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公開番号2024082419
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-20
出願番号2022196254
出願日2022-12-08
発明の名称プローブ
出願人株式会社日本マイクロニクス
代理人個人,個人
主分類G01R 1/067 20060101AFI20240613BHJP(測定;試験)
要約【課題】湾曲させたときの機械的強度を向上させたプローブを提供する。
【解決手段】プローブは、接触部、湾曲部、および接触部と湾曲部を連結する連結部が軸方向に接続された構造を含む柱形状である。湾曲部と連結部の軸方向に垂直な断面は、第1の部材と第1の部材よりも硬度が低い第2の部材とが混在した構造である。断面における第1の部材に対する第2の部材の面積比は、連結部よりも湾曲部の方が高い。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
検査対象物の電気的特性の検査に使用されるプローブであって、
接触部、湾曲部、および前記接触部と前記湾曲部を連結する連結部が軸方向に接続された構造を含む柱形状であり、
前記湾曲部と前記連結部の前記軸方向に垂直な断面は、第１の部材と前記第１の部材よりも硬度が低い第２の部材とが混在した構造であり、
前記断面における前記第１の部材に対する前記第２の部材の面積比が、前記連結部よりも前記湾曲部の方が高い、
プローブ。
続きを表示（約 520 文字）【請求項２】
前記接触部の剛性は前記連結部の剛性よりも高い、請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
第１の前記接触部、第１の前記連結部、前記湾曲部、第２の前記連結部および第２の前記接触部が前記軸方向に沿って順に接続されている、請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項４】
前記断面が、前記第１の部材により前記第２の部材が挟まれる構造を含む、請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項５】
前記連結部では、前記第２の部材は前記第１の部材に周囲を囲まれている、請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項６】
前記連結部と接続する前記湾曲部の接続領域の前記断面の面積が、前記接続領域を除いた前記湾曲部の残余の領域の前記断面の面積よりも小さい、請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項７】
前記接触部の一部の領域の周囲が、前記接触部よりも硬度の高い保護材で覆われている、請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項８】
前記保護材が、前記接触部と前記連結部の接続部分を超えて前記連結部の一部を覆っている、請求項７に記載のプローブ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の電気的特性の検査に使用するプローブに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路などの検査対象物の電気的特性をウェハ状態で検査するために、プローブを含む電気的接続装置が使用されている。プローブを用いた検査では、プローブの一方の端部を検査対象物の電極パッドに接触させ、プローブの他方の端部を、プリント基板などに配置された端子（以下において「ランド」という。）に接触させる。ランドは、テスタなどの検査装置と電気的に接続される。
【０００３】
検査対象物の検査において、プローブを電極パッドに接触させた後に、更に電気的接続装置と検査対象物を近づけてプローブを弾性変形により湾曲させる処理が行われている。プローブを湾曲させることにより、プローブの弾性力によって電極パッドおよびランドにプローブを安定して接触させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１８－９１８７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
検査対象物の電極パッドの狭ピッチ化により、プローブの細径化の要求がある。しかし、プローブの細径化に伴い、プローブを湾曲させたときのプローブの機械的強度が低下する問題が生じる。本発明は、湾曲させたときの機械的強度を向上させたプローブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係るプローブは、接触部、湾曲部、および接触部と湾曲部を連結する連結部が軸方向に接続された構造を含む柱形状である。湾曲部と連結部の軸方向に垂直な断面は、第１の部材と第１の部材よりも硬度が低い第２の部材とが混在した構造である。断面における第１の部材に対する第２の部材の面積比は、連結部よりも湾曲部の方が高い。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、湾曲させたときの機械的強度を向上させたプローブを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の実施形態に係るプローブの構成を示す模式図である。
図１のＩＩ－ＩＩ方向に沿った模式的な断面図である。
図１のＩＩＩ－ＩＩＩ方向に沿った模式的な断面図である。
図１のＩＶ－ＩＶ方向に沿った模式的な断面図である。
図１のＶ－Ｖ方向に沿った模式的な断面図である。
本発明の実施形態に係るプローブを有する電気的接続装置の構成を示す模式図である。
本発明の実施形態の変形例に係るプローブを有する電気的接続装置の構成を示す模式図である。
図７のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ方向に沿った模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置および製造方法などを下記のものに特定するものでない。
【００１０】
図１に示す実施形態に係るプローブ１は、検査対象物の電気的特性の検査に使用される。プローブ１は、第１の接触部１１１、第１の連結部１２１、湾曲部１３、第２の連結部１２２および第２の接触部１１２が軸方向に沿って順に接続された構造を含む柱形状である。以下、第１の接触部１１１と第２の接触部１１２のそれぞれを限定しない場合には、接触部１１と表記する。また、第１の連結部１２１と第２の連結部１２２のそれぞれを限定しない場合には、連結部１２と表記する。言い換えると、プローブ１は、接触部１１、湾曲部１３、および接触部１１と湾曲部１３を連結する連結部１２を含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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