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公開番号2024139046
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-09
出願番号2023049830
出願日2023-03-27
発明の名称加工用排液濾過装置
出願人株式会社東京精密
代理人個人
主分類B23Q 11/00 20060101AFI20241002BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】加工装置から排出される排液を濾過するための濾過能力を高めて、濾過部材(フィルタ)の交換の手間を省き、濾過された排液の品質を一定に保つことができる加工用排液濾過装置を提供する。
【解決手段】切り屑を含む排液14Aが溜められるダーティタンク15と、ダーティタンク15内に溜められた排液14Aを汲み上げるダーティタンク用ポンプ20と、ダーティタンク用ポンプ20から供給される排液14A内に混入している切り屑を回収する一次濾過処理用のスクリーンフィルタ18と、スクリーンフィルタ18で回収された切り屑を収容する切り屑回収容器19と、を備える。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
加工装置から排出された切り屑を含む排液を濾過する加工用排液濾過装置であって、
前記排液が溜められる第１タンクと、
前記第１タンク内に溜められた前記排液を汲み上げる第１タンク用ポンプと、
前記第１タンク用ポンプから供給される前記排液内に混入している前記切り屑を回収する一次濾過処理用のスクリーンフィルタと、
前記スクリーンフィルタで回収された前記切り屑を収容する切り屑回収容器と、
を備える、ことを特徴とする加工用排液濾過装置。
続きを表示（約 910 文字）【請求項２】
前記第１タンク用ポンプで汲み上げられた前記排液の一部を、前記第１タンク内の前記排液中に戻し、前記第１タンク内の前記排液を撹拌する排液撹拌手段をさらに備える、ことを特徴とする請求項１に記載の加工用排液濾過装置。
【請求項３】
前記第１タンク用ポンプで汲み上げられた前記排液の一部を、前記第１タンク用ポンプの外表面に浴びせるポンプ冷却流路を有する、ことを特徴とする請求項１に記載の加工用排液濾過装置。
【請求項４】
前記第１タンク内の前記排液の量を検出するセンサと、
前記センサからの信号に基づいて前記第１タンク用ポンプの運転・停止を制御する制御部と、
をさらに備える、ことを特徴とする請求項１に記載の加工用排液濾過装置。
【請求項５】
前記第１タンク側から排出される一次濾過処理が済んだ前記排液が溜められる第２タンクと、
前記第２タンク内に溜められた前記排液を通過させて前記排液内に混入している微小な前記切り屑を回収する二次濾過処理用のバックフィルタと、
前記第２タンク内に溜められた前記排液を汲み上げて前記バックフィルタの上流側に供給する第２タンク用ポンプと、
をさらに備える、ことを特徴とする請求項１に記載の加工用排液濾過装置。
【請求項６】
前記第２タンク内の前記排液の量を検出するセンサと、
前記センサからの信号に基づいて前記第２タンクの運転の停止を制御する制御部と、
をさらに備える、ことを特徴とする請求項５に記載の加工用排液濾過装置。
【請求項７】
前記第２タンク内の前記排液の量が所定量を越えたときに、前記第２タンク内の前記排液を前記第１タンクに戻す排液帰還ラインを有する、ことを特徴とする請求項５に記載の加工用排液濾過装置。
【請求項８】
前記バックフィルタは、前記排液が濾過して順次通過して行く複数段のフィルタで構成されており、各段のフィルタがそれぞれ独立して交換可能に構成されている、ことを特徴とする請求項５に記載の加工用排液濾過装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削装置等の加工装置から排出される研削液等の排液を濾過して排出する加工用排液濾過装置に関するものである。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体デバイス製造工程では、多数のデバイスが形成されたシリコンや化合物半導体等からなる半導体ウェハを、デバイス間の境界である分割予定ラインに沿って切断し分割することにより、個片化した半導体デバイスを得ている。このようにして製造される半導体デバイスは、携帯電話やパソコン等の各種電子機器に広く用いられるが、近年ではこの種の電子機器の小型化・軽量化を可能にするために、半導体デバイスを積層可能に構成した積層デバイスが開発されている。
