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公開番号2025038391
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-19
出願番号2023144983
出願日2023-09-07
発明の名称ロボット及びシステム
出願人株式会社安川電機
代理人弁理士法人RYUKA国際特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250312BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウェハを搬送するときの垂直面に対して垂直な方向における幅が、搬送されているウェハの軌跡の垂直面に対して垂直な方向における幅に収まるロボット及びシステムを提供する。
【解決手段】ロボット100は、第1ベース110に対して第1回転軸101を中心に垂直面内で回転可能に連結している第1アーム122と、その先端側に対して第2回転軸103を中心に垂直面内で回転可能に連結している第2アーム124を有する第1可動部120と、第2アームの先端側に対して第3回転軸105を中心に垂直面内で回転可能に連結している第2ベース132、第2ベースの先端側に対して第4回転軸107を中心に回転可能に連結している第3アーム134及びその先端側に対して第5回転軸109を中心に回転可能に連結されウェハ50を保持するハンド136を有する第2可動部130と、ウェハを搬送するように各可動部を制御する制御部152と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１ベースと、
前記第１ベースに対して基端側が第１回転軸を中心に垂直面内で回転可能に連結されている第１アームと、前記第１アームの先端側に対して基端側が第２回転軸を中心に垂直面内で回転可能に連結されている第２アームとを有する第１可動部と、
前記第２アームの先端側に対して基端側が第３回転軸を中心に垂直面内で回転可能に連結されている第２ベースと、前記第２ベースの先端側に対して基端側が第４回転軸を中心に回転可能に連結されている第３アームと、前記第３アームの先端側に対して基端側が第５回転軸を中心に回転可能に連結され、ウェハを保持するハンドとを有する第２可動部と、
前記ハンドによって保持されている前記ウェハを搬送するように、前記第１可動部及び前記第２可動部を制御する制御部と
を備え、
前記ウェハを搬送するときの前記第１可動部の軌跡の、垂直面に対して垂直な方向における幅が、搬送されている前記ウェハの軌跡の、垂直面に対して垂直な方向における幅に収まる、
ロボット。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記制御部は、前記ハンドが水平面と平行な状態で前記ハンドに前記ウェハを格納するカセットへのアクセスのための開口部へアクセスさせるように、前記第１可動部及び前記第２可動部を制御する、請求項１に記載のロボット。
【請求項３】
前記制御部は、前記ウェハを搬送するときの前記第２可動部の軌跡の、垂直面に対して垂直な方向における幅が、搬送されている前記ウェハの前記軌跡の、垂直面に対して垂直な方向における前記幅に収まるように、前記第２可動部を制御する、請求項１に記載のロボット。
【請求項４】
前記ウェハを搬送するときの前記第４回転軸の軌跡は、前記ウェハを搬送するときの前記第２可動部の軌跡の、垂直面に対して垂直な方向における幅の中心線からずれている、請求項１に記載のロボット。
【請求項５】
前記第１アーム及び前記第２アームは、前記第１アーム及び前記第２アームが回転する場合に、前記第１アームの軌跡と前記第２アームの軌跡とが重複する構造を有する、請求項１に記載のロボット。
【請求項６】
前記第１アームの前記軌跡の、垂直面に対して垂直な方向における幅は、前記第２アームの前記軌跡の、垂直面に対して垂直な方向における幅に収まる、請求項５に記載のロボット。
【請求項７】
前記第２アームの前記軌跡の、垂直面に対して垂直な方向における幅は、前記第１アームの前記軌跡の、垂直面に対して垂直な方向における幅に収まる、請求項５に記載のロボット。
【請求項８】
前記制御部は、前記第２回転軸の高度が前記第１回転軸の高度より低い状態で、前記第３回転軸及び前記第２可動部が、前記第１ベースの配置面に対して垂直であり且つ前記第１回転軸を含む平面を通過することなく、前記第２回転軸が前記平面を通過するように、前記第１可動部及び前記第２可動部を制御する、請求項１に記載のロボット。
