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公開番号2025037422
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-18
出願番号2023144351
出願日2023-09-06
発明の名称半導体装置の外観検査装置と外観検査方法
出願人サンケン電気株式会社
代理人
主分類G01N 21/952 20060101AFI20250311BHJP(測定;試験)
要約【課題】査対象物が固定された円柱状であっても、検査対象物を回転させることなく、固定されたまま円柱状の全周部を検査することができる半導体装置の外観検査装置と外観検査方法を提供する。

【解決手段】本発明の半導体装置の外観検査装置は、半導体装置である検査対象物の表面を検査する外観検査装置において、キャリアテープに固定された円柱状の検査対象物と、検査対象物を搬送する搬送部と、検査対象物の表面を照射する照明部と、照明部の照射光を反射させ検査対象物を照らす反射部と、連続的に撮像する複数台のカメラ部と、カメラ部からの撮像信号を処理する画像処理部とで構成されている。

【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
半導体装置である検査対象物の表面を検査する外観検査装置において、キャリアテープに固定された円柱状の前記検査対象物と、前記検査対象物を搬送する搬送部と、前記検査対象物の表面を照射する照明部と、前記照明部の照射光を反射させ前記検査対象物を照らす反射部と、連続的に撮像する複数台のカメラ部と、前記カメラ部からの撮像信号を処理する画像処理部とで構成されていることを特徴とする半導体装置の外観検査装置。
続きを表示（約 560 文字）【請求項２】
前記照明部は光量調整式リング状照明装置であり、前記検査対象物を挟んで発光面を向かい合わせるように配置し、照明の照射光方向が、前記検査対象物の表面に対して平行位置になっていることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の外観検査装置。
【請求項３】
前記反射部は白色板であり、前記照明部のリング状の外周に合わせ前記照明部を全周囲み、前記照明部の照射光の方向に平行に配置し、前記照明部からの照射光を前記検査対象物に向けて反射する円弧形状であり、前記反射部の横断面の円弧の中心点と前記検査対象物が一致していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の半導体装置の外観検査装置。
【請求項４】
前記カメラ部の撮影方向が前記検査対象物に対して垂直であり、複数台の前記カメラ部は前記反射板の外側に配置され、前記反射板に開けられた開口部から撮像することを特徴とする請求項１から請求項３に記載の半導体装置の外観検査装置。
【請求項５】
照明部からの照射光を反射部で反射させて検査対象物にあて、連続搬送される前記検査対象物を複数のカメラで同時に撮像し、画像処理装置にて良否判定をおこない、不良検出時に外部信号をだすことを特徴とする半導体装置の外観検査方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の外観検査に関し、特に円柱状の検査対象物の表面状態を検査する半導体装置の外観検査装置と外観検査方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
一般的に半導体装置の表面状態を外観検査する場合、画像認識装置を用いることが知られている。
【０００３】
特許文献１には、円柱状検査対象物の欠陥検査装置において、ライン状照明、反射板、カメラ、画像処理装置の構成が開示されている。これにより、円柱状検査対象物の外壁面欠陥を検査することができる。
【０００４】
また、特許文献２には、２本の回転するローラー上に円柱状検査対象物を配置し、検査対象物を回転させる表面検査装置が開示されている。これにより、円柱状検査対象物の全表面を検査することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００３－４６５１号公報
特開２００５－６２１０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特定の半導体装置では、パッケージが単体では無く固定され、その状態で外観検査をする場合がある。
【０００７】
しかしながら、従来技術は、検査対象物が円柱状の延伸方向へ画像処理する場合や検査対象物が回転できる場合にはよいが、円柱状の検査対象物が、延伸と垂直方向に搬送され、検査対象物が固定されている場合、円柱状の全周部を同時に撮像することが困難である。
【０００８】
従って、本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、検査対象物が固定された円柱状であっても、検査対象物を回転させることなく、固定されたまま円柱状の全周部を検査することができる半導体装置の外観検査装置と外観検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の課題を解決するために、本発明は、以下に掲げる構成とした。
本発明の半導体装置の外観検査装置は、半導体装置である検査対象物の表面を検査する外観検査装置において、キャリアテープに固定された円柱状の前記検査対象物と、前記検査対象物を搬送する搬送部と、前記検査対象物の表面を照明する照明部と、前記照明部の照射光を反射させ前記検査対象物を照らす反射部と、連続的に撮像する複数台のカメラ部と、前記カメラ部からの撮像信号を処理する画像処理部とで構成されている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、カメラを複数台備え、円柱状の検査対象物の表面を照明と反射板を用いて円柱状に対して光量を調整することができるので、検査対象物が固定された円柱状であっても、検査対象物を回転させることなく、固定されたまま円柱状の全周部を検査することができる半導体装置の外観検査装置と外観検査方法を提供することを目的とする。
特にテーピングされたアキシャル型半導体装置の全周部方向の外観検査が可能な外観検査装置を提供することができ、半導体装置のリード部の樹脂フラッシュ付着不良流出が防止できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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