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公開番号2024112149
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-20
出願番号2023017033
出願日2023-02-07
発明の名称ロードポート装置
出願人TDK株式会社
代理人前田・鈴木国際特許弁理士法人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20240813BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】容器のポートと流路との接続を検出できるロードポート装置を提供する。
【解決手段】容器を載置する載置部を有するロードポート装置が、上昇位置に移動することにより前記載置部に載置された前記容器の底部に設けられるポートに接触可能であって、前記ポートを介して前記容器内と連通可能な流路を有する可動部と、前記可動部が、前記上昇位置と前記上昇位置より下方の下降位置との間で移動が可能となるように、前記可動部を支持するベース部と、前記可動部の前記移動の方向に対して略垂直に前記可動部から延出し、前記可動部と一体に移動する被検出部と、前記被検出部の位置を検出する検出部と、を有する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項1】
容器を載置する載置部を有するロードポート装置であって、
上昇位置に移動することにより前記載置部に載置された前記容器の底部に設けられるポートに接触可能であって、前記ポートを介して前記容器内と連通可能な流路を有する可動部と、
前記可動部が、前記上昇位置と前記上昇位置より下方の下降位置との間で移動が可能となるように、前記可動部を支持するベース部と、
前記可動部の前記移動の方向に対して略垂直に前記可動部から延出し、前記可動部と一体に移動する被検出部と、
前記被検出部の位置を検出する検出部と、
を有するロードポート装置。
続きを表示(約 870 文字)【請求項2】
前記可動部の移動軸周りの回転を抑止する回転抑止部をさらに有する請求項1に記載のロードポート装置。
【請求項3】
前記回転抑止部は、前記被検出部の前記移動の方向に沿って前記被検出部が通過可能な間隙を形成する一対の間隙形成部材を有し、前記一対の間隙形成部材は、前記被検出部の前記移動の方向および前記被検出部の前記延出する方向に略垂直な方向に沿って前記被検出部の両側に対向して配置される請求項2に記載のロードポート装置。
【請求項4】
前記回転抑止部は、前記可動部の外周面の近傍に向き合うように配置される回転防止ガイドを有する請求項2に記載のロードポート装置。
【請求項5】
前記被検出部は、ロッド状であり、前記可動部に対して着脱可能である請求項1に記載のロードポート装置。
【請求項6】
前記可動部は、前記可動部の前記移動の方向に対して略垂直な複数の方向に前記被検出部を装着可能な複数の装着部を有する請求項5に記載のロードポート装置。
【請求項7】
前記可動部は、少なくとも前記下降位置において、前記ベース部の下表面より下方に配置される底部ブロックを有し、
前記被検出部は、前記底部ブロックに装着してある請求項1に記載のロードポート装置。
【請求項8】
前記流路に接続される配管は、前記被検出部が装着される位置とは異なる位置で、前記底部ブロックに装着してある請求項7に記載のロードポート装置。
【請求項9】
前記検出部は、前記被検出部が装着された前記装着部に対応して取り付け位置を変更可能に前記ベース部に取り付けられる請求項6に記載のロードポート装置。
【請求項10】
前記検出部は、光を生じる発光部と、前記発光部からの光を直接または反射光として受光して信号を出力する受光部と、を有する光学式センサである請求項1に記載のロードポート装置。
(【請求項11】以降は省略されています)

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体工場等で容器の受け渡し等を行うロードポート装置に関する。
続きを表示(約 1,500 文字)【背景技術】
【0002】
半導体工場等では、シリコンウエハ等の基板が収容された容器を半導体処理装置等に受け渡すための装置として、ロードポート装置が用いられる。ロードポート装置では、たとえば載置部に載置された容器が、半導体処理装置に繋がるEFEM(イーフェム)等へ密封に接続され、EFEM内のウエハ搬送アームが容器内の基板にアクセス可能となる。
【0003】
近年、基板を酸化や汚染から守るために、基板を収容する環境の清浄度を高めることが求められている。このようなニーズに対応したロードポート装置として、載置部に載置された容器の内部に、容器の底部に設けられたポートを介して清浄化ガスを導入し、容器の内部を清浄化する装置がある。たとえば、容器の底部に対して接触・離間するように上下動するノズルを介して、容器の内部に清浄化ガスが導入される(たとえば特許文献1)。
【0004】
容器の底部のポートに対してノズルを上下動させる機構を有するロードポート装置では、動作誤差や、動作不良等により、ポートとノズルとの接続が完全でない場合がある。ポートとノズルとの接続が完全でない状態で清浄化動作を行うと、清浄化ガスを容器内に導入できず、また、工場内に清浄化ガスが漏洩する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
特開2011-187539号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
本発明は、容器のポートと流路との接続を検出できるロードポート装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記目的を達成するために、本発明に係るロードポート装置は、
容器を載置する載置部を有するロードポート装置であって、
上昇位置に移動することにより前記載置部に載置された前記容器の底部に設けられるポートに接触可能であって、前記ポートを介して前記容器内と連通可能な流路を有する可動部と、
前記可動部が、前記上昇位置と前記上昇位置より下方の下降位置との間で移動が可能となるように、前記可動部を支持するベース部と、
前記可動部の前記移動の方向に対して略垂直に前記可動部から延出し、前記可動部と一体に移動する被検出部と、
前記被検出部の位置を検出する検出部と、を有する。
【0008】
本発明に係るロードポート装置は、可動部から延出した被検出部の位置を検出する検出部を有するため、上昇位置と下降位置との間の可動部の移動を検出することができ、容器のポートと流路とが適切に接続されているか否かを検出できる。また、被検出部は、可動部の移動の方向に対して略垂直に可動部から延出しているため、可動部の移動方向において被検出部および検出部が占めるスペースを小さくすることができる。その結果、可動部の上下移動に伴う載置部内部のスペース確保を最小限にとどめることができる。換言すれば、ロードポート装置において可動部の移動方向のスペースが狭くても、可動部の上下方向の動きを検出する被検出部および検出部を適切に配置できる。
【0009】
前記ロードポート装置は、前記可動部の移動軸周りの回転を抑止する回転抑止部をさらに有していてもよい。
【0010】
可動部の移動軸周りの不要な回転は可動部が移動方向に対して傾くことにもつながるため、上下方向の移動にあたってのがたつきやポートとの接触の際の接触精度にも影響を及ぼす。回転抑止部によると、そのような回転による種々の影響を低減することができる。
(【0011】以降は省略されています)

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