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公開番号2024165050
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-28
出願番号2023080874
出願日2023-05-16
発明の名称熱遮蔽体位置決め治具、熱遮蔽体位置決め方法、および、シリコン単結晶の製造方法
出願人株式会社SUMCO
代理人弁理士法人樹之下知的財産事務所
主分類C30B 29/06 20060101AFI20241121BHJP(結晶成長)
要約【課題】熱遮蔽体の外周方向の位置決めを適切に行うことができる熱遮蔽体位置決め治具を提供すること。
【解決手段】熱遮蔽体位置決め治具は、チャンバ内で引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め治具であって、前記チャンバの設定位置に着脱自在に構成された治具本体と、前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の外周方向の位置決めを行う外周方向位置決め部と、を備える。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
チャンバ内で引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め治具であって、
前記チャンバの設定位置に着脱自在に構成された治具本体と、
前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の外周方向の位置決めを行う外周方向位置決め部と、を備える、熱遮蔽体位置決め治具。
続きを表示（約 1,800 文字）【請求項２】
請求項１に記載の熱遮蔽体位置決め治具において、
前記熱遮蔽体の上端の一部には、内側に凹む上側凹部が設けられ、
前記外周方向位置決め部は、前記上側凹部に嵌められることにより、前記熱遮蔽体の前記外周方向の位置決めを行う、熱遮蔽体位置決め治具。
【請求項３】
請求項２に記載の熱遮蔽体位置決め治具において、
前記熱遮蔽体は、
前記シリコン単結晶を囲む筒状の熱遮蔽体本体と、
前記熱遮蔽体本体の上端における前記外周方向のＮ個（Ｎは２以上の整数）の位置から外側に突出し、Ｎ個の吊り下げ治具により下方から支持されるＮ個の熱遮蔽体側支持部と、を備え、
互いに隣り合う前記熱遮蔽体側支持部の間には、前記吊り下げ治具が鉛直方向に通過可能な前記上側凹部として機能する吊り下げ治具用凹部がそれぞれ形成され、
前記外周方向位置決め部は、前記吊り下げ治具用凹部に嵌められる、熱遮蔽体位置決め治具。
【請求項４】
請求項３に記載の熱遮蔽体位置決め治具において、
前記互いに隣り合う熱遮蔽体側支持部のうち少なくとも一方の外周面に当接することにより、前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の水平方向の位置決めを行う水平方向位置決め部を備える、熱遮蔽体位置決め治具。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の熱遮蔽体位置決め治具において、
前記治具本体には、当該治具本体を貫通し、前記チャンバに設けられた治具位置決め用目印を視認するための視認用貫通孔が設けられている、熱遮蔽体位置決め治具。
【請求項６】
請求項１に記載の熱遮蔽体位置決め治具を用いて、前記熱遮蔽体の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め方法であって、
前記熱遮蔽体位置決め治具を前記設定位置に取り付け、
前記外周方向位置決め部により前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の外周方向の位置決めを行いつつ、前記熱遮蔽体を前記チャンバ内に設置し、
前記熱遮蔽体を前記チャンバ内に設置後、前記熱遮蔽体位置決め治具を前記チャンバから取り外す、熱遮蔽体位置決め方法。
【請求項７】
請求項３に記載の熱遮蔽体位置決め治具を用いて、前記熱遮蔽体の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め方法であって、
Ｎ個の前記吊り下げ治具用凹部に前記Ｎ個の吊り下げ治具をそれぞれ上側から挿入し、前記Ｎ個の吊り下げ治具を前記外周方向に回転させることにより、前記Ｎ個の吊り下げ治具の吊り下げ支持部を前記Ｎ個の熱遮蔽体側支持部の下側に位置させ、
前記Ｎ個の吊り下げ治具を上昇させることにより、前記吊り下げ支持部で前記熱遮蔽体を持ち上げ、
前記吊り下げ治具用凹部に前記外周方向位置決め部が嵌められるように前記Ｎ個の吊り下げ治具を下降させることにより、前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の外周方向の位置決めを行いつつ、前記熱遮蔽体を前記チャンバ内に設置し、
