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公開番号2024175269
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-18
出願番号2023092915
出願日2023-06-06
発明の名称電気機械変換装置、液体吐出アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体を吐出する装置、マイクロポンプ、電気機械変換装置の製造方法および液体吐出アクチュエータの製造方法
出願人株式会社リコー
代理人個人
主分類B41J 2/14 20060101AFI20241211BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】液体吐出アクチュエータの信頼性を向上させる。
【解決手段】一方の面と、前記一方の面とは異なる他方の面とを有する中間層と、前記中間層の前記一方の面側に設けられる駆動体と、前記中間層の前記他方の面側に設けられる基板と、を備える電気機械変換装置であって、前記中間層は電気接続部を内蔵するとともに、前記電気接続部の一部が前記中間層の前記他方の面から露出する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
一方の面と、前記一方の面とは異なる他方の面とを有する中間層と、
前記中間層の前記一方の面側に設けられる駆動体と、
前記中間層の前記他方の面側に設けられる基板と、
を備える電気機械変換装置であって、
前記中間層は電気接続部を内蔵するとともに、前記電気接続部の一部が前記中間層の前記他方の面から露出することを特徴とする電気機械変換装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記中間層は、振動膜であることを特徴とする請求項１記載の電気機械変換装置。
【請求項３】
前記中間層は、振動膜および配線層を含み、
前記電気接続部は、前記配線層に内蔵され、前記電気接続部の一部は前記配線層から露出していることを特徴とする請求項１記載の電気機械変換装置。
【請求項４】
前記中間層は、振動膜および配線層を含み、
前記電気接続部は、前記振動膜に内蔵され、前記電気接続部の一部は前記振動膜から露出していることを特徴とする請求項１記載の電気機械変換装置。
【請求項５】
前記中間層は、振動膜、配線層および活性層を含み、
前記電気接続部は、前記配線層に内蔵され、前記電気接続部の一部は前記配線層から露出していることを特徴とする請求項１記載の電気機械変換装置。
【請求項６】
前記中間層は、振動膜、配線層および活性層を含み、
前記電気接続部は、前記活性層に内蔵され、前記電気接続部の一部は前記活性層から露出していることを特徴とする請求項１記載の電気機械変換装置。
【請求項７】
前記中間層は、振動膜、配線層および活性層を含み、
前記電気接続部は、前記振動膜に内蔵され、前記電気接続部の一部は前記振動膜から露出していることを特徴とする請求項１記載の電気機械変換装置。
【請求項８】
前記活性層は、ＣＭＯＳ回路部を備えることを特徴とする請求項５乃至７のいずれか一項に記載の電気機械変換装置。
【請求項９】
前記活性層と前記基板との間にＢＯＸ層を有することを特徴とする請求項８記載の電気機械変換装置。
【請求項１０】
一方の面と、前記一方の面とは異なる他方の面とを有する中間層と、
前記中間層の前記一方の面側に設けられる駆動体と、
前記中間層の前記他方の面側に設けられる基板と、
前記基板、前記中間層および前記駆動体を連通する開口部と、
を備え、
前記駆動体を作動させて前記開口部から液体を吐出させる液体吐出アクチュエータであって、
前記中間層は電気接続部を内蔵するとともに、前記電気接続部の一部が前記中間層の前記他方の面から露出することを特徴とする液体吐出アクチュエータ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気機械変換装置、液体吐出アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体を吐出する装置、マイクロポンプ、電気機械変換装置の製造方法および液体吐出アクチュエータの製造方法に関するものである。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ベースおよび振動板に貫通させた中継電極を設け、この中継電極に、アクチュエータの第１の電極または第２の電極を接続させたインクジェットヘッドが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１３－０５９９１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１において中継電極（電気接続部）は、ベースおよび振動板を貫通する通孔の内部に、導電性材料を充填することで形成される。そのため、通孔のアスペクト比（通孔の深さ／通孔の径）が大きい値であると、導電性材料が通孔内に均一に行き渡らず、中継電極内に空隙ができてしまう等、アクチュエータ（電気機械変換装置）の信頼性が低下するという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、一方の面と、前記一方の面とは異なる他方の面とを有する中間層と、前記中間層の前記一方の面側に設けられる駆動体と、前記中間層の前記他方の面側に設けられる基板と、を備える電気機械変換装置であって、前記中間層は電気接続部を内蔵するとともに、前記電気接続部の一部が前記中間層の前記他方の面から露出することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、電気機械変換装置の信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
実施形態に係る液体吐出アクチュエータを模式的に示す斜視図。
第１の実施形態に係る液体吐出アクチュエータの内部構造の一例を示す断面図。
基板に中間層を形成する工程について説明する図。
第一電極層、圧電層および第二電極層を形成する工程について説明する図。
絶縁膜を形成する工程について説明する図。
コンタクトを形成する工程について説明する図。
引出配線を形成する工程について説明する図。
ノズル形成膜を形成する工程について説明する図。
インク孔を形成する工程について説明する図。
液室および電気接続部を形成する工程について説明する図。
第２の実施形態に係る液体吐出アクチュエータの内部構造の一例を示す断面図。
第３の実施形態に係る液体吐出アクチュエータの内部構造の一例を示す断面図。
第４の実施形態に係る液体吐出アクチュエータの内部構造の一例を示す断面図。
基板に中間層を形成する工程について説明する図。
第一電極層、圧電層および第二電極層を形成する工程について説明する図。
絶縁膜を形成する工程について説明する図。
コンタクトを形成する工程について説明する図。
引出配線を形成する工程について説明する図。
ノズル形成膜を形成する工程について説明する図。
インク孔を形成する工程について説明する図。
液室および電気接続部を形成する工程について説明する図。
第５の実施形態に係る液体吐出アクチュエータの内部構造の一例を示す断面図。
第６の実施形態に係る液体吐出アクチュエータの内部構造の一例を示す断面図。
実施形態に係る液体吐出ヘッドの一例を示す概略断面図。
液体吐出ヘッドの電気接続部まわりの詳細図。
液体を吐出する装置の一例を示す概略構成図。
ヘッドユニットの一例を示す平面図。
液体を吐出する装置の他の例を示す要部平面図。
図２８に示した液体を吐出する装置の要部側面図。
液体吐出ユニットの一例を示す要部平面図。
液体吐出ユニットの他の例を示す正面図。
実施形態に係る電気機械変換装置を超音波診断装置に適用した一例を示す概略説明図。
超音波探触子の構成の一例を示す概略構成図。
アクチュエータの一例を示す断面図。
アクチュエータの実装例を示す概略断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照しながら、発明を実施するための形態を説明する。図面の説明においては、同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【０００９】
＜液体吐出アクチュエータの概略＞
図１を用いて液体吐出アクチュエータの概略について説明する。図１は実施形態に係る液体吐出アクチュエータを模式的に示す斜視図である。
【００１０】
電気機械変換装置の一例である液体吐出アクチュエータ１００は、ノズル孔２を有する面（以下、ノズル面という）を振動させて、基板１１０に設けた液室４内の液体をノズル孔２から吐出させるノズル振動方式のアクチュエータである。
（【００１１】以降は省略されています）

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