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公開番号2025015433
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2024091486
出願日2024-06-05
発明の名称切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置
出願人亜亜科技股分有限公司
代理人個人,個人,個人
主分類G01N 21/956 20060101AFI20250123BHJP(測定;試験)
要約【課題】切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置を提供する。
【解決手段】切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置はウェハーの検査に応用される。ウェハーは裁断または配列工程が終わったシリコンウェハーと、シリコンウェハーの底部に付着するブルーフィルムとを有する。切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置は浸潤液検出器、レンズ群、光学レンズ群、光源、可視光カメラおよび赤外線カメラを備える。浸潤液検出器はハウジングおよび透明キャップを有する。液体はブルーフィルムと透明キャップとの間に流動し、充満するように配置される。レンズ群は透明キャップの下方かつハウジング内に配置される。光学レンズ群はハウジング内かつレンズ群の下方に配置される。光源はハウジング内に配置され、可視光および赤外線を発する。シリコンウェハーの底部の画像は可視光カメラおよび赤外線カメラによって捕捉される。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ウェハーの検査に応用され、浸潤液検出器、レンズ群、光学レンズ群、光源、可視光カメラおよび赤外線カメラを備える切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置であって、
前記ウェハーは裁断または配列工程が終わったシリコンウェハーと、前記シリコンウェハーの底部に付着するブルーフィルムとを有し、
前記浸潤液検出器はハウジングおよび透明キャップを有し、前記ハウジングは上部に穿孔を有し、前記穿孔は前記透明キャップで遮蔽され、前記透明キャップは前記ブルーフィルムの下方、かつ前記ブルーフィルムとの間に所定の距離を置くように据えられ、
前記ブルーフィルムと前記透明キャップとの間には液体が流動し、充満するように配置され、
前記レンズ群は前記透明キャップの下方かつ前記ハウジング内に配置され、
前記光学レンズ群は前記ハウジング内かつ前記レンズ群の下方に配置され、
前記光源は前記ハウジング内に配置され、前記光学レンズ群、前記レンズ群および前記透明キャップを介して可視光および赤外線を外部へ放出し、
前記可視光カメラは前記ハウジング内に配置され、外部から前記ハウジングに入る可視光を前記光学レンズ群によって捉えたうえで画像を撮り、
前記赤外線カメラは前記ハウジング内に配置され、外部から前記ハウジングに入る赤外線を前記光学レンズ群によって捉えたうえで画像を撮ることを特徴とする切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
前記光学レンズ群はハーフミラーおよび分光ミラーを有し、前記ハーフミラーは前記光源からの光線の一部分を前記レンズ群へ反射させ、それ以外の部分を通過させ、
外界から入る光線は前記透明キャップおよび前記レンズ群を通って前記ハーフミラーに当たった後、一部分の光線が前記ハーフミラーを通過して前記分光ミラーに当たり、
前記分光ミラーは可視光または赤外線を通過させ、別の前記可視光または前記赤外線を反射させ、かつ前記可視光カメラに前記可視光を捕捉させ、前記赤外線カメラに前記赤外線を捕捉させることを特徴とする請求項１に記載の切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置。
【請求項３】
前記光学レンズ群はさらに反射ミラーを有し、前記反射ミラーは前記分光ミラーから跳ね返った光線を別の角度で反射させ、照射方向を変えることを特徴とする請求項２に記載の切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置。
【請求項４】
前記光学レンズ群は二つのハーフミラーを有し、一つの前記ハーフミラーは前記光源からの光線の一部分を前記レンズ群へ反射させ、それ以外の部分を通過させ、
外界から入る光線は前記透明キャップおよび前記レンズ群を通って前記ハーフミラーに当たった後、一部分の前記光線が前記ハーフミラーを通過して別の一つの前記ハーフミラーに当たり、
別の一つの前記ハーフミラーは前記光線の一部を反射させ、前記光線の別の一部を通過させ、かつ反射または通過した前記光線を前記可視光カメラに捕捉させ、別の反射または通過した前記光線を前記赤外線カメラに捕捉させることを特徴とする請求項１に記載の切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置。
【請求項５】
前記光学レンズ群はさらに反射ミラーを有し、前記反射ミラーは別の一つの前記ハーフミラーから跳ね返った前記光線を別の角度で反射させ、照射方向を変えることを特徴とする請求項４に記載の切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置。
【請求項６】
前記光源はハロゲンランプであることを特徴とする請求項１に記載の切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置。
【請求項７】
さらに上方光源を備え、
前記上方光源は前記ウェハーの上方に据えられ、下方の前記透明キャップおよび前記レンズ群に光線を照射し、前記光線は可視光および赤外線または可視光のみを含むことを特徴とする請求項１に記載の切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置。
