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公開番号2024084456
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-25
出願番号2022198738
出願日2022-12-13
発明の名称装置および物品製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類G01B 11/00 20060101AFI20240618BHJP(測定;試験)
要約【課題】2つの位置検出器の相対位置の検出に有利な技術を提供する。
【解決手段】装置は、第1部材の第1検出対象の位置を検出するための第1位置検出器と、前記第1部材に対向して配置される第2部材の第2検出対象の位置を検出するための第2位置検出器と、を備える。前記第1位置検出器は、第1イメージセンサと、前記第1イメージセンサの撮像面に前記第1検出対象の像を形成する第1光学系とを含みうる。前記第2位置検出器は、第2イメージセンサと、前記第2イメージセンサの撮像面に前記第2検出対象の像を形成する第2光学系とを含みうる。前記第1位置検出器および前記第2位置検出器は、前記第2イメージセンサによって前記第1光学系および前記第2光学系を介して前記第1イメージセンサを撮像することができるように構成されうる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１部材の第１検出対象の位置を検出するための第１位置検出器と、
前記第１部材に対向して配置される第２部材の第２検出対象の位置を検出するための第２位置検出器と、を備え、
前記第１位置検出器は、第１イメージセンサと、前記第１イメージセンサの撮像面に前記第１検出対象の像を形成する第１光学系と、を含み、
前記第２位置検出器は、第２イメージセンサと、前記第２イメージセンサの撮像面に前記第２検出対象の像を形成する第２光学系と、を含み、
前記第１位置検出器および前記第２位置検出器は、前記第２イメージセンサによって前記第１光学系および前記第２光学系を介して前記第１イメージセンサを撮像することができるように構成されている、
ことを特徴とする装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記第２イメージセンサによって撮像された前記第１イメージセンサの画像に基づいて前記第１位置検出器と前記第２位置検出器との相対位置を検出するプロセッサを更に備える、
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１光学系は、前記第１イメージセンサの側および前記第２光学系の側の双方がテレセントリックな光学系であり、
前記第２光学系は、少なくとも前記第１光学系の側がテレセントリックな光学系である、
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記第２イメージセンサは、前記第１イメージセンサの撮像領域の全体を撮像する、
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記第２位置検出器は、前記第２イメージセンサによって前記第１イメージセンサの撮像領域の全体を含む領域を撮像可能である、
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記第１位置検出器は、前記第１検出対象の位置を検出する際に前記第１検出対象を照明する第１照明系を更に含み、
前記第２位置検出器は、前記第２検出対象の位置を検出する際に前記第２検出対象を照明する第２照明系を更に含み、
前記第２照明系は、前記第１イメージセンサを撮像する際に前記第１光学系を介して前記第１イメージセンサを照明する、
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記第１部材と前記第２部材との相対位置を変更する駆動機構を更に備える、
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記第１部材を保持する保持部を更に備え、
前記駆動機構は、前記保持部を駆動するアクチュエータを含む、
ことを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記保持部は、前記第２位置検出器を支持する、
ことを特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記プロセッサは、前記第１位置検出器を使って検出された前記第１検出対象の位置、前記第２位置検出器を使って検出された前記第２検出対象の位置、および、前記第２イメージセンサによって撮像された前記第１イメージセンサの画像に基づいて検出された前記第１位置検出器の位置に基づいて、前記第１検出対象と前記第２検出対象との相対位置を検出する、
ことを特徴とする請求項２に記載の装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、装置および物品製造方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、位置検出装置が記載されている。位置検出装置は、下基準観察器および上基準観察器を備える。位置検出装置において光軸調整を行う場合、下基準観察器と上基準観察器との間に拡散板が設置され、調整用指標が拡散板に投影される。拡散板に投影された調整用指標が上基準観察器の撮像部および下基準観察器の撮像部によって撮像される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第５６００９５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された位置検出装置では、光軸調整のために下基準観察器と上基準観察器との間に拡散板を配置し、拡散板に指標を投影する必要があるので、位置検出装置の構成が複雑になりうる。
【０００５】
本発明は、２つの位置検出器の相対位置の検出に有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の１つの側面は、第１部材の第１検出対象の位置を検出するための第１位置検出器と、前記第１部材に対向して配置される第２部材の第２検出対象の位置を検出するための第２位置検出器と、を備える装置に関する。前記第１位置検出器は、第１イメージセンサと、前記第１イメージセンサの撮像面に前記第１検出対象の像を形成する第１光学系とを含みうる。前記第２位置検出器は、第２イメージセンサと、前記第２イメージセンサの撮像面に前記第２検出対象の像を形成する第２光学系とを含みうる。前記第１位置検出器および前記第２位置検出器は、前記第２イメージセンサによって前記第１光学系および前記第２光学系を介して前記第１イメージセンサを撮像することができるように構成されうる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、２つの位置検出器の相対位置の検出に有利な技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
一実施形態に係る装置の構成を模式的に示す図。
図１に示された装置の一部分を模式的に示す図。
第２イメージセンサによって第１イメージセンサの撮像領域の撮像を模式的に示す図。
第２イメージセンサによって撮像された第１イメージセンサの画像からの第１イメージセンサの撮像領域のＸ方向位置を計算する方法を模式的に示す図。
第２イメージセンサによって撮像された第１イメージセンサの画像からの第１イメージセンサの撮像領域のＸ、Ｙ方向位置を計算する方法を模式的に示す図。
吐出ヘッドのＸ、Ｙ方向位置を検出する様子を模式的に示す図。
基板のＸ、Ｙ方向位置を検出する様子を模式的に示す図。
第２イメージセンサによって第１イメージセンサの画像に基づいて第１イメージセンサの位置を検出する他の方法を説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
【００１０】
図１には、一実施形態の装置１の構成が模式的に示されている。装置１は、例えば、インク４を吐出する吐出ヘッド５（第２部材）によって基板２（第１部材）にインク４を配置あるいは供給する装置（プリンタ）として構成されうるが、他の装置として構成されてもよい。他の装置は、第１部材と第２部材との相対的な位置の制御を含むあらゆる装置でありうる。吐出ヘッド５（第２部材）は、基板２（第１部材）に対向して配置される部材である。以下では、装置１がプリンタとして構成された例を説明する。プリンタの概念は、インクを基板（第１部材）に配置あるいは供給するあらゆる装置を含みうる。インクは、液体であり、例えば、液滴の形式で基板（第１部材）に配置あるいは供給されうる。インクの構成材料は特定の物質に限定されないが、機能素子を製造する際には、例えば、有機ＥＬ材料または量子ドット材料といった機能性材料が使用されうる。本明細書および図面では、ＸＹＺ座標系によって方向が説明される。ここでは、基板２が配置される面は、ＸＹ平面に平行な面である。
（【００１１】以降は省略されています）

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