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公開番号2025014693
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2023117461
出願日2023-07-19
発明の名称イメージセンサの試験システム
出願人株式会社アドバンテスト
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01M 11/00 20060101AFI20250123BHJP(測定;試験)
要約【課題】イメージセンサデバイスに対して、通常のPASS/FAILだけでなく、信頼性の向上に寄与する解析・分析を、テスト時間を長大させることなく実行する。
【解決手段】試験システム100はイメージセンサをDUT2として検査する。テストモジュール120は、対応するDUT2にテスト画像IMGを生成させる。画像キャプチャモジュール130は、対応するDUT2が生成したテスト画像IMGをキャプチャする。画像処理エンジン140は、対応する画像キャプチャモジュール130に格納されたテスト画像を処理する。エッジコンピュータ150は、専用のネットワークを介して画像処理エンジン140と接続され、画像処理エンジン140から転送された画像データを処理する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
イメージセンサを被試験デバイスとして検査する試験システムであって、
複数の前記被試験デバイスに対応する複数のテストモジュールであって、それぞれが対応する被試験デバイスにテスト画像を生成させる複数のテストモジュールと、
前記複数の被試験デバイスに対応し、それぞれが対応する被試験デバイスが生成した前記テスト画像をキャプチャする複数の画像キャプチャモジュールと、
前記複数の被試験デバイスに対応する複数の画像処理エンジンであって、それぞれが対応する画像キャプチャモジュールに格納された前記テスト画像を処理する複数の画像処理エンジンと、
前記試験システムを制御する制御部と、
エッジコンピュータと、
を備え、
前記複数の画像処理エンジンはそれぞれ、第１インタフェースと第２インタフェースを有しており、前記第１インタフェースは、前記制御部と接続され、前記第２インタフェースは、前記エッジコンピュータと接続され、前記制御部と前記エッジコンピュータそれぞれに対して、データを送信可能であることを特徴とする試験システム。
続きを表示（約 620 文字）【請求項２】
イメージセンサを被試験デバイスとして検査する試験システムであって、
複数の前記被試験デバイスに対応する複数のテストモジュールであって、それぞれが対応する被試験デバイスにテスト画像を生成させる複数のテストモジュールと、
前記複数の被試験デバイスに対応し、それぞれが対応する被試験デバイスが生成した前記テスト画像をキャプチャする複数の画像キャプチャモジュールと、
前記複数の被試験デバイスに対応する複数の画像処理エンジンであって、それぞれが対応する画像キャプチャモジュールに格納された前記テスト画像を処理する複数の画像処理エンジンと、
前記試験システムを制御する制御部と、
エッジコンピュータと、
を備え、
前記複数の画像処理エンジンと前記エッジコンピュータは、専用のネットワークを介して接続されており、前記エッジコンピュータは、前記画像処理エンジンから転送された画像を処理することを特徴とする試験システム。
【請求項３】
前記制御部と前記エッジコンピュータは、異なる処理を並列に実行可能であることを特徴とする請求項１または２に記載の試験システム。
【請求項４】
前記エッジコンピュータは、前記複数の被試験デバイスについて得られたデータにもとづいた統計解析を実行可能であることを特徴とする請求項１または２に記載の試験システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、イメージセンサの試験に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
イメージセンサの試験は、大きく、ＤＣパラメトリック試験、ファンクション試験、画像処理試験に分けられる。ＤＣパラメトリック試験は、電圧印加電流測定、電流印加電圧測定、電源電流測定などを含む。ファンクション試験は、Ｉ／Ｆ（インタフェース）試験などが行われる。ＤＣパラメトリック試験やファンクション試験は、メモリやＳｏＣ（System On Chip）などのその他のＤＵＴに対するそれと同様である。
【０００３】
画像処理試験は、イメージセンサに固有の試験である。画像処理試験では、イメージセンサに光を照射した状態でイメージセンサによって撮影を行う。そして、イメージセンサが生成する画像を処理する。この画像処理を一般的なコンピュータで行うと効率が悪いため、画像処理に特化して設計された画像処理エンジンが用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開ＷＯ２００５／１２１７３９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、イメージセンサの高精細化にともない、画像データの大容量化が顕著に進んでおり、今後も更なる高精細化が見込まれている。また近年では、カメラだけでなく、モバイル機器や自動車などにもイメージセンサが搭載され、その用途が大きく広がっている。さらに、１個のモバイル機器に、複数のイメージセンサが搭載されるようになっている。そのため、検査すべきデバイスの数も増加している状況にある。かかる状況では、テスト時間の一層の短縮が求められる。
【０００６】
また車載用や医療用のイメージセンサは、より高い信頼性が要求されるため、通常の良否（Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ）判定だけでなく、信頼性の担保に有用な解析・分析が必要となる。
【０００７】
本開示は係る状況においてなされたものであり、そのある態様の例示的な目的のひとつは、多数のイメージセンサの測定に適した試験システムの提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示のある態様は、イメージセンサを被試験デバイスとして検査する試験システムに関する。試験システムは、複数の被試験デバイスに対応する複数のテストモジュールであって、それぞれが対応する被試験デバイスにテスト画像を生成させる複数のテストモジュールと、複数の被試験デバイスに対応し、それぞれが対応する被試験デバイスが生成したテスト画像をキャプチャする複数の画像キャプチャモジュールと、複数の被試験デバイスに対応する複数の画像処理エンジンであって、それぞれが対応する画像キャプチャモジュールに格納されたテスト画像を処理する複数の画像処理エンジンと、試験システムを制御する制御部と、エッジコンピュータと、を備える。複数の画像処理エンジンはそれぞれ、第１インタフェースと第２インタフェースを有しており、第１インタフェースは、制御部と接続され、第２インタフェースは、エッジコンピュータと接続され、制御部とエッジコンピュータそれぞれに対して、データを送信可能である。
【０００９】
本開示のある態様も試験システムに関する。試験システムは、複数の被試験デバイスに対応する複数のテストモジュールであって、それぞれが対応する被試験デバイスにテスト画像を生成させる複数のテストモジュールと、複数の被試験デバイスに対応し、それぞれが対応する被試験デバイスが生成したテスト画像をキャプチャする複数の画像キャプチャモジュールと、複数の被試験デバイスに対応する複数の画像処理エンジンであって、それぞれが対応する画像キャプチャモジュールに格納されたテスト画像を処理する複数の画像処理エンジンと、試験システムを制御する制御部と、エッジコンピュータと、を備える。複数の画像処理エンジンとエッジコンピュータは、専用のネットワークを介して接続されており、エッジコンピュータは、画像処理エンジンから転送された画像を処理可能となっている。
【００１０】
なお、以上の構成要素を任意に組み合わせたもの、構成要素や表現を、方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明あるいは本開示の態様として有効である。さらに、この項目（課題を解決するための手段）の記載は、本発明の欠くべからざるすべての特徴を説明するものではなく、したがって、記載されるこれらの特徴のサブコンビネーションも、本発明たり得る。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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