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公開番号2024088419
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-02
出願番号2022203562
出願日2022-12-20
発明の名称ひずみゲージ
出願人ミネベアミツミ株式会社
代理人個人,個人
主分類G01B 7/16 20060101AFI20240625BHJP(測定;試験)
要約【課題】破断および亀裂が生じにくいひずみゲージを実現する。
【解決手段】本ひずみゲージは、基材と、前記基材上に形成された抵抗体と、を有し、前記抵抗体は、平面視において、検知部と、前記検知部と直列に接続された接続部と、を含む細長状部が複数並置された所定のパターンを形成しており、前記接続部は、前記検知部よりも弾性率が低い材料から形成され、前記検知部に直接接するように配置され、前記所定のパターンにおいて、ある細長状部における前記検知部と前記接続部との境界線と、当該ある細長状部における前記検知部と前記接続部との境界線とは前記平面視において同一直線上にない。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基材と、
前記基材上に形成された抵抗体と、を有し、
前記抵抗体は、平面視において、検知部と、前記検知部と直列に接続された接続部と、を含む細長状部が複数並置された所定のパターンを形成しており、
前記接続部は、前記検知部よりも弾性率が低い材料から形成され、前記検知部に直接接するように配置され、
前記所定のパターンにおいて、ある細長状部における前記検知部と前記接続部との境界線と、当該ある細長状部と隣り合う細長状部における前記検知部と前記接続部との境界線とは前記平面視において同一直線上にない、ひずみゲージ。
続きを表示（約 630 文字）【請求項２】
前記所定のパターンにおいて、少なくとも１つの前記細長状部の前記境界線は、前記細長状部の短手方向と平行でない、請求項１に記載のひずみゲージ。
【請求項３】
前記所定のパターンにおいて、前記複数の細長状部はそれぞれ、長手方向が同一方向を向くよう並置されており、
前記複数の細長状部において、個々の前記境界線は前記細長状部の短手方向と略平行であり、かつ、それぞれの前記境界線と隣り合う前記境界線とは前記平面視において同一直線上にない、請求項１に記載のひずみゲージ。
【請求項４】
前記抵抗体は、隣り合う前記細長状部の端部同士を接続する折り返し部分を含み、
１つ以上の前記折り返し部分に前記接続部が配置されている、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のひずみゲージ。
【請求項５】
前記基材上に形成され、配線を介して前記抵抗体と電気的に接続された一対の電極を有し、
１つ以上の前記配線に前記接続部が配置されている、請求項１乃至４の何れか一項に記載のひずみゲージ。
【請求項６】
前記接続部の弾性率は、前記検知部の弾性率の１／２倍以下である、請求項１乃至５の何れか一項に記載のひずみゲージ。
【請求項７】
前記検知部は、Ｃｒ、ＣｒＮ、およびＣｒ
２
Ｎを含む膜から形成されている、請求項１乃至６の何れか一項に記載のひずみゲージ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ひずみゲージに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
測定対象物に貼り付けて、測定対象物のひずみを検出するひずみゲージが知られている。ひずみゲージは、ひずみを検出する抵抗体を備えており、抵抗体は、例えば、絶縁性樹脂上に形成されている。ひずみゲージは起歪体に貼り付けられ、起歪体の動き（例えば、ひずみ）に追従し伸び縮みする。このとき、ひずみゲージの抵抗体は変形するため抵抗値が変化する。この抵抗値の変化量から起歪体のひずみ量を特定することができる。また、近年、抵抗体部分に異種材料を含んだひずみゲージが開発されている（特許文献１および２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１５２５２３号公報
特開２０１９－１３２７９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このように、ひずみゲージの抵抗体はひずみ検出の際に伸縮する必要がある。そのため、例えばより大きなひずみを検出可能なひずみゲージを実現しようとすると、ひずみゲージ自身により大きな応力がかかることとなる。
【０００５】
本発明は、前記の点に鑑みてなされたもので、破断および亀裂が生じにくいひずみゲージの実現を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本ひずみゲージは、基材と、前記基材上に形成された抵抗体と、を有し、前記抵抗体は、平面視において、検知部と、前記検知部と直列に接続された接続部と、を含む細長状部が複数並置された所定のパターンを形成しており、前記接続部は、前記検知部よりも弾性率が低い材料から形成され、前記検知部に直接接するように配置され、前記所定のパターンにおいて、ある細長状部における前記検知部と前記接続部との境界線と、当該ある細長状部と隣り合う細長状部における前記検知部と前記接続部との境界線とは前記平面視において同一直線上にない。
【発明の効果】
【０００７】
開示の技術によれば、破断および亀裂が生じにくいひずみゲージを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施形態に係るひずみゲージを例示する平面図である。
実施形態に係るひずみゲージを例示する断面図（その１）である。
実施形態に係るひずみゲージを例示する断面図（その２）である。
実施形態に係るひずみゲージの他の例を示す断面図である。
実施形態の変形例１に係るひずみゲージにおける検知部と接続部との接続部分の例を示す部分平面図である。
実施形態の変形例２に係るひずみゲージを例示する平面図である。
実施形態の変形例２に係るひずみゲージを例示する断面図である。
図６に示すひずみゲージの接続部の拡大図である。
実施形態の変形例３に係るひずみゲージを例示する平面図である。
実施形態の変形例３に係るひずみゲージを例示する断面図である。
実施形態の変形例４に係るひずみゲージを例示する平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して発明の実施形態について説明する。各図面において、同一の構成部には同一の符号を付す場合がある。また、各図面の説明において、既に説明した構成部と同一の構成部についての説明は省略する場合がある。
【００１０】
［ひずみゲージの構造］
図１は、実施形態に係るひずみゲージを例示する平面図である。図２は、実施形態に係るひずみゲージを例示する断面図（その１）であり、図１のＡ－Ａ線に沿う断面を示している。図３は、実施形態に係るひずみゲージを例示する断面図（その２）であり、図１のＢ－Ｂ線に沿う断面図である。なお、図１～図３に示したひずみゲージの各部の形状および大きさはあくまで一例であり、本実施形態に係るひずみゲージの外観はこれに限定されない。
（【００１１】以降は省略されています）

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