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公開番号2024176524
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-19
出願番号2023095105
出願日2023-06-08
発明の名称ウェーハへの樹脂塗布方法及びウェーハの製造方法
出願人信越半導体株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類B24B 41/06 20120101AFI20241212BHJP(研削;研磨)
要約【課題】樹脂厚さのばらつきを抑えたウェーハへの樹脂塗布方法及び研削または研磨後のウェーハ形状のばらつきを抑えたウェーハの製造方法を提供する。
【解決手段】ウェーハに樹脂を塗布する樹脂塗布方法であって、第一主面及び第一主面とは反対側の第二主面を有するウェーハを準備することと、ウェーハの第二主面を保持手段によって保持することと、ウェーハの第一主面に対向する位置に樹脂を供給することと、樹脂または樹脂の周囲の温度を計測することと、事前に取得した、樹脂厚さとプレス荷重が所定の値となる、温度とプレス速度のデータを参照し、計測した温度に対応したプレス速度を選択することと、選択したプレス速度で保持手段を駆動し、ウェーハの第一主面に樹脂を押し広げることと、プレス荷重が所定の値に到達したタイミングで保持手段を停止することと、樹脂を硬化させて平坦化樹脂層を形成することを含むことを特徴とする樹脂塗布方法。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハに樹脂を塗布する樹脂塗布方法であって、
第一主面及び前記第一主面とは反対側の第二主面を有するウェーハを準備することと、
前記ウェーハの前記第二主面を保持手段によって保持することと、
前記ウェーハの前記第一主面に対向する位置に樹脂を供給することと、
前記樹脂または前記樹脂の周囲の温度を計測することと、
事前に取得した、前記樹脂厚さとプレス荷重が所定の値となる、温度とプレス速度のデータを参照し、前記計測した温度に対応したプレス速度を選択することと、
前記選択したプレス速度で前記保持手段を駆動し、前記ウェーハの前記第一主面に前記樹脂を押し広げることと、
前記プレス荷重が所定の値に到達したタイミングで前記保持手段を停止することと、
前記樹脂を硬化させて平坦化樹脂層を形成することを含むことを特徴とするウェーハへの樹脂塗布方法。
続きを表示（約 200 文字）【請求項２】
請求項１に記載の樹脂塗布方法を用いて平坦化樹脂層を形成したウェーハに対し、
前記平坦化樹脂層を吸着保持し、前記ウェーハの前記第二主面を研削または研磨することと、
前記ウェーハから前記平坦化樹脂層を除去することと、
前記ウェーハの前記第二主面を吸着保持し、前記ウェーハの前記第一主面を研削または研磨することを含むことを特徴とするウェーハの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハへの樹脂塗布方法及びウェーハの製造方法に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
ナノトポグラフィーが良好なウェーハを作製する方法として、ウェーハに樹脂塗布し研削する方法が公知である。この手法では、装置や樹脂の温度上昇により樹脂粘度が低下するため、同一加工条件で連続加工を行うと、形成される樹脂厚さが変化する。これに対し、特許文献１では、プレス荷重を調整（温度補正）することで、所定の樹脂厚さを形成している。これは例えば、図３のような、樹脂厚さが一定となる温度とプレス荷重の関係を事前に取得しておき、温度に応じてプレス荷重を調整する方法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１７－１６８５６５号公報
特開２０２１－１８６９０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
他方、上記の樹脂塗布工程では、プレス荷重によって保持手段（上定盤）が傾くことが知られている（特許文献２）。このため、プレス荷重を変化させると、保持手段の傾きが変化し、結果として樹脂厚さの面内分布が変化する。このため、樹脂厚さを一定とするために、プレス荷重を温度補正して連続加工を行うと、温度によって樹脂厚さの面内分布がウェーハ間でばらつき、その後の研削加工後のウェーハ形状がウェーハ間でばらつく問題があった。
【０００５】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、樹脂厚さのばらつきを抑えたウェーハへの樹脂塗布方法及び研削または研磨後のウェーハ形状のばらつきを抑えたウェーハの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の樹脂塗布方法は、ウェーハに樹脂を塗布する樹脂塗布方法であって、第一主面及び前記第一主面とは反対側の第二主面を有するウェーハを準備することと、前記ウェーハの前記第二主面を保持手段によって保持することと、前記ウェーハの前記第一主面に対向する位置に樹脂を供給することと、前記樹脂または前記樹脂の周囲の温度を計測することと、事前に取得した、前記樹脂厚さとプレス荷重が所定の値となる、温度とプレス速度のデータを参照し、前記計測した温度に対応したプレス速度を選択することと、前記選択したプレス速度で前記保持手段を駆動し、前記ウェーハの前記第一主面に前記樹脂を押し広げることと、前記プレス荷重が所定の値に到達したタイミングで前記保持手段を停止することと、前記樹脂を硬化させて平坦化樹脂層を形成することを特徴とする方法である。
【０００７】
このような方法であれば、樹脂または樹脂の周囲の温度に応じてプレス速度を調整することで、樹脂厚さとプレス荷重は所定の値となるので、温度変化による樹脂厚さのばらつきやプレス荷重の変更による樹脂厚さの面内分布のばらつきを抑えることができる。
【０００８】
また、本発明のウェーハの製造方法は、上記の樹脂塗布方法を用いて平坦化樹脂層を形成したウェーハに対し、前記平坦化樹脂層を吸着保持し、前記ウェーハの前記第二主面を研削または研磨することと、前記ウェーハから前記平坦化樹脂層を除去することと、前記ウェーハの前記第二主面を吸着保持し、前記ウェーハの前記第一主面を研削または研磨することが好ましい。
【０００９】
このような方法であれば、上記の樹脂塗布方法により第一主面に形成した厚さのばらつきや厚さの面内分布のばらつきが少ない平坦化樹脂層を吸着保持して第二主面を研削または研磨するので、研削または研磨後の第二主面の形状のばらつきを抑えることができ、この形状のばらつきを抑えた第二主面を吸着保持して第一主面を研削または研磨するので、研削または研磨後の第一主面の形状のばらつきを抑えることができ、その結果研削または研磨後のウェーハ形状のばらつきを抑えることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の樹脂塗布方法であれば、樹脂または樹脂の周囲の温度に応じてプレス速度を調整することで、樹脂厚さとプレス荷重は所定の値となるので、温度変化による樹脂厚さのばらつきやプレス荷重の変更による樹脂厚さの面内分布のばらつきを抑えることができる。
また本発明のウェーハの製造方法であれば、上記の樹脂塗布方法により第一主面に形成した厚さのばらつきや厚さの面内分布のばらつきが少ない平坦化樹脂層を吸着保持して第二主面を研削または研磨するので、研削または研磨後の第二主面の形状のばらつきを抑えることができ、この形状のばらつきを抑えた第二主面を吸着保持して第一主面を研削または研磨するので、研削または研磨後の第一主面の形状のばらつきを抑えることができ、その結果研削または研磨後のウェーハ形状のばらつきを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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