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公開番号2024142009
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-10
出願番号2023053944
出願日2023-03-29
発明の名称電鋳型の製造方法及び電鋳型
出願人シチズン時計株式会社
代理人弁護士法人クレオ国際法律特許事務所
主分類C25D 1/10 20060101AFI20241003BHJP(電気分解または電気泳動方法;そのための装置)
要約【課題】フォトマスクの形状が正確に再現された電鋳型を高精度に製造することができる。
【解決手段】第1レジスト20を形成する工程と、第1レジスト20を第1のフォトマスク30を用いて露光して第1露光領域21と第1未露光領域22を形成する工程と、第1レジスト20の上に第2レジスト120を形成する工程と、第2レジスト120を第2のフォトマスク130を用いて露光して第2露光領域121と第2未露光領域122を形成する工程と、第1未露光領域22と第2露光工程で形成された第2未露光領域122を除去する工程と、第1未露光領域22又は第2未露光領域122の少なくともいずれか一方の上面のうち次に露光される領域に重なる範囲に、光の透過を防止する機能を有する透過防止層である庇部40を配置する工程を有し、第2レジスト120を形成する工程と第2レジスト120を露光する工程を繰り返す。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
導電性基板に近い第１電鋳部分と、前記導電性基板から遠い１以上の電鋳層を有する第２電鋳部分とが積層した状態で一体に形成された電鋳品を製造するために使用される電鋳型の製造方法であって、
前記導電性基板上に前記第１電鋳部分に対応する第１レジストを形成する第１レジスト形成工程と、
前記第１レジストを第１のフォトマスクを用いて露光して第１露光領域と第１未露光領域を形成する第１露光工程と、
前記第１レジストの上に前記第２電鋳部分に対応する第２レジストを形成する第２レジスト形成工程と、
前記第２レジストを第２のフォトマスクを用いて露光して第２露光領域と第２未露光領域を形成する第２露光工程と、
前記第１未露光領域と前記第２未露光領域を除去する除去工程と、を有し、
前記第１露光工程と前記除去工程との間に、更に前記第１未露光領域又は前記第２未露光領域の少なくともいずれか一方の上面のうち次に露光される領域に重なる範囲に、光の透過を防止する機能を有する透過防止層である庇部を配置する庇部配置工程を有し、
前記第２レジスト形成工程と前記第２露光工程を少なくとも１回以上繰り返す電鋳型の製造方法。
続きを表示（約 970 文字）【請求項２】
前記庇部は、前記第１レジストに近い側に配置された前記透過防止層と、前記透過防止層の上に配置された、光反射を防止する機能を有する反射防止層との２層構造を有する請求項１に記載の電鋳型の製造方法。
【請求項３】
前記庇部は、前記１電鋳部分及び前記第２電鋳部分のいずれとも異なる金属材料で形成されている請求項１又は２に記載の電鋳型の製造方法。
【請求項４】
前記第２露光工程では、前記第１未露光領域及び前記第２レジストを前記第２のフォトマスクを用いて露光して積層方向で連続した第３露光領域を形成する請求項１又は２に記載の電鋳型の製造方法。
【請求項５】
導電性基板に近い第１電鋳部分と、前記導電性基板から遠い１以上の電鋳層を有する第２電鋳部分とが積層した状態で一体に形成された電鋳品を製造するために使用される電鋳型であって、
前記導電性基板と、
前記第１電鋳部分に対応する第１レジストのうち紫外線により硬化した第１の硬化部分と、
前記第２電鋳部分に対応する第２レジストのうち紫外線により硬化した、前記第１の硬化部分より積層方向と直交する幅方向に突出する突出部を有する少なくとも１以上の第２の硬化部分と、
前記第１の硬化部分と前記第２の硬化部分との間、又は前記第２の硬化部分同士の間の少なくともいずれかに配置され、光の透過を防止する機能を有する透過防止層である庇部と、を備え、
前記庇部は、前記積層方向において前記第１の硬化部分と前記第２の硬化部分とが重なる部分及び前記突出部の下方側、又は前記第２の硬化部分同士が重なる部分及び前記突出部の下方側の少なくともいずれか一方に配置され、
前記第２の硬化部分は、前記積層方向において１以上の層を有している電鋳型。
【請求項６】
前記庇部は、前記第１レジストに近い側に配置された前記透過防止層と、前記透過防止層の上に配置された、光反射を防止する機能を有する反射防止層との２層構造を有する請求項５に記載の電鋳型。
【請求項７】
前記第１の硬化部分と積層方向において重なる位置の前記第２の硬化部分は、少なくとも一部が一体的に形成されている請求項５又は６に記載の電鋳型。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、電鋳型の製造方法及び電鋳型に関するものである。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、時計の部品等微小な形状の構造物を、電気鋳造（電気めっき法による金属製品の製造・補修又は複製方法；以下、電鋳という。）により製造することが行われている。そのような背景において近年、基板にレジストを形成し、そのレジストに、可溶部と不溶部のパターンを形成することで、電鋳型を製造し、微細で高精度な電鋳品を製造するＬＩＧＡ（Lithographie，Galvanoformung，Abformung）工法の応用が広がっている。
