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公開番号2024104364
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-05
出願番号2023008521
出願日2023-01-24
発明の名称真空ポンプ
出願人エドワーズ株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類F04D 19/04 20060101AFI20240729BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】安全性をより一層向上することが可能な真空ポンプを提供する。
【解決手段】吸気口101及び排気口133のうち少なくとも排気口133が設けられた、ケーシング215と、ケーシング215及び排気口133のうち少なくともケーシング215の一部を高温とするヒータ148と、を備えターボ分子ポンプ100であって、ターボ分子ポンプ100は、ケーシング215の側面を覆う、環状かつ薄板状の側面カバー224と、排気口133の周囲を覆う、薄板状の排気口カバー222と、を有し、排気口カバー222は、側面カバー224とは別部品であり、かつ、側面カバー224が取り付けられた状態でも脱着可能である。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
吸気口及び排気口のうち少なくとも前記排気口が設けられた、ケーシングと、
前記ケーシング及び前記排気口のうち少なくとも前記ケーシングの一部を高温とする加熱手段と、
を備えた真空ポンプであって、
前記真空ポンプは、
前記ケーシングの側面を覆う、環状かつ薄板状の側面カバーと、
前記排気口の周囲を覆う、薄板状の排気口カバーと、
を有し、
前記排気口カバーは、前記側面カバーとは別部品であり、かつ、前記側面カバーが取り付けられた状態でも脱着可能であることを特徴とする真空ポンプ。
続きを表示（約 730 文字）【請求項２】
前記排気口カバーは、前記排気口の周囲を囲う様にほぼ一周をカバーし、かつ、少なくとも２部品で構成されることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記排気口カバーは、前記排気口の中心を通る中心線に対して、線対称に分割された構造であることを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記側面カバーまたは前記排気口カバーと、前記ケーシングとの間に空隙を有し、
前記空隙において、前記側面カバーまたは前記排気口カバーの変形を低減させる強度向上対策が施されていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記強度向上対策は、前記側面カバーまたは前記排気口カバーにおいて、少なくとも一端が前記ケーシング側に折り曲げられている構造を用いたものであることを特徴とする請求項４に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記強度向上対策は、前記ケーシングと、前記側面カバーまたは前記排気口カバーとの間に配置された支柱構造を用いたものであることを特徴とする請求項４に記載の真空ポンプ。
【請求項７】
前記ケーシングにおいて、前記側面カバーまたは前記排気口カバーが配置される部分は、温度調整手段により、温度調整されていることを特徴とする請求項１～６の何れか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項８】
前記ケーシングは、前記真空ポンプ内の排気流路の真空を確保する構造体である内側ケーシングと、該内側ケーシングの周囲を覆う外側ケーシングの二重構造で形成されることを特徴とする請求項１～６の何れか一項に記載の真空ポンプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばターボ分子ポンプ等の真空ポンプに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
一般に、真空ポンプの一種としてターボ分子ポンプが知られている。このターボ分子ポンプにおいては、ポンプ本体内のモータへの通電により回転翼を回転させ、ポンプ本体に吸い込んだガス（プロセスガス）の気体分子（ガス分子）を弾き飛ばすことによりガスを排気するようになっている。また、このようなターボ分子ポンプには、ポンプ内の温度を適切に管理するために、ヒータや冷却管を備えたタイプのものがある。
【０００３】
また、後掲の特許文献１（段落０００５、０００６など）には、ベースを、空気断熱層を介して覆うカバー部材を備え、ユーザが高温部に触れる危険を回避することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２２－１５８１４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１（段落００２９など）には、カバー部材によりベースの外周側を覆ってユーザが高温部であるベースに触れる危険性を回避することや、カバー部材に熱を伝えないようにすること、及び、カバー部材を冷却すること等が開示されている。しかし、真空ポンプの安全性をより一層向上するためには、さらなる改良が必要である。
【０００６】
本発明の目的とするところは、安全性をより一層向上することが可能な真空ポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために本発明に係る真空ポンプは、
吸気口及び排気口のうち少なくとも前記排気口が設けられた、ケーシングと、
前記ケーシング及び前記排気口のうち少なくとも前記ケーシングの一部を高温とする加熱手段と、
を備えた真空ポンプであって、
前記真空ポンプは、
前記ケーシングの側面を覆う、環状かつ薄板状の側面カバーと、
前記排気口の周囲を覆う、薄板状の排気口カバーと、
を有し、
前記排気口カバーは、前記側面カバーとは別部品であり、かつ、前記側面カバーが取り付けられた状態でも脱着可能であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
上記発明によれば、安全性をより一層向上することが可能な真空ポンプを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明の一実施形態に係るターボ分子ポンプの構成を模式的に示す説明図である。
アンプ回路の回路図である。
電流指令値が検出値より大きい場合の制御を示すタイムチャートである。
電流指令値が検出値より小さい場合の制御を示すタイムチャートである。
図１と同じターボ分子ポンプの構成を異なる部位に符号を付して示す説明図である。
ターボ分子ポンプの排気ポート１５が設けられた側を示す側面図である。
ターボ分子ポンプを、排気ポート１５が設けられた側を背後にして示す側面図である。
図６のターボ分子ポンプを、第２排気口カバー部品２２２Ｂと第２側面カバー部品２２４Ｂとを取り外して示す側面図である。
図７のターボ分子ポンプを、第２側面カバー部品２２４Ｂを取り外して示す側面図である。
（ａ）は第２排気口カバー部品２２２Ｂを示す斜視図、（ｂ）は第２側面カバー部品２２４Ｂを示す斜視である。
変形例のターボ分子ポンプの構成を模式的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
＜第１実施形態＞
以下、本発明の第１実施形態に係る真空ポンプについて、図面に基づき説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る真空ポンプとしてのターボ分子ポンプ１００を示している。このターボ分子ポンプ１００は、例えば、半導体製造装置等のような対象機器の真空チャンバ（図示略）に接続されるようになっている。
（【００１１】以降は省略されています）

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