【請求項９】
前記第１ベースの配置面に対して垂直である上向きのベクトルと、前記第１回転軸及び前記第２回転軸を通り、且つ、前記第１回転軸及び前記第２回転軸に対して垂直である直線と平行なベクトルとの間の角度の角度範囲は－２２０°から２２０°までの角度である、請求項８に記載のロボット。
【請求項１０】
前記第１アーム及び前記第２アームのうちの少なくとも一方は、前記第１アームのリンク部の垂直面への射影と前記第２アームのリンク部の垂直面への射影とが重複している状態で、前記第１アームと前記第２アームとの干渉を回避可能な構造を有する、請求項１に記載のロボット。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロボット及びシステムに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、コストを増加させることなく効率的な搬送を行うことができる搬送システム、ロボット及びロボットの制御方法が記載されている。
［先行技術文献］
［特許文献］
［特許文献１］特許第６４９２２７１号公報
【発明の概要】
【０００３】
本発明の一実施態様によれば、ロボットが提供される。前記ロボットは、第１ベースを備えてよい。前記ロボットは、前記第１ベースに対して基端側が第１回転軸を中心に垂直面内で回転可能に連結されている第１アームと、前記第１アームの先端側に対して基端側が第２回転軸を中心に垂直面内で回転可能に連結されている第２アームとを有する第１可動部を備えてよい。前記ロボットは、前記第２アームの先端側に対して基端側が第３回転軸を中心に垂直面内で回転可能に連結されている第２ベースと、前記第２ベースの先端側に対して基端側が第４回転軸を中心に回転可能に連結されている第３アームと、前記第３アームの先端側に対して基端側が第５回転軸を中心に回転可能に連結され、ウェハを保持するハンドとを有する第２可動部を備えてよい。前記ロボットは、前記ハンドによって保持されている前記ウェハを搬送するように、前記第１可動部及び前記第２可動部を制御する制御部を備えてよい。前記ウェハを搬送するときの前記第１可動部の軌跡の、垂直面に対して垂直な方向における幅が、搬送されている前記ウェハの軌跡の、垂直面に対して垂直な方向における幅に収まってよい。
【０００４】
前記ロボットにおいて、前記制御部は、前記ハンドが水平面と平行な状態で前記ハンドに前記ウェハを格納するカセットへのアクセスのための開口部へアクセスさせるように、前記第１可動部及び前記第２可動部を制御してよい。
【０００５】
前記いずれかのロボットにおいて、前記制御部は、前記ウェハを搬送するときの前記第２可動部の軌跡の、垂直面に対して垂直な方向における幅が、搬送されている前記ウェハの前記軌跡の、垂直面に対して垂直な方向における前記幅に収まるように、前記第２可動部を制御してよい。
【０００６】
前記いずれかのロボットにおいて、前記ウェハを搬送するときの前記第４回転軸の軌跡は、前記ウェハを搬送するときの前記第２可動部の軌跡の、垂直面に対して垂直な方向における幅の中心線からずれていてよい。
【０００７】
前記いずれかのロボットにおいて、前記第１アーム及び前記第２アームは、前記第１アーム及び前記第２アームが回転する場合に、前記第１アームの軌跡と前記第２アームの軌跡とが重複する構造を有してよい。
【０００８】
前記いずれかのロボットにおいて、前記第１アームの前記軌跡の、垂直面に対して垂直な方向における幅は、前記第２アームの前記軌跡の、垂直面に対して垂直な方向における幅に収まってよい。
【０００９】
前記いずれかのロボットにおいて、前記第２アームの前記軌跡の、垂直面に対して垂直な方向における幅は、前記第１アームの前記軌跡の、垂直面に対して垂直な方向における幅に収まってよい。
【００１０】
前記いずれかのロボットにおいて、前記制御部は、前記第２回転軸の高度が前記第１回転軸の高度より低い状態で、前記第３回転軸及び前記第２可動部が、前記第１ベースの配置面に対して垂直であり且つ前記第１回転軸を含む平面を通過することなく、前記第２回転軸が前記平面を通過するように、前記第１可動部及び前記第２可動部を制御してよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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