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公開番号2025012783
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-24
出願番号2023115880
出願日2023-07-14
発明の名称測定装置、測定方法、測定プログラム
出願人住友重機械工業株式会社
代理人個人,個人
主分類G01N 21/3581 20140101AFI20250117BHJP(測定;試験)
要約【課題】測定用の電磁波ビームを測定対象であるサンプルに対して適切に位置決めできる測定装置等を提供する。
【解決手段】測定装置1は、サンプルSにテラヘルツ波ビームBを照射する照射部2と、サンプルSからのテラヘルツ波ビームBを検出する検出部3と、照射部2および検出部3の間に設けられ、テラヘルツ波ビームBが通過可能な開口51を有する開口部材5と、検出部3によって検出されるテラヘルツ波ビームBの強度が高くなるように、テラヘルツ波ビームBの進行方向に交差する方向に、開口部材5をサンプルSと一体的に駆動する駆動部6と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
サンプルに電磁波ビームを照射する照射部と、
前記サンプルからの前記電磁波ビームを検出する検出部と、
前記照射部および前記検出部の間に設けられ、前記電磁波ビームが通過可能な開口を有する開口部材と、
前記検出部によって検出される前記電磁波ビームの強度が高くなるように、前記電磁波ビームの進行方向に交差する方向に、前記開口部材を前記サンプルと一体的に駆動する駆動部と、
を備える測定装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記電磁波ビームに対する前記開口の実質的なサイズを制御する開口制御部を備える、請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
前記開口制御部は、前記開口の径を制御する、請求項２に記載の測定装置。
【請求項４】
前記開口制御部は、前記駆動部による前記開口部材の第１駆動の後に、前記開口のサイズを低減し、
前記駆動部は、前記開口制御部による前記開口のサイズの低減の後に、前記開口部材の第２駆動を行う、
請求項２に記載の測定装置。
【請求項５】
前記開口制御部は、前記開口のサイズを前記電磁波ビームのサイズより大きく設定し、
前記駆動部による前記開口部材の駆動の際に、前記開口によって回折した前記電磁波ビームの少なくとも一部は、前記検出部に照射されない、
請求項２に記載の測定装置。
【請求項６】
前記駆動部による前記開口部材および前記サンプルの前記電磁波ビームに対する第１位置決め処理において、
前記開口制御部は、前記駆動部による前記開口部材の第１駆動の後に、前記開口のサイズを低減し、
前記駆動部は、前記開口制御部による前記開口のサイズの低減の後に、前記開口部材の第２駆動を行い、
前記第１位置決め処理の後に実行される、前記駆動部による前記開口部材および前記サンプルの前記電磁波ビームに対する第２位置決め処理において、
前記開口制御部は、前記開口のサイズを前記電磁波ビームのサイズより大きく設定し、
前記駆動部による前記開口部材の駆動の際に、前記開口によって回折した前記電磁波ビームの少なくとも一部は、前記検出部に照射されない、
請求項２に記載の測定装置。
【請求項７】
前記駆動部によって前記開口部材および前記サンプルが前記電磁波ビームに対して位置決めされた後、前記開口制御部は前記開口のサイズを大きくし、前記検出部は前記開口からの影響が低減された前記電磁波ビームを検出する、請求項２から６のいずれかに記載の測定装置。
【請求項８】
前記開口部材は、前記照射部および前記サンプルの間に設けられる、請求項１から６のいずれかに記載の測定装置。
【請求項９】
前記電磁波は、テラヘルツ波である、請求項１から６のいずれかに記載の測定装置。
【請求項１０】
照射部によって、サンプルに電磁波ビームを照射することと、
検出部によって、前記サンプルからの前記電磁波ビームを検出することと、
前記照射部および前記検出部の間に設けられ、前記電磁波ビームが通過可能な開口を有する開口部材を駆動する駆動部によって、前記検出部によって検出される前記電磁波ビームの強度が高くなるように、前記電磁波ビームの進行方向に交差する方向に、前記開口部材を前記サンプルと一体的に駆動することと、
を実行する測定方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、テラヘルツ波等の電磁波を使用する測定装置等に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、テラ（10
12
）ヘルツ領域の周波数を有する電磁波であるテラヘルツ波を使用してサンプルの内部状態を測定する装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６８４３３９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
電波と光の中間的な性質を有するテラヘルツ波は、光としては波長が長い（または、周波数が低い）ため、従来の光測定で一般的に使用されている可視光や赤外光のように、特に光軸を目視または確認する手法が確立されていない。このため、測定用のテラヘルツ波ビームを測定対象であるサンプルに対して正確に位置決めすることが難しいという課題がある。
【０００５】
本開示はこうした状況に鑑みてなされたものであり、測定用の電磁波ビームを測定対象であるサンプルに対して適切に位置決めできる測定装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本開示のある態様の測定装置は、サンプルに電磁波ビームを照射する照射部と、サンプルからの電磁波ビームを検出する検出部と、照射部および検出部の間に設けられ、電磁波ビームが通過可能な開口を有する開口部材と、検出部によって検出される電磁波ビームの強度が高くなるように、電磁波ビームの進行方向に交差する方向に、開口部材をサンプルと一体的に駆動する駆動部と、を備える。
【０００７】
本態様では、検出部によって検出される電磁波ビームの強度が高くなるように、電磁波ビームの進行方向に交差する方向に、開口部材がサンプルと一体的に駆動される。このため、開口部材における開口を通過して検出部によって検出される電磁波ビームが多くなるように、サンプルが電磁波ビームに対して適切に位置決めされる。
【０００８】
本開示の別の態様は、測定方法である。この方法は、照射部によって、サンプルに電磁波ビームを照射することと、検出部によって、サンプルからの電磁波ビームを検出することと、照射部および検出部の間に設けられ、電磁波ビームが通過可能な開口を有する開口部材を駆動する駆動部によって、検出部によって検出される電磁波ビームの強度が高くなるように、電磁波ビームの進行方向に交差する方向に、開口部材をサンプルと一体的に駆動することと、を実行する。
【０００９】
なお、以上の構成要素の任意の組合せや、これらの表現を方法、装置、システム、記録媒体、コンピュータプログラム等に変換したものも、本開示に包含される。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、測定用の電磁波ビームを測定対象であるサンプルに対して適切に位置決めできる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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