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公開番号2024114537
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-23
出願番号2023020375
出願日2023-02-13
発明の名称ダイシングテープの張力異常検知装置及び方法並びにダイシングテープ
出願人株式会社東京精密
代理人個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20240816BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ダイシングテープの張力の適否を定量的に判定して、ダイシングテープの張力異常を正確に検知可能なダイシングテープの張力異常検知装置及び方法並びにダイシングテープを提供する。
【解決手段】張力異常検知装置4は、一方面6aにマーキング穴6bが設けられたダイシングテープ6を一方面6a側から撮影するカメラ41と、予め記憶されたワークW貼着前のダイシングテープ6におけるマーキング穴6bの初期状態量とカメラ41が撮影した画像に表れたワークW貼着後のダイシングテープ6におけるマーキング穴6bの現状態量との差である状態変化量を測定する測定部42と、状態変化量が、予め設定された適正状態変化量範囲内である場合には、ダイシングテープ6に作用する張力が適切であると判定し、状態変化量が、適正状態変化量範囲内に属しない場合には、ダイシングテープ6に作用する張力が異常であると判定する判定部43と、を備えている。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
ワークが貼着されたダイシングテープの張力異常検知装置であって、
一方面にマーキングが設けられた前記ダイシングテープを前記一方面側から撮影する撮影部と、
予め記憶されたワーク貼着前の前記ダイシングテープにおける前記マーキングの初期状態量と前記撮影部が撮影した画像に表れたワーク貼着後の前記ダイシングテープにおける前記マーキングの現状態量との差である状態変化量を測定する測定部と、
前記状態変化量が、予め設定された前記ダイシングテープに作用する張力の適正範囲に応じた適正状態変化量範囲内である場合には、前記張力が適切であると判定し、前記状態変化量が、前記適正状態変化量範囲内に属しない場合には、前記張力が異常であると判定する判定部と、
を備えていることを特徴とするダイシングテープの張力異常検知装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記マーキングは、前記一方面に所定の間隔を空けてドット状に設けられた複数のマーキング穴であり、
前記状態変化量は、ワーク貼着前後における前記マーキング穴の間隔の拡大量であることを特徴とする請求項１に記載のダイシングテープの張力異常検知装置。
【請求項３】
前記マーキングは、前記一方面に所定の間隔を空けて格子状に設けられた複数のマーキング線であり、
前記状態変化量は、ワーク貼着前後における前記マーキング線の歪み量であることを特徴とする請求項１に記載のダイシングテープの張力異常検知装置。
【請求項４】
前記撮影部は、前記ダイシングテープのうち前記ワークが貼付されていない撮影位置において前記ダイシングテープを撮影することを特徴とする請求項１に記載のダイシングテープの張力異常検知装置。
【請求項５】
前記撮影部は、平面視で前記ワークが前記撮影部に対して相対的に移動する搬送方向において前記ワークの前方又は後方に設定された撮影位置において前記ダイシングテープを撮影することを特徴とする請求項４に記載のダイシングテープの張力異常検知装置。
【請求項６】
前記撮影部は、平面視で前記ワークが前記撮影部に対して相対的に移動する搬送方向に対して垂直な幅方向において前記ワークの側方に設定された撮影位置において前記ダイシングテープを撮影することを特徴とする請求項４に記載のダイシングテープの張力異常検知装置。
【請求項７】
ワークが貼着されたダイシングテープの張力異常検知方法であって、
一方面にマーキングが設けられた前記ダイシングテープを前記一方面側から撮影部を用いて撮影する工程と、
予め記憶されたワーク貼着前の前記ダイシングテープにおける前記マーキングの初期状態量と前記撮影部が撮影した画像に表れたワーク貼着後の前記ダイシングテープにおける前記マーキングの現状態量との差である状態変化量を測定する工程と、
前記状態変化量が、予め設定された前記ダイシングテープに作用する張力の適正範囲に応じた適正状態変化量範囲内である場合には、前記張力が適切であると判定し、前記状態変化量が、前記適正状態変化量範囲内に属しない場合には、前記張力が異常であると判定する工程と、
