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公開番号2025022412
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-14
出願番号2023126954
出願日2023-08-03
発明の名称酸化ジルコニウム粉末、ジルコニア系複合酸化物誘電体及びジルコニア系複合酸化物誘電体粉末
出願人新日本電工株式会社
代理人IBC一番町弁理士法人
主分類C01G 25/02 20060101AFI20250206BHJP(無機化学)
要約【課題】比較的低温でジルコニア系複合酸化物誘電体を合成可能な酸化ジルコニウム粉末を提供する。
【解決手段】二酸化炭素の脱離最高温度が520℃以上である、酸化ジルコニウム粉末、及び当該酸化ジルコニウム粉末を原料とするジルコニア系複合酸化物誘電体。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
二酸化炭素の脱離最高温度が５２０℃以上である、酸化ジルコニウム粉末。
続きを表示（約 470 文字）【請求項２】
２５℃から１０００℃までの二酸化炭素の脱離量が０．４質量％以上である、請求項１に記載の酸化ジルコニウム粉末。
【請求項３】
二酸化炭素の昇温脱離スペクトルにおける二酸化炭素の脱離速度の最大ピークが１００℃以下にある、請求項１に記載の酸化ジルコニウム粉末。
【請求項４】
二酸化炭素の昇温脱離スペクトルにおける二酸化炭素の脱離速度の最大ピークが５．０質量ｐｐｍ／ｓｅｃ以上である、請求項１に記載の酸化ジルコニウム粉末。
【請求項５】
ＢＥＴ比表面積が８０ｍ
２
／ｇ以上である、請求項１記載の酸化ジルコニウム粉末。
【請求項６】
請求項１～５のいずれか１項に記載の酸化ジルコニウム粉末を原料とする、ジルコニア系複合酸化物誘電体。
【請求項７】
カルシウムを含む、請求項６に記載のジルコニア系複合酸化物誘電体。
【請求項８】
請求項６に記載のジルコニア系複合酸化物誘電体を含む、ジルコニア系複合酸化物誘電体粉末。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、酸化ジルコニウム粉末、ジルコニア系複合酸化物誘電体及びジルコニア系複合酸化物誘電体粉末に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
積層セラミックコンデンサ（Ｍｕｌｔｉ－ＬａｙｅｒＣｅｒａｍｉｃＣａｐａｃｉｔｏｒ：ＭＬＣＣ）は、セラミックからなる誘電体層と内部電極層とが多数積層された構造を有している。近年、電子機器が小型・軽量化するにつれて、ＭＬＣＣの小型化、薄層化も進んでおり（例えば、特許文献１）、それに伴い、誘電体層の原料となる誘電体の微粒化に対するニーズも高まっている。
【０００３】
ＭＬＣＣの製造に用いられる誘電体として、結晶構造としてペロブスカイト構造を有する、ペロブスカイト型誘電体が挙げられる（例えば、特許文献２）。このペロブスカイト型誘電体は、化学式でＡＢＯ
３
と表わされ、金属ＡはＣａ、Ｓｒ、Ｂａ等の２価の金属イオン、金属ＢはＴｉ、Ｚｒ等の４価の金属イオンからなる。このような誘電体を使用したＭＬＣＣは、温度補償用ＭＬＣＣとも呼ばれ、温度の変化や印加する電圧の変化に伴う静電容量の変化が小さいことから、同調回路や発振回路、高周波フィルター回路等の静電容量の精度を必要とする場合に用いられる。
【０００４】
上述のようなペロブスカイト型誘電体として、ジルコニア系複合酸化物誘電体が挙げられ、上述した化学式では、ＡＺｒＯ
３
で表される。当該ジルコニア系複合酸化物誘電体は、例えば、酸化ジルコニウム粉末と、金属Ａの化合物（例えば、炭酸カルシウム）などの粉末と、を湿式ボールミル等で混合し、スラリーを乾燥し、焼成することにより得ることができる。ここで、ジルコニア系複合酸化物誘電体の原料となる酸化ジルコニウムの製造方法としては、例えば、特許文献３や特許文献４に挙げる方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１７－２８２５４号公報
特開２０１５－１９５３５２号公報
特開２０１９－２０２９０１号公報
特開２００７－１５８９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ジルコニア系複合酸化物誘電体の製造における焼成では、ジルコニウムと、金属Ａとが相互拡散し、均一に固溶されることで誘電体の合成が進むが、当該焼成は非常に高温で実施する必要がある。このような高温で焼成する場合、生成する誘電体粒子が粒成長してしまうため、誘電体粒子の微粒化が図れないという問題があった。また、焼成する際の温度が非常に高温であることにより、焼成のコストが抑えられないという問題もあった。
【０００７】
したがって、本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、ジルコニア系複合酸化物誘電体を比較的低温で合成することができる酸化ジルコニウム粉末を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、上記の問題を解決すべく、鋭意研究を行った。その結果、二酸化炭素の脱離最高温度が５２０℃以上である酸化ジルコニウム粉末により、上記課題が解決されることを見出し、本発明の完成に至った。
【０００９】
すなわち、上記諸目的は、下記の構成を有する本発明によって達成でき、本発明は、下記態様及び形態を包含する。
【００１０】
本発明の一態様は、
１．二酸化炭素の脱離最高温度が５２０℃以上である、酸化ジルコニウム粉末である。
（【００１１】以降は省略されています）

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