってホイール基台に生じる反力が大きくなる場合であっても、所望の形状になるように被加工物を研削しやすい研削装置を提供する。
【解決手段】被加工物を研削する研削装置であって、保持面において被加工物を保持するチャックテーブルと、複数の研削砥石を含む研削ホイールが装着されている先端部と凹部が形成されている中間部とを有するスピンドルと、凹部の内側に位置する凸部を有するケーシングと、を備える。凸部の天面にはラジアル荷重を支える第1エアベアリングを形成するために凹部の底面に向けてエアを噴射するための第1エア噴射口が形成され、また、その側面にはスラスト荷重を支える第2エアベアリングを形成するために凹部の側面に向けてエアを噴射するための第2エア噴射口が形成されている。スピンドルを回転させた時の複数の研削砥石の軌跡は、スピンドルの回転軸に沿った方向において第2エアベアリングと重なる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を研削する研削装置であって、
保持面において該被加工物を保持するチャックテーブルと、
周囲にモータが設けられている基端部と、ホイール基台と該ホイール基台の一面において環状に離散して設けられている複数の研削砥石とを有する研削ホイールが装着されている先端部と、該基端部及び該先端部の間に位置し、かつ、凹部が形成されている中間部と、を有するスピンドルと、
該凹部の内側に位置する凸部を有するケーシングと、を備え、
該凸部の天面には、該スピンドルを回転させるように該モータを動作させる際に生じるラジアル荷重を支える第１エアベアリングを形成するために該凹部の底面に向けてエアを噴射するための第１エア噴射口が形成され、
該凸部の側面には、該スピンドルを回転させるように該モータを動作させる際に生じるスラスト荷重を支える第２エアベアリングを形成するために該凹部の側面に向けてエアを噴射するための第２エア噴射口が形成され、
該スピンドルを回転させた時の該複数の研削砥石の軌跡は、該スピンドルの回転軸に沿った方向において該第２エアベアリングと重なる研削装置。
続きを表示（約 170 文字）【請求項２】
該研削ホイールは、該スピンドルの回転軸に沿った方向において該第２エアベアリングと重ならない固定具を利用して該先端部と該ホイール基台とを連結させることによって該先端部に装着されている請求項１に記載の研削装置。
【請求項３】
該軌跡の外径は、該保持面の半径よりも大きい請求項１又は２に記載の研削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を研削する研削装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）等のデバイスのチップは、携帯電話及びパーソナルコンピュータ等の各種電子機器において不可欠の構成要素である。このようなチップは、例えば、表面側に複数のデバイスが形成されているウェーハ等の被加工物を薄化してから個々のデバイスを含む領域毎に分割することで製造される。
【０００３】
被加工物を薄化する方法としては、例えば、研削装置における被加工物の裏面側の研削が挙げられる。研削装置は、一般的に、保持面において被加工物を保持するチャックテーブルと、その他の部分よりも幅広な先端部を有し、この先端部をマウントとして研削ホイールが装着されるスピンドルと、を備える（例えば、特許文献１及び２参照）。
【０００４】
また、この研削ホイールは、円環状のホイール基台と、このホイール基台の一面において環状に離散して設けられている複数の研削砥石と、を有する。そして、この研削装置においては、スピンドルとともに研削ホイールに含まれる複数の研削砥石をチャックテーブルの保持面において保持されている被加工物に押し付けることによって被加工物が研削される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１１－２９３３１号公報
特開２０１１－４０６３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
複数の研削砥石が被加工物に押し付けられると、複数の研削砥石を介してホイール基台に反力（端的には、スピンドルの回転軸に沿った方向における荷重）が加わる。そして、この反力が大きくなるとホイール基台が撓み、複数の研削砥石によって被加工物を所望の形状に研削することが困難になるおそれがある。
【０００７】
この点に鑑み、本発明の目的は、被加工物の研削に伴ってホイール基台に生じる反力が大きくなる場合であっても、所望の形状になるように被加工物を研削しやすい研削装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、被加工物を研削する研削装置であって、保持面において該被加工物を保持するチャックテーブルと、周囲にモータが設けられている基端部と、ホイール基台と該ホイール基台の一面において環状に離散して設けられている複数の研削砥石とを有する研削ホイールが装着されている先端部と、該基端部及び該先端部の間に位置し、かつ、凹部が形成されている中間部と、を有するスピンドルと、該凹部の内側に位置する凸部を有するケーシングと、を備え、該凸部の天面には、該スピンドルを回転させるように該モータを動作させる際に生じるラジアル荷重を支える第１エアベアリングを形成するために該凹部の底面に向けてエアを噴射するための第１エア噴射口が形成され、該凸部の側面には、該スピンドルを回転させるように該モータを動作させる際に生じるスラスト荷重を支える第２エアベアリングを形成するために該凹部の側面に向けてエアを噴射するための第２エア噴射口が形成され、該スピンドルを回転させた時の該複数の研削砥石の軌跡は、該スピンドルの回転軸に沿った方向において該第２エアベアリングと重なる研削装置が提供される。
【０００９】
また、好ましくは、該研削ホイールは、該スピンドルの回転軸に沿った方向において該第２エアベアリングと重ならない固定具を利用して該先端部と該ホイール基台とを連結させることによって該先端部に装着されている。さらに、好ましくは、該軌跡の外径は、該保持面の半径よりも大きい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明においては、スピンドルを回転させた時の複数の研削砥石の軌跡がスピンドルの回転軸に沿った方向においてスラスト荷重を支える第２エアベアリングと重なる。この場合、反力が加えられたホイール基台を第２エアベアリングによって支えることができる。そのため、本発明においては、ホイール基台の撓みが抑制されて複数の研削砥石によって被加工物を所望の形状に研削しやすくなる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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