特許ウォッチ

公開番号2024132436
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-01
出願番号2023043189
出願日2023-03-17
発明の名称表示装置の製造装置
出願人株式会社ジャパンディスプレイ
代理人弁理士法人スズエ国際特許事務所
主分類C23C 14/24 20060101AFI20240920BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】信頼性や歩留の低下を抑制する。
【解決手段】一実施形態によれば、表示装置の製造装置は、真空チャンバーと、前記真空チャンバーの内部に設けられ、表示装置用の処理基板を搬送するための搬送路と、前記真空チャンバーの内部にイオンを発生させるイオナイザーと、を備え、前記イオナイザーは、前記真空チャンバーの内部に収容され、開孔を有するサブチャンバーと、前記サブチャンバーに不活性ガスを供給するガス供給部と、前記サブチャンバーの内部に供給された不活性ガスをイオン化するための真空紫外線またはX線を照射する照射源と、を備える。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
真空チャンバーと、
前記真空チャンバーの内部に設けられ、表示装置用の処理基板を搬送するための搬送路と、
前記真空チャンバーの内部にイオンを発生させるイオナイザーと、を備え、
前記イオナイザーは、
前記真空チャンバーの内部に収容され、開孔を有するサブチャンバーと、
前記サブチャンバーに不活性ガスを供給するガス供給部と、
前記サブチャンバーの内部に供給された不活性ガスをイオン化するための真空紫外線またはＸ線を照射する照射源と、を備える、表示装置の製造装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記真空チャンバーは、１０
－３
Ｐａより小さい圧力に維持されている、請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項３】
前記真空チャンバーは、接地され、
前記サブチャンバーは、前記真空チャンバーに対して電気的に絶縁されている、請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項４】
前記サブチャンバーは、絶縁材料で形成されている、請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項５】
前記ガス供給部は、不活性ガスとして、窒素またはアルゴンを供給するように構成されている、請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項６】
さらに、前記真空チャンバーの内部に収容された蒸着源を備え、
前記蒸着源は、下電極が形成された前記処理基板を搬送するための搬送路に向けて材料を放射するように構成されている、請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項７】
前記蒸着源から放射される材料は、有機層、上電極、及び、キャップ層のいずれかを形成するための材料である、請求項６に記載の表示装置の製造装置。
【請求項８】
さらに、前記真空チャンバーの内部に収容された回転機構を備え、
前記回転機構は、前記処理基板を保持しながら回転するように構成されている、請求項１に記載の表示装置の製造装置。
【請求項９】
下電極が形成された表示装置用の処理基板を収容する基板ストッカーと、
前記処理基板に対して前処理を行う前処理部と、
前記処理基板に対して有機層、上電極、及び、キャップ層のいずれかの材料を放射するように構成された蒸着チャンバーと、
前記処理基板が搬送される搬送チャンバーと、
前記処理基板を保持しながら回転するように構成されたローテーションチャンバーと、
前記処理基板に対して後処理を行う後処理部と、
前記基板ストッカー、前記前処理部、前記蒸着チャンバー、前記搬送チャンバー、及び、前記後処理部の少なくとも１つに設けられ、内部にイオンを発生させるイオナイザーと、を備え、
前記イオナイザーは、
真空チャンバーの内部に収容され、開孔を有するサブチャンバーと、
前記サブチャンバーに不活性ガスを供給するガス供給部と、
前記サブチャンバーの内部に供給された不活性ガスをイオン化するための真空紫外線またはＸ線を照射する照射源と、を備える、表示装置の製造装置。
【請求項１０】
前記基板ストッカー、前記前処理部、前記蒸着チャンバー、前記搬送チャンバー、及び、前記後処理部は、互いに接続され、１０
－３
Ｐａより小さい圧力に維持されている、請求項９に記載の表示装置の製造装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、表示装置の製造装置に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、表示素子として有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）を適用した表示装置が実用化されている。この表示素子は、薄膜トランジスタを含む画素回路と、画素回路に接続された下電極と、下電極を覆う有機層と、有機層を覆う上電極と、を備えている。有機層は、発光層の他に、正孔輸送層や電子輸送層などの機能層を含んでいる。
このような表示素子を製造する過程において、信頼性や歩留の低下を抑制する技術が必要とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０００－１９５６７７号公報
特開２００４－２０７２１７号公報
特開２００８－１３５３２５号公報
特開２００９－３２６７３号公報
特開２０１０－１１８１９１号公報
国際公開第２０１８／１７９３０８号
米国特許出願公開第２０２２／００７７２５１号明細書
特開２０２０－４３０１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、信頼性や歩留の低下を抑制することが可能な表示装置の製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
一実施形態によれば、表示装置の製造装置は、
真空チャンバーと、前記真空チャンバーの内部に設けられ、表示装置用の処理基板を搬送するための搬送路と、前記真空チャンバーの内部にイオンを発生させるイオナイザーと、を備え、前記イオナイザーは、前記真空チャンバーの内部に収容され、開孔を有するサブチャンバーと、前記サブチャンバーに不活性ガスを供給するガス供給部と、前記サブチャンバーの内部に供給された不活性ガスをイオン化するための真空紫外線またはＸ線を照射する照射源と、を備える。
【０００６】
一実施形態によれば、表示装置の製造装置は、
下電極が形成された表示装置用の処理基板を収容する基板ストッカーと、前記処理基板に対して前処理を行う前処理部と、前記処理基板に対して有機層、上電極、及び、キャップ層のいずれかの材料を放射するように構成された蒸着チャンバーと、前記処理基板が搬送される搬送チャンバーと、前記処理基板を保持しながら回転するように構成されたローテーションチャンバーと、前記処理基板に対して後処理を行う後処理部と、前記基板ストッカー、前記前処理部、前記蒸着チャンバー、前記搬送チャンバー、及び、前記後処理部の少なくとも１つに設けられ、内部にイオンを発生させるイオナイザーと、を備え、前記イオナイザーは、真空チャンバーの内部に収容され、開孔を有するサブチャンバーと、前記サブチャンバーに不活性ガスを供給するガス供給部と、前記サブチャンバーの内部に供給された不活性ガスをイオン化するための真空紫外線またはＸ線を照射する照射源と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、表示装置ＤＳＰの構成例を示す図である。
図２は、副画素ＳＰ１、ＳＰ２、ＳＰ３のレイアウトの一例を示す図である。
図３は、図２中のＡ－Ｂ線に沿う表示装置ＤＳＰの概略的な断面図である。
図４は、表示素子２０の一構成例を示す図である。
図５は、製造装置１００の一構成例を示す図である。
図６は、代表的な蒸着チャンバーＥＶ１１の一構成例を示す断面図である。
図７は、図５に示した製造装置１００に適用可能なイオナイザー２００を説明するための図である。
図８は、図５に示した製造装置１００において、イオナイザー２００の設置例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
一実施形態について図面を参照しながら説明する。
開示はあくまで一例に過ぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べて、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同一または類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する詳細な説明を適宜省略することがある。
【０００９】
なお、図面には、必要に応じて理解を容易にするために、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を記載する。Ｘ軸に沿った方向を第１方向Ｘと称し、Ｙ軸に沿った方向を第２方向Ｙと称し、Ｚ軸に沿った方向を第３方向Ｚと称する。第３方向Ｚと平行に各種要素を見ることを平面視という。
【００１０】
本実施形態に係る表示装置は、表示素子として有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）を備える有機エレクトロルミネッセンス表示装置であり、テレビ、パーソナルコンピュータ、車載機器、タブレット端末、スマートフォン、携帯電話端末等に搭載され得る。
（【００１１】以降は省略されています）

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