【請求項８】
前記上方光源はハロゲンランプであることを特徴とする請求項７に記載の切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置。
【請求項９】
さらに自動焦点レーザーを備え、
前記自動焦点レーザーは前記ハウジング内に配置され、
前記自動焦点レーザーからのレーザーはレーザー分光ミラーに当たって前記レンズ群へ跳ね返り、
前記レーザー分光ミラーは可視光および赤外線を通過させることを特徴とする請求項１に記載の切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置。
【請求項１０】
前記可視光カメラおよび前記赤外線カメラはそれぞれチューブレンズによって前記光学レンズ群から反射した光線または前記光学レンズ群を通過した光線を捉えたうえで画像を撮ることを特徴とする請求項１に記載の切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハー検査技術に関し、詳しくは切断または配列工程が終わったウェハーの下方に画像を取ることによって欠陥検査を行う装置に関するものである。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
ウェハーはシリコンウェーおよびその底部に配置されるブルーフィルムから構成される。
検査が必要なウェハーはブルーフィルムの上に配置されたうえで切断されたシリコンウェハーまたは、切断された後ブルーフィルムの上に配列してその間に複数の隙間を形成するシリコンウェハーである。
特に、切断または配列工程が終わった後のウェハーは複数の隙間を有するため、品質検査が必要である。
【０００３】
それに対し、特許文献１は浸潤液補充装置、補充方法および浸潤液補充装置を備えたウェハー切断跡検査装置を開示している。
詳しく言えば、特許文献１は切断または配列工程が終わった後のウェハーの下方からウェハーの下向きの表面の欠損状態または隙間を検査する際、ウェハーの下方のブルーフィルムと検査装置の透明シートとの間に浸潤液を媒体として注入することによってブルーフィルムへの光の透過性を向上させ、画像を鮮明に捕捉したうえで検査することを開示する。
【０００４】
特許文献１において、ブルーフィルムと検査装置の透明シートとの間に媒体となる浸潤液を注入する技術は開示されているが、その状況に対応する撮像機構は開示されていない。
詳しく言えば、可視光で画像を捕捉する場合、透過性が足りないため、遮蔽された部位は検査できない。
そのため、ウェハーの材料特性に基づいて画像が遮蔽されず万遍なく撮れるウェハーを設計する技術が求められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
台湾特許Ｉ５０１３３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置（ウェハー検査装置）を提供することを主な目的とする。
本発明は切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置は浸潤液検出器を組み込んだうえでウェハーの底面の画像をウェハーの下方から可視光および赤外線で捕捉し、検査することによって完全な検査結果に到達する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決するため、切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置はウェハーの検査に応用される。
ウェハーは裁断または配列工程が終わったシリコンウェハーと、シリコンウェハーの底部に付着するブルーフィルムとを有する。
切断または配列工程が終わったウェハーに欠陥検査を行う装置は浸潤液検出器、レンズ群、光学レンズ群、光源、可視光カメラおよび赤外線カメラを備える。
浸潤液検出器はハウジングおよび透明キャップを有する。
ハウジングは上部に穿孔を有する。
穿孔は透明キャップで遮蔽される。
透明キャップはブルーフィルムの下方、かつブルーフィルムとの間に所定の距離を置くように据えられる。
液体はブルーフィルムと透明キャップとの間に流動し、充満するように配置される。
レンズ群は透明キャップの下方かつハウジング内に配置される。
光学レンズ群はハウジング内かつレンズ群の下方に配置される。
光源はハウジング内に配置され、光学レンズ群、レンズ群および透明キャップを介して可視光および赤外線を外部へ放出する。
可視光カメラはハウジング内に配置され、外部からハウジングに入る可視光を光学レンズ群によって捉えたうえで画像を撮る。
赤外線カメラはハウジング内に配置され、外部からハウジングに入る赤外線を光学レンズ群によって捉えたうえで画像を撮る。
【０００８】
詳しく言えば、本発明は浸潤液検出器を組み込んだうえでウェハーの底面の画像をウェハーの下方から可視光および赤外線で捕捉し、かつウェハーへの透過性の低い可視光およびウェハーへの透過性の高い赤外線によって異なる深さの画像を生成することによって完全な検査結果に到達する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明の第１実施形態を示す断面図である。
本発明の第１実施形態の使用状態を示す断面図である。
本発明第１実施形態においてのウェハーを示す断面図である。
本発明第１実施形態に部品を増設した後の状態を示す断面図である。
本発明の第２実施形態を示す断面図である。
本発明の第２実施形態においてのウェハーを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下図面に基づいて、本発明に係る切断または配列工程が終わったウェハーに対して欠陥検査を行う装置について詳しく説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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