前記熱遮蔽体位置決め治具を前記チャンバから取り外し、
前記Ｎ個の吊り下げ治具を前記外周方向に回転させることにより、前記Ｎ個の吊り下げ治具の前記吊り下げ支持部を前記Ｎ個の吊り下げ治具用凹部の下方に位置させ、
前記Ｎ個の吊り下げ治具を上昇させることにより、前記Ｎ個の吊り下げ治具を前記熱遮蔽体および前記チャンバから離間させる、熱遮蔽体位置決め方法。
【請求項８】
チョクラルスキー法によりシリコン単結晶を製造するシリコン単結晶の製造方法であって、
請求項６または請求項７に記載の熱遮蔽体位置決め方法を用いて前記熱遮蔽体の位置決めを行い、
前記シリコン単結晶を製造する、シリコン単結晶の製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載のシリコン単結晶の製造方法において、
前記熱遮蔽体は、
前記シリコン単結晶を囲む筒状の熱遮蔽体本体と、
前記熱遮蔽体本体の下端から内側にリング状に突出する下側突出部と、
前記下側突出部の内縁の一部から外側に凹む下側切欠き部と、を備え、
前記シリコン単結晶の製造方法は、
前記シリコン単結晶の製造中、前記下側切欠き部を介して露出するシリコン融液を撮像し、
撮像結果に基づいて、前記シリコン単結晶の製造条件を調整する、シリコン単結晶の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱遮蔽体位置決め治具、熱遮蔽体位置決め方法、および、シリコン単結晶の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、チョクラルスキー法によりシリコン単結晶を製造するシリコン単結晶製造装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のシリコン単結晶製造装置は、熱遮蔽体と、シリコン融液の液面を撮像する撮像部と、を備える。熱遮蔽体の下端部の一部には、内縁から外縁側に凹む切欠き部が設けられている。
シリコン単結晶製造装置は、切欠き部を介して露出するシリコン融液の液面をシリコン単結晶製造装置に付帯されるチャンバの外部に設けられた撮像部で撮像し、撮像結果に基づいて液面の高さ位置を算出する。シリコン単結晶製造装置は、液面の高さ位置の算出結果に基づいて、液面と熱遮蔽体下端との距離が所定値になるように坩堝を上昇させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－１０４２０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のシリコン単結晶製造装置では、熱遮蔽体をチャンバ内に設置する際に、熱遮蔽体の切欠き部の位置がずれると、撮像部で液面を撮像できないおそれがある。
【０００５】
本発明は、熱遮蔽体の外周方向の位置決めを適切に行うことができる熱遮蔽体位置決め治具、熱遮蔽体位置決め方法、および、シリコン単結晶の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の熱遮蔽体位置決め治具は、チャンバ内で引き上げ中のシリコン単結晶を囲む熱遮蔽体の位置決めを行う熱遮蔽体位置決め治具であって、前記チャンバの設定位置に着脱自在に構成された治具本体と、前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の外周方向の位置決めを行う外周方向位置決め部と、を備える。
【０００７】
本発明の熱遮蔽体位置決め治具において、前記熱遮蔽体の上端の一部には、内側に凹む上側凹部が設けられ、前記外周方向位置決め部は、前記上側凹部に嵌められることにより、前記熱遮蔽体の前記外周方向の位置決めを行う、ことが好ましい。
【０００８】
本発明の熱遮蔽体位置決め治具において、前記熱遮蔽体は、前記シリコン単結晶を囲む筒状の熱遮蔽体本体と、前記熱遮蔽体本体の上端における前記外周方向のＮ個（Ｎは２以上の整数）の位置から外側に突出し、Ｎ個の吊り下げ治具により下方から支持されるＮ個の熱遮蔽体側支持部と、を備え、互いに隣り合う前記熱遮蔽体側支持部の間には、前記吊り下げ治具が鉛直方向に通過可能な前記上側凹部として機能する吊り下げ治具用凹部がそれぞれ形成され、前記外周方向位置決め部は、前記吊り下げ治具用凹部に嵌められる、ことが好ましい。
【０００９】
本発明の熱遮蔽体位置決め治具において、前記互いに隣り合う熱遮蔽体側支持部のうち少なくとも一方の外周面に当接することにより、前記治具本体に対する前記熱遮蔽体の水平方向の位置決めを行う水平方向位置決め部を備える、ことが好ましい。
【００１０】
本発明の熱遮蔽体位置決め治具において、前記治具本体には、当該治具本体を貫通し、前記チャンバに設けられた治具位置決め用目印を視認するための視認用貫通孔が設けられている、ことが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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