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公開番号2025036323
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-14
出願番号2024147112
出願日2024-08-29
発明の名称接触クリーニングシステム
出願人イリノイトゥールワークスインコーポレイティド
代理人個人,個人,個人,個人
主分類B08B 1/34 20240101AFI20250306BHJP(清掃)
要約【課題】接触クリーニングシステムのためのコンベヤ及び接触クリーニングシステムの提供。
【解決手段】本発明の実施形態は、接触クリーニングシステムのコンベヤを提供し、コンベヤは、搬入コンベヤと、搬入コンベヤから距離(A)だけ離隔した搬出コンベヤとを含み、搬入コンベヤ及び/又は搬出コンベヤは、距離(A)が第1の距離(A_cleaning)である後退位置と、距離(A)が第1の距離(A_cleaning)未満である伸長位置との間で、搬入コンベヤ又は搬出コンベヤの他方に対して移動可能である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
接触クリーニングシステムのためのコンベヤであって、
搬入コンベヤと、
前記搬入コンベヤから距離（Ａ）だけ離隔した搬出コンベヤと、
を備え、
前記搬入コンベヤ及び／又は前記搬出コンベヤは、前記距離（Ａ）が第１の距離（Ａ
ｃｌｅａｎｉｎｇ
）である後退位置と、前記距離（Ａ）が前記第１の距離（Ａ
ｃｌｅａｎｉｎｇ
）未満である伸長位置との間で、前記搬入コンベヤ又は前記搬出コンベヤの他方に対して移動可能である、
コンベヤ。
続きを表示（約 1,600 文字）【請求項２】
前記搬入コンベヤ及び前記搬出コンベヤは、前記搬入コンベヤ及び前記搬出コンベヤが前記後退位置にあるとき、それらの間に少なくとも１つの接触クリーニングローラーを受けるように構成される、請求項１に記載のコンベヤ。
【請求項３】
前記少なくとも１つの接触クリーニングローラーを介して前記搬入コンベヤから前記搬出コンベヤへ搬送される基板が同じ高さのままとなるように、前記搬入コンベヤと、前記搬出コンベヤと、前記少なくとも１つの接触クリーニングローラーの表面とが、前記後退位置において同一平面上にある、請求項２に記載のコンベヤ。
【請求項４】
前記距離（Ａ）は、前記搬入コンベヤ及び前記搬出コンベヤが前記伸長位置にあるときに前記コンベヤ上に支持されるべき基板の長さ未満である、請求項１～３のいずれか一項に記載のコンベヤ。
【請求項５】
前記距離（Ａ）は、前記伸長位置において最小距離（Ａ
ｍｉｎ
）である、請求項１～４のいずれか一項に記載のコンベヤ。
【請求項６】
前記距離（Ａ）は、前記後退位置において最大距離（Ａ
ｍａｘ
）である、請求項１～５のいずれか一項に記載のコンベヤ。
【請求項７】
前記搬入コンベヤは、前記後退位置及び前記伸長位置のそれぞれにおいて前記搬入コンベヤを張った構成に維持するように構成された搬入コンベヤ張力付与機構を備える、請求項１～６のいずれか一項に記載のコンベヤ。
【請求項８】
前記搬出コンベヤは、前記後退位置及び前記伸長位置のそれぞれにおいて前記搬出コンベヤを張った構成に維持するように構成された搬出コンベヤ張力付与機構を備える、請求項１～７のいずれか一項に記載のコンベヤ。
【請求項９】
前記後退位置と前記伸長位置との間で前記搬入コンベヤ及び／又は前記搬出コンベヤを移動させるように構成された、機械式調整手段、空圧式調整手段、又は電気機械式調整手段のうちの少なくとも１つを更に備える、請求項１～８のいずれか一項に記載のコンベヤ。
【請求項１０】
接触クリーニングシステムであって、
請求項１～９のいずれか一項に記載のコンベヤであって、コンベヤ表面上に基板を支持するように構成される、コンベヤと、
以下のもの、すなわち、
前記コンベヤ表面の上方に位置決めされた１つ以上の上側接触クリーニングローラーであって、前記１つ以上の上側接触クリーニングローラーの表面が前記搬入コンベヤから前記搬出コンベヤへ搬送される基板の上面に接触するように配置されるクリーニング位置と、前記１つ以上の上側接触クリーニングローラーの前記表面が前記搬入コンベヤ及び前記搬出コンベヤから離れるように上向きに退避させられる退避位置との間で移動可能な、１つ以上の上側接触クリーニングローラー、及び
前記コンベヤ表面の下方に位置決めされた１つ以上の下側接触クリーニングローラーであって、前記１つ以上の下側接触クリーニングローラーの表面が前記搬入コンベヤ及び前記搬出コンベヤと同一平面上にあるクリーニング位置と、前記１つ以上の下側接触クリーニングローラーの前記表面が前記搬入コンベヤ及び前記搬出コンベヤの平面の下方に退避させられる退避位置との間で移動可能な、１つ以上の下側接触クリーニングローラー、
のうちの少なくとも１つと、
を備え、
前記搬入コンベヤは、前記基板を前記１つ以上の上側接触クリーニングローラー及び／又は前記１つ以上の下側接触クリーニングローラーへ向けて搬送するように配置される、
