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公開番号2024110667
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-16
出願番号2023015379
出願日2023-02-03
発明の名称搬送装置
出願人TDK株式会社
代理人前田・鈴木国際特許弁理士法人
主分類H01L 21/52 20060101AFI20240808BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】たとえば極小な部品を平面方向に多数配置して搬送する際に、搬送漏れなどが生じることなく多数の微少な搬送対象物を効率的に搬送可能で、良好な姿勢で移し替えることが可能な搬送装置を提供すること。
【解決手段】搬送装置20は、搬送される対象物としての素子52を仮保持するスタンプツール10が着脱自在に取り付けられる装着面24を持つ下側部材25と、下側部材25よりも上側に位置する上側部材28と、下側部材25と上側部材28とを連結する連結ユニット30と、を有する。連結ユニット30は、少なくとも相互に異なる3つの連結位置C1～C3で下側部材25と上側部材28とを連結する3つの個別連結部材32を有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
搬送される対象物、または前記対象物を仮保持する仮保持部材が着脱自在に取り付けられる装着面を持つ下側部材と、
前記下側部材よりも上側に位置する上側部材と、
前記下側部材と前記上側部材とを連結する連結ユニットと、を有する搬送装置であって、
前記連結ユニットは、
少なくとも相互に異なる３つの連結位置で前記下側部材と前記上側部材とを連結する３つの個別連結部材を有する搬送装置。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記個別連結部材の内の少なくとも２つ以上は、前記上側部材に対する前記下側部材の装着面の傾きを調整可能なように、駆動信号を受けて、それぞれの前記連結位置で、前記上側部材と前記下側部材との間の距離を調整可能に駆動制御されるアクチュエータを含む請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記アクチュエータは、長手方向に伸縮移動可能な圧電素子を有する請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記アクチュエータが配置される前記連結位置の近くに位置する付勢位置には、それぞれスプリングが配置してあり、前記スプリングは、前記付勢位置で、前記上側部材と前記下側部材とを近づける方向にバネ力を付与している請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記下側部材は、
前記装着面が下面に形成してあるヘッド部と、
少なくとも３つの前記個別連結部材の下端が直接または間接的に連結されるベース部と、
前記装着面の傾斜を粗調整する調整部とを有する請求項１～４のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項６】
前記装着面、または前記装着面に取り付けられる仮保持部材の少なくとも３つの異なる測定点のデータを測定可能な第１計測手段と、
前記第１計測手段により計測したデータに応じて、少なくとも３つの前記測定点を含む仮想平面の基準平面に対する傾斜を調整するように、前記アクチュエータを駆動制御する制御手段と、をさらに有する請求項２～４のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項７】
前記対象物が搬送される搬送先または搬送元のテーブルの表面、または前記テーブルに載置される基板の表面における少なくとも３つの異なる測定点を計測可能な第２計測手段をさらに有し、
前記制御手段では、前記第２計測手段により計測した計測結果に基づき、前記基準平面を決定する請求項６に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記下側部材の前記装着面には、前記仮保持部材としてのスタンプツールが着脱自在に取り付け可能になっている請求項１～４のいずれかに記載の搬送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば平面度が要求される平板状の搬送対象物を搬送可能、または極小な部品を平面方向に多数配置して搬送可能な搬送装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
極小な部品の搬送において、表面に多数の凸部を有するスタンプ状の搬送ツール（スタンプツール）を用いることが検討されている。下記の特許文献１には、そのスタンプ状の搬送ツールの例が開示されている。従来では、熱膨張（coefficient of thrmal expansion）による搬送対象の離脱を可能とするためのスタンプツールが開示されている。
【０００３】
スタンプツールの搬送対象として想定されている極小部品の一例として、ミニＬＥＤ、マイクロＬＥＤと呼ばれるＬＥＤ素子がある。ミニＬＥＤ、マイクロＬＥＤとは、従来の一般的なＬＥＤ素子のものに比べ、幅が１～８μｍ、長さが５～１０μｍ、高さが０．５～３μｍと非常に小さい。
【０００４】
従来技術にもあるように、このようなＬＥＤ素子が多数配置されたウエハから素子をピックアップし、ディスプレイに相当する基板へ搬送することで、ＬＥＤディスプレイを製造することになる。このように微少なＬＥＤ素子などの部品を一度に多数個で搬送して搬送元の基板に取り付ける際などには、搬送装置で搬送される微少な部品を保持するスタンプツールを装着する装着面と、搬送元または搬送先のテーブルの平面とが高精度で平行に配置されることが必要となる。
【０００５】
搬送装置の装着面が、搬送元のテーブルの平面に対して傾斜していると、搬送元のテーブルに設置してある基板から、平面方向に配置してある複数の微少な部品を、漏れなくピックアップすることが困難になる。また、搬送装置の装着面が、搬送先のテーブルの平面に対して傾斜していると、搬送先のテーブルに設置してある基板に、複数の微少な部品を、漏れなく移し替えることが困難になる。また、パネル搭載時の素子の姿勢ばらつきや傾きなどの発生につながる恐れもある。
【０００６】
また、搬送装置を用いて、平面度が要求される平板状の搬送対象物を搬送する際にも、搬送装置の装着面が、搬送元のテーブルの平面に対して傾斜していると、搬送元のテーブルに設置してある平板状の搬送対象物を良好にピックアップすることが困難になる。また、搬送装置の装着面が、搬送先のテーブルの平面に対して傾斜していると、搬送先のテーブルに、平板状の搬送対象物を設置する際に、搬送対象物にダメージが生じやすくなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
米国２０１７／０１７３８５２Ａ１公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その第１の目的は、たとえば極小な部品を平面方向に多数配置して搬送する際に、搬送漏れなどが生じることなく多数の微少な搬送対象物を効率的に搬送可能で、良好な姿勢で移し替えることが可能な搬送装置を提供することである。また、本発明の第２の目的は、たとえば平面度が要求される平板状の搬送対象物を、ダメージを生じさせることなく搬送が可能な搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明に係る搬送装置は、
搬送される対象物、または前記対象物を仮保持する仮保持部材が着脱自在に取り付けられる装着面を持つ下側部材と、
前記下側部材よりも上側に位置する上側部材と、
前記下側部材と前記上側部材とを連結する連結ユニットと、を有する搬送装置であって、
前記連結ユニットは、
少なくとも相互に異なる３つの連結位置で前記下側部材と前記上側部材とを連結する３つの個別連結部材を有する。
【００１０】
本発明の搬送装置では、少なくとも２つの連結位置で、たとえばアクチュエータなどを用いて、前記上側部材と前記下側部材との間の距離を調整することができる。そのため、下側部材の装着面（対象物を保持する仮保持部材の搬送面も含む／以下同様）の平面度（平行性）を制御することが可能である。その結果、搬送装置の装着面を、たとえば搬送元のテーブルの平面に対して高精度に合わせる（平行にする）ことが可能になる。そのため、搬送元のテーブルに設置してある基板から、平面方向に配置してある複数の微少な部品を、漏れなくピックアップすることが容易になる。
（【００１１】以降は省略されています）

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