【０００３】
積層デバイスは、半導体デバイスの表面にバンプと呼ばれる突起状の電極を形成し、このバンプをエポキシ樹脂等からなるアンダーフィル材で埋設し、この後、バンプをアンダーフィル材ごと切削加工により削り取ることにより、バンプをアンダーフィル材の表面に露出させるという加工を行っている。このようにバンプや樹脂を切削加工するには、保持テーブルに保持した被加工物に対して研削液（例えば、純水等の冷却水）を供給しながら、切り刃を有したバイトホイールを回転させてバンプを切り刃で切削する形式のフライカット装置等が用いられる（例えば、特許文献１，特許文献２参照）。また、研削加工で使用した研削液は研削装置が設置された加工室から回収し、濾過して排出させる方法が採られている。
【０００４】
上記のような研削装置で樹脂や金属を切削するにあたっては、その樹脂や金属が粘性を有していたり加工時の発熱により粘性が生じたりした場合には、加工屑、すなわち切り屑が糸状となって発生することが多い。このような切り屑を含んだ排液は、一度加工室内の沈殿槽に貯溜し、加工屑を沈殿させて大きな切り屑を捕集し、小さなものはそのまま排出させていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１４－１８９４２号公報
特開２０２２－３５２７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したような切り屑は、沈殿槽に直接フィルタを設けた場合、切り屑の排出量が多いために目詰まりが発生し、高頻度でメンテナンスが必要であった。また、沈殿槽では、液中及び液面を浮遊しているものは捕集する効果が無いため、樹脂などの軽量なものは、そのまま加工室外の排水ラインに流れ出て、排水ラインを詰まらせてしまう虞があった。また、従来では、排水ラインにＹストレーナ式の排水トラップを使用しただけの場合もあり、直ぐに排水ラインが詰まり、頻繁にメンテナンスの必要が生じ、生産性が悪いという問題点があった。
【０００７】
そこで、加工室内から排出される排液を濾過するための濾過能力を高めて、濾過部材（フィルタ）の交換の手間を省き、濾過された排液の品質を一定に保つことができる加工用排液濾過装置を提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１に記載の発明は、加工装置から排出された切り屑を含む排液を濾過する加工用排液濾過装置であって、前記排液が溜められる第１タンクと、前記第１タンク内に溜められた前記排液を汲み上げる第１タンク用ポンプと、前記第１タンク用ポンプから供給される前記排液内に混入している前記切り屑を回収する一次濾過処理用のスクリーンフィルタと、前記スクリーンフィルタで回収された前記切り屑を収容する切り屑回収容器と、を備える、加工用排液濾過装置を提供する。
【０００９】
この構成によれば、加工装置から排出された排液は、一度、第１タンク内に溜められ、その後、第１タンク用ポンプで一次濾過処理用のスクリーンフィルタ上に供給される。そして、排液内に混入されている切り屑はスクリーンフィルタで捕集されて切り屑回収容器内に回収され、スクリーンフィルタを透過した排液は第１タンク外に排出される。また、スクリーンフィルタで捕集された切り屑は、スクリーンフィルタから切り屑回収容器内へ自動回収することが可能となり、スクリーンフィルタのメンテナンスを高頻度で行う必要が無くなる。
また、排液撹拌手段により、第１タンク内から第１タンク用ポンプで汲み上げられた排液の一部を第１タンク内の排液中に戻し、戻した排液の流れで第１タンク内の排液を撹拌する。そして、この撹拌により、液面に集まる樹脂などの軽量なものを液中に引き込み、第１タンクの底に溜まる切り屑を液中に浮遊させて、撹拌されて切り屑を含んだ排液を第１タンク用ポンプでスクリーンフィルタ上に供給するので、濾過性能の品質等を高める。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成において、前記第１タンク用ポンプで汲み上げられた前記排液の一部を、前記第１タンク内の前記排液中に戻し、前記第１タンク内の前記排液を撹拌する排液撹拌手段をさらに備える、加工用排液濾過装置を提供する。
（【００１１】以降は省略されています）

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