を含むことを特徴とするダイシングテープの張力異常検知方法。
【請求項８】
ワークが貼着された状態で生じる張力の異常検知に用いられるダイシングテープであって、
一方面に設けられたマーキングは、前記ダイシングテープに作用する張力に応じて状態量が変化するように構成されていることを特徴とするダイシングテープ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシングテープの張力異常検知装置及び方法並びにこれらに用いられるダイシングテープに関するものである。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体基板（以下、「ワーク」という）をチップに割断する工程があり、その工程では、ワークに貼着されたダイシングテープが個々のチップの位置を拘束することにより、チップの割断を効率よく行うことができる。
【０００３】
特許文献１には、テーブル２１１に吸着固定されたウェーハＷにエキスパンドテープＥを貼着用ローラの加圧力により貼り付けることが記載されている。なお、符号は、特許文献１のものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１３－４５８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、新しいダイシングテープを使用する場合には、サンプルワークをダイシングテープに貼着させて、その貼り付け状態をオペレータが目視で確認することで、ダイシングテープの張力を含むパラメータの調整を行っているのが現状である。また、生産プロセスにおいても、オペレータは、ワークが貼着されたダイシングテープの貼り付け状態から、パラメータが適切に保たれていることを定期的に目視で確認している。
【０００６】
このようにオペレータの目視によってダイシングテープの張力を確認すると、オペレータの熟練度等によってはダイシングテープの張力が不十分になる虞があり、ダイシングテープの張力が適切でない場合には、エキスパンド時にチップ間の適正な間隔が確保できず、チップの位置検知が困難になるという問題があった。
【０００７】
そこで、ダイシングテープの張力の適否を定量的に判定して、ダイシングテープの張力異常を正確に検知するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係るダイシングテープの張力異常検知装置は、ワークが貼着されたダイシングテープの張力異常検知装置であって、一方面にマーキングが設けられた前記ダイシングテープを前記一方面側から撮影する撮影部と、予め記憶されたワーク貼着前の前記ダイシングテープにおける前記マーキングの初期状態量と前記撮影部が撮影した画像に表れたワーク貼着後の前記ダイシングテープにおける前記マーキングの現状態量との差である状態変化量を測定する測定部と、前記状態変化量が、予め設定された前記ダイシングテープに作用する張力の適正範囲に応じた適正状態変化量範囲内である場合には、前記張力が適切であると判定し、前記状態変化量が、前記適正状態変化量範囲内に属しない場合には、前記張力が異常であると判定する判定部と、を備えている。
【０００９】
また、上記目的を達成するために、本発明に係るダイシングテープの張力異常検知方法は、ワークが貼着されたダイシングテープの張力異常検知方法であって、一方面にマーキングが設けられた前記ダイシングテープを前記一方面側から撮影部を用いて撮影する工程と、予め記憶されたワーク貼着前の前記ダイシングテープにおける前記マーキングの初期状態量と前記撮影部が撮影した画像に表れたワーク貼着後の前記ダイシングテープにおける前記マーキングの現状態量との差である状態変化量を測定する工程と、前記状態変化量が、予め設定された前記ダイシングテープに作用する張力の適正範囲に応じた適正状態変化量範囲内である場合には、前記張力が適切であると判定し、前記状態変化量が、前記適正状態変化量範囲内に属しない場合には、前記張力が異常であると判定する工程と、を含む。
【００１０】
また、上記目的を達成するために、本発明に係るダイシングテープは、ワークが貼着された状態で生じる張力の異常検知に用いられるダイシングテープであって、一方面に設けられたマーキングは、前記ダイシングテープに作用する張力に応じて状態量が変化するように構成されている。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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