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公開番号2025036226
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-14
出願番号2024140928
出願日2024-08-22
発明の名称ファブリペロー干渉フィルタ
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G02B 26/00 20060101AFI20250306BHJP(光学)
要約【課題】第2反射膜に対して第1反射膜を適切に移動させることができるファブリペロー干渉フィルタを提供する。
【解決手段】ファブリペロー干渉フィルタ1は、第1反射膜50と、第2反射膜と、第1電極19を含む第1層10と、第2電極と、第2層と、を備える。第1層10は、枠状の固定部10bと、第1反射膜50が設けられた可動部10aと、固定部10bと可動部10aとを接続している複数の弾性変形部18と、を含む。固定部10bにおける内側の側面Sbは、Z軸方向から見た場合にそれぞれが直線状に延在している複数の第1領域R1と、複数の第1領域R1のうち互いに隣り合っている一対の第1領域R1をそれぞれが接続している複数の第2領域R2と、を含む。各第1領域R1には、各弾性変形部18が接続されている。各第2領域R2と可動部10aとの間の距離は、各第1領域R1と可動部10aとの間の距離よりも大きい。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
第１反射膜と、
光透過領域において、空間を介して前記第１反射膜と向かい合っている第２反射膜と、
第１電極を含み、前記第１反射膜及び前記第２反射膜が互いに向かい合っている方向に移動可能となるように前記第１反射膜を支持している可動層と、
前記方向において空間を介して前記第１電極と向かい合っている第２電極と、
前記可動層上に積層されており、前記第２反射膜及び前記第２電極の少なくとも一方を支持している第１固定層と、を備え、
前記可動層は、
前記第１固定層と接合された枠状の固定部と、
前記固定部の内側に配置されており、前記第１反射膜が設けられた可動部と、
前記固定部と前記可動部とを接続している複数の弾性変形部と、を含み、
前記固定部における内側の側面は、
前記方向から見た場合にそれぞれが直線状に延在しており、前記複数の弾性変形部が接続された複数の第１領域と、
前記複数の第１領域のうち互いに隣り合っている一対の第１領域をそれぞれが接続している複数の第２領域と、を含み、
前記複数の第２領域のそれぞれと前記可動部との間の距離は、前記複数の第１領域のそれぞれと前記可動部との間の距離よりも大きい、ファブリペロー干渉フィルタ。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記複数の第２領域のそれぞれは、前記方向から見た場合に、外側に凸の円弧状に延在している、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項３】
前記可動部の側面のうち少なくとも前記複数の第２領域と向かい合っている複数の第３領域のそれぞれは、前記方向から見た場合に、外側に凸の円弧状に延在している、請求項２に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項４】
前記方向から見た場合に、前記複数の第１領域のそれぞれの長さは、前記複数の第２領域のそれぞれの長さよりも大きい、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項５】
前記方向から見た場合に、前記複数の第１領域のそれぞれの長さは、前記複数の弾性変形部のそれぞれの長さよりも大きい、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項６】
前記方向から見た場合に、前記複数の第２領域のそれぞれの長さは、前記複数の弾性変形部のそれぞれの幅よりも大きい、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項７】
前記方向から見た場合に、前記複数の第２領域のそれぞれの長さは、前記複数の弾性変形部のそれぞれの長さよりも大きい、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項８】
前記方向から見た場合に、前記複数の第２領域のそれぞれの長さは、前記複数の第２領域のそれぞれと前記可動部との間の前記距離よりも大きい、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項９】
前記第１固定層とは反対側において前記可動層上に積層された第２固定層を更に備え、
前記固定部は、前記第２固定層と接合されている、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項１０】
前記複数の第１領域のうち互いに隣り合っている前記一対の第１領域、及び前記複数の第２領域のうち前記一対の第１領域を接続している一つの第２領域においては、前記方向から見た場合に、前記一対の第１領域のそれぞれの延在方向における交点と前記一つの第２領域との距離は、前記複数の第２領域のそれぞれと前記可動部との間の前記距離よりも大きい、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ファブリペロー干渉フィルタに関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
