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公開番号2025035305
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-13
出願番号2023142264
出願日2023-09-01
発明の名称ファブリペロー干渉フィルタ
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G02B 26/00 20060101AFI20250306BHJP(光学)
要約【課題】信頼性を確保することができるファブリペロー干渉フィルタを提供する。
【解決手段】ファブリペロー干渉フィルタ1は、第1反射膜と、第2反射膜と、第1電極19を含み、第1反射膜を支持している第1層10と、第1層10上に積層された第2層20と、を備える。第1層10は、半導体層12と、金属パッド13と、を含む。半導体層12の電極部16及び弾性変形部18は、第1領域R1において第2層20から離間している。半導体層12の支持部17は、第2領域R2において第2層20と接合されており、第3領域R3において第2層20から離間している。金属パッド13は、第3領域R3において支持部17に形成されている。Y軸方向における金属パッド13の幅W1は、X軸方向における第1領域R1と第3領域R3との間の距離Dよりも大きい。X軸方向における第3領域R3の幅W2は、Y軸方向における第3領域R3の幅W3よりも小さい。
【選択図】図9
特許請求の範囲【請求項１】
第１反射膜と、
光透過領域において、空間を介して前記第１反射膜と向かい合っている第２反射膜と、
第１電極を含み、前記第１反射膜を支持している第１層と、
前記第１反射膜及び前記第２反射膜が互いに向かい合っている第１方向における一方の側において前記第１層上に積層された第２層と、を備え、
前記第２層は、
基板と、
前記基板に設けられており、前記第１方向において空間を介して前記第１電極と向かい合っている第２電極と、を含み、
前記第１層は、前記光透過領域と重なる部分が前記第１方向に移動可能な可動部として構成された可動層であり、
前記第１層は、
半導体層と、
前記半導体層を介して前記第１電極と電気的に接続された金属パッドと、を含み、
前記半導体層は、
前記可動部に設けられており、前記第１電極が設けられた又は前記第１電極である電極部と、
前記第１方向から見た場合に前記可動部を包囲しており、前記第２層と接合された支持部と、
前記電極部と前記支持部とを接続している弾性変形部と、を含み、
前記第１層及び前記第２層は、第１領域、第２領域及び第３領域を有し、
前記第１領域は、前記第１方向から見た場合に前記可動部を含む領域であって、前記電極部及び前記弾性変形部が前記第２層から離間している領域であり、
前記第２領域は、前記第１方向から見た場合に前記第１領域を包囲している領域であって、前記支持部が前記第２層と接合されている領域であり、
前記第３領域は、前記第１方向から見た場合に前記第２領域の外側であって前記第１方向と交差する第２方向における一方の側に位置している領域であって、前記支持部が空間に露出している領域であり、
前記金属パッドは、前記第３領域において前記支持部に形成されており、
前記第１方向及び前記第２方向の両方向と交差する第３方向における前記金属パッドの幅は、前記第２方向における前記第１領域と前記第３領域との間の距離よりも大きく、
前記第２方向における前記第３領域の幅は、前記第３方向における前記第３領域の幅よりも小さい、ファブリペロー干渉フィルタ。
続きを表示（約 870 文字）【請求項２】
前記第１方向における他方の側において前記第１層上に積層されており、前記第２反射膜を支持している第３層を更に備える、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項３】
前記基板には、前記第１方向から見た場合に前記第３領域と重なるように前記基板の外縁が切り欠かれた切欠き部が形成されている、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項４】
前記切欠き部は、前記第２方向において外側に向いている第１側面、及び前記第３方向において互いに向かい合っている一対の第２側面を有し、
前記第１側面と前記一対の第２側面のそれぞれとの間の隅部には、ラウンド状の面取り面が形成されている、請求項３に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項５】
前記第３方向における前記金属パッドの前記幅は、前記第３方向における前記第１反射膜及び前記第２反射膜の少なくとも一つの幅よりも大きい、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項６】
前記第３方向において、前記金属パッドの両端は、前記第１反射膜及び前記第２反射膜の少なくとも一つに対して外側に位置している、請求項５に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項７】
前記第１層及び前記第２層に対して前記第１方向における前記一方の側又は他方の側に配置されており、前記第１方向から見た場合に前記光透過領域と重なる開口を有する遮光膜を更に備え、
前記第３方向における前記金属パッドの前記幅は、前記第３方向における前記開口の幅よりも大きい、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項８】
前記第３方向において、前記金属パッドの両端は、前記開口に対して外側に位置している、請求項７に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項９】
前記基板の厚さは、前記半導体層の厚さよりも大きい、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ファブリペロー干渉フィルタに関する。
続きを表示（約 2,700 文字）【背景技術】
【０００２】
