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公開番号2024121612
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-06
出願番号2023028807
出願日2023-02-27
発明の名称チャックテーブル、およびチャックテーブルの作成方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類B24B 41/06 20120101AFI20240830BHJP(研削;研磨)
要約【課題】チャックテーブルの内部に加工屑が堆積されることを抑制することができるチャックテーブル、およびチャックテーブルの作成方法を提供すること。
【解決手段】チャックテーブル10は、一面に凹部31が形成された枠体30と、凹部31に嵌め込まれたポーラス状の吸着部40と、を有し、吸着部40は、ポーラスの内表面に撥水コーティング剤が被覆される。チャックテーブル10の作成方法は、撥水コーティング剤の液中に、少なくとも吸着部40を浸漬する浸漬ステップと、浸漬ステップの後に、吸着部40のポーラスの内部に滞留する撥水コーティング剤を吸引するとともに、ポーラスの内表面に残存する撥水コーティング剤を乾燥させる吸引ステップと、浸漬ステップの前、もしくは吸引ステップの後に、吸着部40を凹部31に嵌め込み、吸着部40と枠体30とを一体化させる一体化ステップと、を含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を加工する加工装置において該被加工物を保持するチャックテーブルであって、
一面に凹部が形成された枠体と、
該凹部に嵌め込まれたポーラス状の吸着部と、を有し、
該吸着部は、ポーラスの内表面に撥水コーティング剤が被覆される、
チャックテーブル。
続きを表示（約 330 文字）【請求項２】
一面に凹部が形成された枠体と、該凹部に嵌め込まれたポーラス状の吸着部と、を有するチャックテーブルの作成方法であって、
撥水コーティング剤の液中に、少なくとも該吸着部を浸漬する浸漬ステップと、
該浸漬ステップの後に、該吸着部のポーラスの内部に滞留する該撥水コーティング剤を吸引するとともに、該ポーラスの内表面に残存する該撥水コーティング剤を乾燥させる吸引ステップと、
該浸漬ステップの前、もしくは該吸引ステップの後に、該吸着部を該凹部に嵌め込み、該吸着部と該枠体とを一体化させる一体化ステップと、を含み、
該ポーラス状の内表面に撥水コーティング剤が被覆される、
チャックテーブルの作成方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャックテーブル、およびチャックテーブルの作成方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ等のウェーハを薄化する薄化加工を実施する装置として、ウェーハの裏面（パターン面とは反対側の面）を研削砥石で研削する、研削装置が知られている。この研削装置では、保持面がポーラスで形成されるチャックテーブルに被加工物を保持し、負圧を形成させることで保持面上の被加工物を吸引保持した状態で研削を実施する。
【０００３】
ところで、研削装置では、研削中もチャックテーブルが被加工物を吸引し続けるため、研削で発生した加工屑が被加工物の外周部からチャックテーブルに吸引されて内部に蓄積される。内部に堆積した加工屑が固着してポーラスの吸引孔が塞がれると、被加工物を吸着する際の吸引力が低下することで、研削加工中の被加工物の外周部がバタつくことによってエッジチッピングが増加したり、または研削加工中に被加工物がチャックテーブルから剥がれて割れたりする可能性がある。
【０００４】
このように、研削加工では、チャックテーブルの内部に加工屑が堆積して固着するため、チャックテーブルを研削して固着した加工屑を削り取るセルフグラインドを、定期的に実施することで加工屑を除去している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１８－０９４６７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
したがって、チャックテーブルの内部に加工屑が堆積されることを抑制しセルフグラインドの工数を削減する手法の確立、という解決すべき課題がある。
【０００７】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、チャックテーブルの内部に加工屑が堆積されることを抑制することができるチャックテーブル、およびチャックテーブルの作成方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のチャックテーブルは、被加工物を加工する加工装置において該被加工物を保持するチャックテーブルであって、一面に凹部が形成された枠体と、該凹部に嵌め込まれたポーラス状の吸着部と、を有し、該吸着部は、ポーラスの内表面に撥水コーティング剤が被覆されることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明のチャックテーブルの作成方法は、一面に凹部が形成された枠体と、該凹部に嵌め込まれたポーラス状の吸着部と、を有するチャックテーブルの作成方法であって、撥水コーティング剤の液中に、少なくとも該吸着部を浸漬する浸漬ステップと、該浸漬ステップの後に、該吸着部のポーラスの内部に滞留する該撥水コーティング剤を吸引するとともに、該ポーラスの内表面に残存する該撥水コーティング剤を乾燥させる吸引ステップと、該浸漬ステップの前、もしくは該吸引ステップの後に、該吸着部を該凹部に嵌め込み、該吸着部と該枠体とを一体化させる一体化ステップと、を含み、該ポーラス状の内表面に撥水コーティング剤が被覆されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本願発明は、チャックテーブルの内部に加工屑が堆積されることを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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