互いに向かい合っている第１反射膜及び第２反射膜と、移動可能となるように第１反射膜を支持している可動層と、第２反射膜を支持している固定層と、を備えるファブリペロー干渉フィルタであって、可動層が、固定層と接合された枠状の固定部と、固定部の内側に配置されており、第１反射膜が設けられた可動部と、固定部と可動部とを接続している複数の弾性変形部と、を含み、固定部の表面のうち円柱面状に形成された内側の側面に各弾性変形部が接続されたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１３－３３２５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したようなファブリペロー干渉フィルタでは、固定部の表面のうち円柱面状に形成された内側の側面に各弾性変形部が接続されているため、各弾性変形部における側面側の端部に応力が集中しやすくなり、また、ファブリペロー干渉フィルタの製造時に固定層に対する固定部の接合位置がずれると、各弾性変形部の特性に影響が及びやすくなる。そのため、可動層において第１反射膜を適切に移動させることができないおそれがある。
【０００５】
本発明は、第２反射膜に対して第１反射膜を適切に移動させることができるファブリペロー干渉フィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のファブリペロー干渉フィルタは、［１］「第１反射膜と、光透過領域において、空間を介して前記第１反射膜と向かい合っている第２反射膜と、第１電極を含み、前記第１反射膜及び前記第２反射膜が互いに向かい合っている方向に移動可能となるように前記第１反射膜を支持している可動層と、前記方向において空間を介して前記第１電極と向かい合っている第２電極と、前記可動層上に積層されており、前記第２反射膜及び前記第２電極の少なくとも一方を支持している第１固定層と、を備え、前記可動層は、前記第１固定層と接合された枠状の固定部と、前記固定部の内側に配置されており、前記第１反射膜が設けられた可動部と、前記固定部と前記可動部とを接続している複数の弾性変形部と、を含み、前記固定部における内側の側面は、前記方向から見た場合にそれぞれが直線状に延在しており、前記複数の弾性変形部が接続された複数の第１領域と、前記複数の第１領域のうち互いに隣り合っている一対の第１領域をそれぞれが接続している複数の第２領域と、を含み、前記複数の第２領域のそれぞれと前記可動部との間の距離は、前記複数の第１領域のそれぞれと前記可動部との間の距離よりも大きい、ファブリペロー干渉フィルタ」である。
【０００７】
上記ファブリペロー干渉フィルタでは、固定部における内側の側面のうち直線状に延在している各第１領域に各弾性変形部が接続されている。これにより、例えば、固定部における内側の側面のうち円弧状に延在している各領域に各弾性変形部が接続されている場合に比べ、各弾性変形部における側面側の端部に応力が集中するのを抑制することができる。また、ファブリペロー干渉フィルタの製造時に第１固定層に対する固定部の接合位置がずれたとしても、各弾性変形部の特性に影響が及ぶのを抑制することができる。更に、上記ファブリペロー干渉フィルタでは、固定部における内側の側面において、互いに隣り合っている一対の第１領域を各第２領域が接続しており、各第２領域と可動部との間の距離が各第１領域と可動部との間の距離よりも大きい。これにより、第１固定層と固定部との接合面積を十分に確保して可動層を安定的に支持しつつ、各第２領域と可動部との間の隙間を十分に確保して可動部をスムーズに移動させることができる。以上により、上記ファブリペロー干渉フィルタによれば、第２反射膜に対して第１反射膜を適切に移動させることができる。
【０００８】
本発明のファブリペロー干渉フィルタは、［２］「前記複数の第２領域のそれぞれは、前記方向から見た場合に、外側に凸の円弧状に延在している、上記［１］に記載のファブリペロー干渉フィルタ」であってもよい。当該ファブリペロー干渉フィルタによれば、各第２領域と可動部との間の隙間をより十分に確保して可動部をよりスムーズに移動させることができる。
【０００９】
本発明のファブリペロー干渉フィルタは、［３］「前記可動部の側面のうち少なくとも前記複数の第２領域と向かい合っている複数の第３領域のそれぞれは、前記方向から見た場合に、外側に凸の円弧状に延在している、上記［２］に記載のファブリペロー干渉フィルタ」であってもよい。当該ファブリペロー干渉フィルタによれば、各第２領域と可動部との間の隙間が各第２領域の全体において均一化されるため、第１反射膜を安定的に移動させることができる。
【００１０】
本発明のファブリペロー干渉フィルタは、［４］「前記方向から見た場合に、前記複数の第１領域のそれぞれの長さは、前記複数の第２領域のそれぞれの長さよりも大きい、上記［１］～［３］のいずれか一つに記載のファブリペロー干渉フィルタ」であってもよい。当該ファブリペロー干渉フィルタによれば、直線状に延在している各第１領域の長さが十分に確保されるため、ファブリペロー干渉フィルタの製造時に第１固定層に対する固定部の接合位置がずれたとしても、各弾性変形部の特性に影響が及ぶのを確実に抑制することができる。また、各第２領域と可動部との間の隙間がより十分に確保されるため、可動部をよりスムーズに移動させることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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