特許ウォッチ

公開番号2024103694
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-01
出願番号2024089936,2023078568
出願日2024-06-03,2017-03-27
発明の名称傾き角度検出装置及び傾き角度検出方法
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20240725BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】従来の方式ではプリアライメントできない四角い形状の基板をプリアライメントする。
【解決手段】搬送部(搬送アーム48)により搬送方向(引き出し方向B)に沿って搬送される四角形状の基板Wの傾き角度θを検出する傾き角度検出装置において、基板Wに平行で且つ搬送方向に垂直な方向を垂直方向とした場合に、垂直方向に間隔をあけて設けられた第1センサ及び第2センサにより構成される幅・角度検出センサ61であって、基板Wが搬送方向に沿って搬送されるときに、搬送方向とは異なる方向に離れた基板Wの両縁のみを検出する幅・角度検出センサ61と、幅・角度検出センサ61により検出した基板Wの両縁から基板Wの傾き角度θを検出する検出部(制御部25)と、第1センサ及び第2センサの垂直方向の間隔を調整する間隔調整部(駆動モータ63)と、を備える。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
搬送部により搬送方向に沿って搬送される四角形状の基板の傾き角度を検出する傾き角度検出装置において、
前記基板に平行で且つ前記搬送方向に垂直な方向を垂直方向とした場合に、前記垂直方向に間隔をあけて設けられた第１センサ及び第２センサにより構成される幅・角度検出センサであって、前記基板が前記搬送方向に沿って搬送されるときに、前記搬送方向とは異なる方向に離れた前記基板の両縁のみを検出する幅・角度検出センサと、
前記幅・角度検出センサにより検出した前記基板の両縁から前記基板の傾き角度を検出する検出部と、
前記第１センサ及び前記第２センサの前記垂直方向の間隔を調整する間隔調整部と、
を備える傾き角度検出装置。
続きを表示（約 340 文字）【請求項２】
搬送部により搬送方向に沿って搬送される四角形状の基板の傾き角度を検出する傾き角度検出方法において、
前記基板に平行で且つ前記搬送方向に垂直な方向を垂直方向とした場合に、前記垂直方向に間隔をあけて設けられた第１センサ及び第２センサにより構成される幅・角度検出センサにおける、前記第１センサ及び前記第２センサの前記垂直方向の間隔を調整するステップと、
前記基板が前記搬送方向に沿って搬送されるときに、前記幅・角度検出センサにより、前記搬送方向とは異なる方向に離れた前記基板の両縁のみを検出するステップと、
前記幅・角度検出センサにより検出した前記基板の両縁から前記基板の傾き角度を検出するステップと、
を有する傾き角度検出方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ上に形成された複数のチップの電気的な検査を行うプローバおよびそのプリアライメント方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、新しいパッケージの製造手段としてFOWLP(Fan Out Wafer Level Package)が注目されている。この基板は、特許文献１および２のような従来の円形のシリコンウェーハとは異なり、四角い形状で製作される場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１６－１９２４８４号公報
特開２０１６－１５７８８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
対象となる四角の基板を搬送しようとした時に、従来の円形のウェーハで行っていたようなプリアライメント方式が適用できない。例えば、検査関連装置であるプローバでワークを検査する検査台（チャック）までワークを搬送する場合に、ワークの向きをある程度合わせなければいけない（プリアライメント）。従来行っていたようにウェーハの中心を保持し回転させることで、オリフラやノッチをセンサで検出する方式は、四角い形状のためにできない。また、基板にウェーハのオリフラやノッチに相当する位置決めの形状もない。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、従来の方式ではプリアライメントできない四角い形状の基板をプリアライメントできるプローバを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、四角形状の基板が格納された格納部から基板をプリアライメント部に搬送し、プリアライメント部によってプリアライメントされた基板を検査部に搬送し、検査部によって基板を検査するプローバにおいて、基板が格納部からプリアライメント部に搬送されるときに、基板の搬送方向に沿った長さを検出する長さ検出センサと、基板が格納部からプリアライメント部に搬送されるときに、基板の搬送方向に直交する方向に沿った幅を連続的に検出する幅検出センサと、を備えるプローバを提供する。
【０００７】
上記のプローバは、長さ検出センサの検出した基板の長さと、幅検出センサの連続的に検出した基板の幅とから、所定の基準座標に対する基板の偏芯量およびウェーハの搬送方向に対する基板の傾き角度を算出する算出部を備え、プリアライメント部は、算出部の算出した所定の基準座標に対する基板の偏芯量および傾き角度に基づいて、基板のプリアライメントを行うことが好ましい。
【０００８】
また、長さ検出センサはファイバアンプで構成されることが好ましい。
【０００９】
また、幅検出センサは測距センサで構成されることが好ましい。
【００１０】
また、本発明は、四角形状の基板が格納された格納部から基板をプリアライメント部に搬送し、プリアライメント部によってプリアライメントされた基板を検査部に搬送し、検査部によって基板を検査するプローバであって、基板が格納部からプリアライメント部に搬送されるときに、基板の搬送方向に沿った長さを検出する長さ検出センサと、基板が格納部からプリアライメント部に搬送されるときに、基板の搬送方向に直交する方向に沿った幅を連続的に検出する幅検出センサと、を備えるプローバが、長さ検出センサの検出した基板の長さと、幅検出センサの連続的に検出した基板の幅とから、所定の基準座標に対する基板の偏芯量および基板の搬送方向に対するウェーハの傾き角度を算出するステップと、所定の基準座標に対する基板の偏芯量および傾き角度に基づいて、基板のプリアライメントを行うステップと、を実行するプリアライメント方法を提供する。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許