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公開番号2025020443
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-12
出願番号2024201080,2023108706
出願日2024-11-18,2017-03-24
発明の名称貫通電極基板及びその製造方法
出願人大日本印刷株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 23/12 20060101AFI20250204BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ローコストで高い気密性を確保する貫通電極基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】貫通電極基板は、第1面13及び前記第1面の反対側に位置する第2面14を含むとともに貫通孔20が設けられた基板12と、前記貫通孔に位置する貫通電極22と、を備える。前記貫通孔の側壁21は、前記第1面から前記基板の内部側に向けて先細りとなるテーパ状の第1側壁部21Aと、前記第2面から前記基板の内部側に向けて先細りとなるテーパ状の第2側壁部21Bと、前記第1側壁部の先端部と前記第2側壁部の先端部とが互いに結合される境界部21Cと、を有する。前記貫通電極は、前記側壁のうちの少なくとも前記境界部を充填している。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１面及び前記第１面の反対側に位置する第２面を含むとともに貫通孔が設けられた基板と、
前記貫通孔に位置する貫通電極と、を備え、
前記貫通孔の側壁は、前記第１面から前記基板の内部側に向けて先細りとなるテーパ状の第１側壁部と、前記第２面から前記基板の内部側に向けて先細りとなるテーパ状の第２側壁部と、前記第１側壁部の先端部と前記第２側壁部の先端部とが互いに結合される境界部と、を有し、
前記貫通電極は、前記側壁のうちの少なくとも前記境界部を充填し、
前記貫通電極のうちの前記第１側壁部２１内に設けられる部分は、前記境界部から前記第１側壁部Ａの中途位置までを充填するめっき層のみからなる第１部分と、前記第１側壁部の中途位置から前記第１面までを覆うシード層及びめっき層からなる第２部分２２と、で構成され、
前記貫通電極の前記第１面側の端面に前記境界部側に向けてへこむ凹部が設けられ、
前記凹部に、有機材料を含む有機材料層が設けられている、貫通電極基板。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示の実施形態は、貫通電極基板及びその製造方法に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
貫通電極基板は、例えば特許文献１に開示されるように、第１面及び第２面を含む基板と、基板に設けられた複数の孔と、基板の第１面側から第２面側へ至るように孔の内部に設けられた電極部と、を備えている。このような貫通電極基板は、従来から様々な用途で利用されており、例えば携帯電話等の電子機器に実装されたりする。なお、以下の説明では、上記電極部のことを貫通電極と呼ぶ。
【０００３】
このような貫通電極基板の貫通電極は、一般に、孔の全体に充填される充填タイプと、孔の内周面に設けられ中空状をなす所謂コンフォーマルタイプと、に分類される。上記の特許文献１には、充填タイプの貫通電極が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１１－３９２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
充填タイプの貫通電極の全体を導電性材料で作製した場合には、気密性に優れた貫通電極基板を提供することができる。しかしながら、多くの材料が必要となり、製造時間も長くなる。
【０００６】
本開示の実施形態は、上記の実情に鑑みてなされたものであり、ローコストで高い気密性を確保することができる貫通電極基板及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の一実施形態は、第１面及び前記第１面の反対側に位置する第２面を含むとともに貫通孔が設けられた基板と、前記貫通孔に位置する貫通電極と、を備え、前記貫通孔の側壁は、前記第１面から前記基板の内部側に向けて先細りとなるテーパ状の第１側壁部と、前記第２面から前記基板の内部側に向けて先細りとなるテーパ状の第２側壁部と、前記第１側壁部の先端部と前記第２側壁部の先端部とが互いに結合される境界部と、を有し、前記貫通電極は、前記側壁のうちの少なくとも前記境界部を充填している、貫通電極基板、である。
【０００８】
本開示の一実施形態に係る貫通電極基板においては、前記貫通電極の前記第１面側の端面、及び、前記貫通電極の前記第２面側の端面のうちの少なくともいずれか一方に、前記境界部側に向けてへこむ凹部が設けられていてもよい。
【０００９】
また本開示の一実施形態に係る貫通電極基板は、前記凹部に設けられ、有機材料を含む有機材料層をさらに備えていてもよい。
【００１０】
また本開示の一実施形態に係る貫通電極基板において、前記基板の面内方向における前記境界部の最大寸法は、３０μｍ以上５０μｍ以下であってもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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