【０００３】
また、下側のレジストと上側のレジストを互いに異なるパターンを有するフォトマスクで露光することにより、上下において異なる形状の硬化部を有する電鋳型を形成することが行われている。このような電鋳型を用いることにより、複雑な形状の電鋳品を製造することができる（例えば、特許文献１，２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－２１１３６号公報
特開２０１７－２０７４７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、下側のレジストの露光が終了した後に、上側のレジストを下側のレジストと異なるパターンで露光する場合には、上側のレジストを通して下側のレジストの未露光領域に対して紫外線を照射してしまい、本来未硬化の状態であるべき部分まで硬化されてしまう可能性がある。そのため、下側のフォトレジストに対する露光が終了した後に、上側のレジストを通った光によって下側の未硬化部を硬化させない状態に保つ必要がある。
【０００６】
例えば、特許文献１の技術によれば、２層の樹脂層のうち下側の感光性樹脂の一部を先に溶解させて開放孔（凹部）を形成する。更に、この開放孔を覆うようにフィルム状の感光性樹脂を配置することにより開放孔を保護することになる。しかしながら、開放孔の開口面積が広い場合には、開放孔を覆う感光性樹脂が自重で撓んでしまい、上側の感光性樹脂の成型型に形状不良が生じる可能性があった。
【０００７】
また、第１の孔が形成された下方側の層に金属を充填して第１の電鋳部分を形成した後、更に上方側の樹脂に第２の孔を形成し、この第２の孔に金属を充填して第２の電鋳部分を形成するということも考えられる。しかしながら、このような方法では、第１の電鋳部分と第２の電鋳部分が連続して一体形成されていないため、第１の電鋳部分と第２の電鋳部分との境界において完成品としての強度が不十分であった。また、充填した金属を除去してから電鋳をおこなえば、強度の欠点は補えるが、除去に多くの時間を要し生産的ではない。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、フォトマスクの形状が正確に再現された電鋳型を高精度に製造することができる電鋳型の製造方法及び電鋳型を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１は、導電性基板に近い第１電鋳部分と、前記導電性基板から遠い１以上の電鋳層を有する第２電鋳部分とが積層した状態で一体に形成された電鋳品を製造するために使用される電鋳型の製造方法であって、前記導電性基板上に前記第１電鋳部分に対応する第１レジストを形成する第１レジスト形成工程と、前記第１レジストを第１のフォトマスクを用いて露光して第１露光領域と第１未露光領域を形成する第１露光工程と、前記第１レジストの上に前記第２電鋳部分に対応する第２レジストを形成する第２レジスト形成工程と、前記第２レジストを第２のフォトマスクを用いて露光して第２露光領域と第２未露光領域を形成する第２露光工程と、前記第１未露光領域と前記第２未露光領域を除去する除去工程と、を有し、前記第１露光工程と前記除去工程との間に、更に前記第１未露光領域又は前記第２未露光領域の少なくともいずれか一方の上面のうち次に露光される領域に重なる範囲に、光の透過を防止する機能を有する透過防止層である庇部を配置する庇部配置工程を有し、前記第２レジスト形成工程と前記第２露光工程を少なくとも１回以上繰り返す電鋳型の製造方法である。
【００１０】
本発明の第２は、導電性基板に近い第１電鋳部分と、前記導電性基板から遠い１以上の電鋳層を有する第２電鋳部分とが積層した状態で一体に形成された電鋳品を製造するために使用される電鋳型であって、前記導電性基板と、前記第１電鋳部分に対応する第１レジストのうち紫外線により硬化した第１の硬化部分と、前記第２電鋳部分に対応する第２レジストのうち紫外線により硬化した、前記第１の硬化部分より積層方向と直交する幅方向に突出する突出部を有する少なくとも１以上の第２の硬化部分と、前記第１の硬化部分と前記第２の硬化部分との間、又は前記第２の硬化部分同士の間の少なくともいずれかに配置され、光の透過を防止する機能を有する透過防止層である庇部と、を備え、前記庇部は、前記積層方向において前記第１の硬化部分と前記第２の硬化部分とが重なる部分及び前記突出部の下方側、又は前記第２の硬化部分同士が重なる部分及び前記突出部の下方側の少なくともいずれか一方に配置され、前記第２の硬化部分は、前記積層方向において１以上の層を有している電鋳型である。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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