第１基板と、第１基板上に積層された第２基板と、第１基板における第２基板側の第１表面に形成された第１反射膜と、第１反射膜と向かい合うように第２基板における第１基板側の第２表面に形成された第２反射膜と、第１基板の第１表面に形成された第１電極と、第１電極と向かい合うように第２基板の第２表面に形成された第２電極と、第１基板の第１表面のうち外部に露出した領域に形成された第１パッドと、第２基板の第２表面のうち外部に露出した領域に形成された第２パッドと、第１基板の第１表面に形成されており、第１電極と第１パッドとを電気的に接続している第１配線層と、第２基板の第２表面に形成されており、第２電極と第２パッドとを電気的に接続している第２配線層と、を備えるファブリペロー干渉フィルタであって、第１基板において第１反射膜を支持している部分が、第１反射膜と第２反射膜との間の距離を変化させるための可動部として構成されたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１３－７２９８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したようなファブリペロー干渉フィルタでは、第１基板と第２基板との間を第１配線層及び第２配線層が通ることになるため、第１基板と第２基板との接合が不安定となり、ファブリペロー干渉フィルタの信頼性が低下するおそれがある。
【０００５】
本発明は、信頼性を確保することができるファブリペロー干渉フィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のファブリペロー干渉フィルタは、［１］「第１反射膜と、光透過領域において、空間を介して前記第１反射膜と向かい合っている第２反射膜と、第１電極を含み、前記第１反射膜を支持している第１層と、前記第１反射膜及び前記第２反射膜が互いに向かい合っている第１方向における一方の側において前記第１層上に積層された第２層と、を備え、前記第２層は、基板と、前記基板に設けられており、前記第１方向において空間を介して前記第１電極と向かい合っている第２電極と、を含み、前記光透過領域と重なる部分が前記第１方向に移動可能な可動部として構成された可動層であり、前記第１層は、半導体層と、前記半導体層を介して前記第１電極と電気的に接続された金属パッドと、を含み、前記半導体層は、前記可動部に設けられており、前記第１電極が設けられた又は前記第１電極である電極部と、前記第１方向から見た場合に前記可動部を包囲しており、前記第２層と接合された支持部と、前記電極部と前記支持部とを接続している弾性変形部と、を含み、前記第１層及び前記第２層は、第１領域、第２領域及び第３領域を有し、前記第１領域は、前記第１方向から見た場合に前記可動部を含む領域であって、前記電極部及び前記弾性変形部が前記第２層から離間している領域であり、前記第２領域は、前記第１方向から見た場合に前記第１領域を包囲している領域であって、前記支持部が前記第２層と接合されている領域であり、前記第３領域は、前記第１方向から見た場合に前記第２領域の外側であって前記第１方向と交差する第２方向における一方の側に位置している領域であって、前記支持部が空間に露出している領域であり、前記金属パッドは、前記第３領域において前記支持部に形成されており、前記第１方向及び前記第２方向の両方向と交差する第３方向における前記金属パッドの幅は、前記第２方向における前記第１領域と前記第３領域との間の距離よりも大きく、前記第２方向における前記第３領域の幅は、前記第３方向における前記第３領域の幅よりも小さい、ファブリペロー干渉フィルタ」である。
【０００７】
上記［１］に記載のファブリペロー干渉フィルタでは、第１電極と金属パッドとが第１層の半導体層を介して電気的に接続されている。これにより、第１電極と金属パッドとを電気的に接続するための配線層を第１層と第２層との間に形成する必要がなくなるため、第１層と第２層との接合の安定性を向上させることができる。また、第３方向における金属パッドの幅が、第２方向における第１領域と第３領域との間の距離よりも大きく、第２方向における第３領域の幅が、第３方向における第３領域の幅よりも小さい。これにより、金属パッドと半導体層の支持部との接触面積を大きくすることができるため、金属パッドと半導体層の支持部との間においてオーミック接触が形成される確率を高めることができる。更に、金属パッドと第１電極との間の距離を小さくすることができるため、第１電極内において電位差が生じるのを抑制することができ、その結果、第１反射膜と第２反射膜との間の距離が場所によって変わるのを抑制することができる。以上により、上記［１］に記載のファブリペロー干渉フィルタによれば、信頼性を確保することができる。
【０００８】
本発明のファブリペロー干渉フィルタは、［２］「前記第１方向における他方の側において前記第１層上に積層されており、前記第２反射膜を支持している第３層を更に備える、上記［１］に記載のファブリペロー干渉フィルタ」であってもよい。当該［２］に記載のファブリペロー干渉フィルタによれば、第１層の可動部を第２層及び第３層によって両側から保護することができる。
【０００９】
本発明のファブリペロー干渉フィルタは、［３］「前記基板には、前記第１方向から見た場合に前記第３領域と重なるように前記基板の外縁が切り欠かれた切欠き部が形成されている、上記［１］又は［２］に記載のファブリペロー干渉フィルタ」であってもよい。当該［３］に記載のファブリペロー干渉フィルタによれば、金属パッドにワイヤ等の外部配線を容易に且つ確実に接続することができる。
【００１０】
本発明のファブリペロー干渉フィルタは、［４］「前記切欠き部は、前記第２方向において外側に向いている第１側面、及び前記第３方向において互いに向かい合っている一対の第２側面を有し、前記第１側面と前記一対の第２側面のそれぞれとの間の隅部には、ラウンド状の面取り面が形成されている、上記［３］に記載のファブリペロー干渉フィルタ」であってもよい。当該［４］に記載のファブリペロー干渉フィルタによれば、切欠き部の隅部における応力集中に起因して第２層の基板が破損するのを抑制することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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