接触クリーニングシステム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
技術分野
本開示は、接触クリーニングシステムのコンベヤに関し、特に、限定はしないが、後退位置と伸長位置との間で移動可能な搬入コンベヤと搬出コンベヤとを有する接触クリーニングシステムのコンベヤに関する。本開示はまた、コンベヤを備える接触クリーニングシステムに関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
背景
接触クリーニングシステムは、典型的には、クリーニングされる基板を接触クリーニングローラーに搬送するコンベヤを備える。接触クリーニングローラーは、エラストマー材料を含む接触面を有する。接触クリーニングローラーは回転し、接触面が基板の表面と係合すると、接触面はデブリ又は他の汚染物質を収集し、デブリ又は他の汚染物質を基板表面から除去する。
【０００３】
従来技術の接触クリーニングシステムの例では、１組の接触クリーニングローラーの上側セットがコンベヤ表面の上方に位置決めされる。接触クリーニングローラーは、基板が接触クリーニングローラーの下方を通過するときに基板の上面をクリーニングするのみである。基板の上面及び下面の両方をクリーニングする必要がある場合には、基板を反転させて、再びコンベヤに沿って搬送しなければならない。基板を反転させてそれをコンベヤ上に再配置するには、基板を手作業で扱う必要があり、その結果、更なるデブリが基板表面上に導入される可能性がある。
【０００４】
従来技術の接触クリーニングシステムの他の例では、基板の上面及び下面が同時にクリーニングされる。これらの接触クリーニングシステムはまた、コンベヤの平面内に位置決めされた接触クリーニングローラーの下側セットを備える。接触クリーニングローラーの下側セットは、基板が接触クリーニングローラーの上側セットと下側セットとの間を通過するときに接触クリーニングローラーの上側セット及び下側セットの両方が基板の上面及び下面を同時にクリーニングするように、接触クリーニングローラーの上側セットの直下に位置決めされる。搬入コンベヤは、基板を接触クリーニングローラーへ向けて搬送し、基板は、基板が通過するときに基板を支持する下側接触クリーニングローラー上に移送される。接触クリーニングローラーは、回転することで、基板表面をクリーニングし、基板を、接触クリーニングローラーを通して、基板を接触クリーニングローラーから離れるように搬送する搬出コンベヤ上に移送する。
【０００５】
これらの接触クリーニングシステムは、接触クリーニングローラーの上側セット及び下側セットの両方が基板に接触するクリーニングモードで動作することができる。接触クリーニングシステムはまた、下側接触クリーニングローラーがコンベヤの平面から離れるように移動される回避モードで動作することもできる。これは、基板の上面のみがクリーニングされる場合、又は基板がクリーニングを完全に回避する場合に望ましいものであり得る。回避モードでは、基板は、搬入コンベヤから搬出コンベヤへ通過するときには支持されない。
【発明の概要】
【０００６】
本発明の実施の形態の目的は、従来技術の問題のうちの１つ以上（１つ又は複数）を少なくとも軽減することにある。
【０００７】
発明の概要
本発明の態様及び実施の形態は、添付の特許請求の範囲に記載の接触クリーニングシステムのコンベヤ、及び接触クリーニングシステムを提供する。
【０００８】
本発明の一態様によれば、接触クリーニングシステムのコンベヤが提供され、コンベヤは、搬入コンベヤと、搬入コンベヤから距離（Ａ）だけ離隔した搬出コンベヤとを含み、搬入コンベヤ及び／又は搬出コンベヤは、距離（Ａ）が第１の距離（Ａ
ｃｌｅａｎｉｎｇ
）である後退位置と、距離（Ａ）が第１の距離（Ａ
ｃｌｅａｎｉｎｇ
）未満である伸長位置との間で、搬入コンベヤ又は搬出コンベヤの他方に対して移動可能である。
【０００９】
有利には、搬入コンベヤから搬出コンベヤへ搬送される基板は、搬入コンベヤ及び／又は搬出コンベヤが伸長位置にあるとき、コンベヤによって支持されたままである。
【００１０】
或る特定の実施の形態では、搬入コンベヤ及び搬出コンベヤは、搬入コンベヤ及び搬出コンベヤが後退位置にあるとき、それらの間に少なくとも１つの接触クリーニングローラーを受けるように構成することができる。搬入コンベヤ及び搬出コンベヤは、基板が搬入コンベヤから搬出コンベヤへ搬送されるときに少なくとも１つの接触クリーニングローラーによって基板を支持することができるように、搬入コンベヤ及び搬出コンベヤが後退位置にあるときにそれらの間に少なくとも１つの接触クリーニングローラーを受けるように構成することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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