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公開番号2024070726
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-23
出願番号2022181408
出願日2022-11-11
発明の名称EBSD測定用圧縮曲げ治具及びEBSD測定方法
出願人JX金属株式会社,株式会社TSLソリューションズ
代理人アクシス国際弁理士法人
主分類G01N 3/04 20060101AFI20240516BHJP(測定;試験)
要約【課題】金属板、又は、金属板と樹脂基材との積層板の曲げ挙動を効率的に定点観測することが可能な後方散乱電子回折(EBSD:Electron Backscatter Diffraction)測定用圧縮曲げ治具及びEBSD測定方法を提供する。
【解決手段】EBSD測定用圧縮曲げ治具は、金属板又は積層板を曲げ中心の両側から挟み込む構造を有する一対の曲げ用金型を設置して圧縮するためのEBSD測定用圧縮曲げ治具である。EBSD測定用圧縮曲げ治具は、それぞれ一対の曲げ用金型の一方または他方を支持するための一対の金型支持部を備えた、一対の圧縮曲げ部材で構成されており、一対の圧縮曲げ部材は、それぞれ金型支持部の端部を互いに離反する方向にスライドさせることで、一対の曲げ用金型を互いに近接させるように構成されている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
金属板又は積層板を曲げ中心の両側から挟み込む構造を有する一対の曲げ用金型を設置して圧縮するためのＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具であり、
前記ＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具は、それぞれ前記一対の曲げ用金型の一方または他方を支持するための一対の金型支持部を備えた、一対の圧縮曲げ部材で構成されており、
前記一対の圧縮曲げ部材は、それぞれ前記金型支持部の端部を互いに離反する方向にスライドさせることで、前記一対の曲げ用金型を互いに近接させるように構成されている、ＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記一対の曲げ用金型の一方または他方を係止するための金型係止部を更に備えた、請求項１に記載のＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具。
【請求項３】
前記一対の圧縮曲げ部材の一方の金型支持部は所定の間隔を空けて並設された二本の分割支持部を有し、他方の金型支持部を前記二本の分割支持部の間にスライドさせることで、前記一対の圧縮曲げ部材同士が嵌合するように構成されている、請求項１に記載のＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具。
【請求項４】
前記一対の曲げ用金型が、一対の１８０度曲げ用金型または一対のＷ曲げ用金型である、請求項１に記載のＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具。
【請求項５】
ＳＥＭ装置の測定ステージに設置できるサイズを有する請求項１に記載のＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具。
【請求項６】
前記金属板、又は、前記積層板における前記金属板の厚さが０．１ｍｍ以下である請求項１に記載のＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具。
【請求項７】
前記金属板、又は、前記積層板における前記金属板が、銅板または銅合金板である請求項１に記載のＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具。
【請求項８】
金属板又は積層板を曲げ中心の両側から挟み込む構造を有する一対の曲げ用金型を設置した請求項１～７のいずれか一項に記載のＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具を準備する工程と、
前記一対の圧縮曲げ部材の金型支持部の端部を互いに離反する方向に段階的にスライドさせることで、前記一対の曲げ用金型を互いに段階的に近接させて、前記金属板または前記積層板の曲げ挙動を段階的に定点観測する工程と、
を含む、ＥＢＳＤ測定方法。
【請求項９】
ＳＥＭ装置内に設けられた、前記ＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具の前記一対の圧縮曲げ部材の金型支持部の端部をそれぞれ保持する一対の保持部、及び、前記保持部を互いに離反する方向に駆動する駆動機構を有する測定ステージに、前記一対の曲げ用金型を設置したＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具を設ける工程と、
前記測定ステージの前記駆動機構によって前記保持部を駆動させて、前記一対の圧縮曲げ部材の金型支持部の端部を互いに離反する方向に段階的にスライドさせることで、前記一対の曲げ用金型を互いに段階的に近接させて、前記金属板または前記積層板の曲げ挙動を段階的に定点観測する工程と、
を含む、請求項８に記載のＥＢＳＤ測定方法。
【請求項１０】
前記測定ステージの前記駆動機構を自動制御によって駆動させる、請求項９に記載のＥＢＳＤ測定方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明はＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具及びＥＢＳＤ測定方法に関する。
続きを表示（約 2,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、金属板、又は、金属板と樹脂基材との積層板をサンプルとして曲げ試験を行い、金属板と樹脂との密着性、樹脂及び金属板の亀裂状況の評価を行っている。
【０００３】
例えば、銅箔や銅張積層板をサンプルとした曲げ試験方法については、日本伸銅協会技術標準（ＪＣＢＡ）Ｔ３０７：２００７「銅および銅合金薄板条の曲げ加工性評価方法」、又は、「ＪＩＳＺ２２４８曲げ試験方法」などが知られている。
【０００４】
また、特許文献１には、試験対象である試験片の両側をそれぞれ固定する一次治具と、前記一次治具の上面２か所と下面２か所に荷重を負荷する負荷部を備えた上治具と、前記一次治具の上面２か所と下面２か所に荷重を負荷する負荷部を備えた下治具とを備えた試験治具によって行う曲げ試験方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１８－１１２４９９号公報
特許第５００１７４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の曲げ治具による銅箔や銅張積層板などの曲げ試験では、サンプルを所望の角度に曲げた後に生じる屈曲部の状態（銅箔と樹脂との密着性、樹脂および銅箔の亀裂状況）などを評価している。
【０００７】
しかしながら、従来の曲げ治具による銅箔や銅張積層板などの曲げ試験では、銅箔や銅張積層板などを曲げる際の曲げ挙動（銅箔と樹脂との密着性、樹脂および銅箔の亀裂状況および曲げによる銅箔の結晶方位などの変化）について着目しておらず、そのような曲げ挙動を定点観測することはできていなかった。
【０００８】
また、サンプルの曲げ挙動は、別途設けられた走査電子顕微鏡（ＳＥＭ：Scanning Electron Microscope）装置で観察するが、従来の曲げ治具はＳＥＭ装置内に設けることができず、サンプルをＳＥＭ装置内で観察した後、次の曲げ試験のために一旦ＳＥＭ装置から取り出す必要がある。このため、従来の曲げ治具では、サンプルの曲げ挙動を効率的に観察することが困難である。
【０００９】
そこで、本発明の実施形態は、金属板、又は、金属板と樹脂基材との積層板の曲げ挙動を効率的に定点観測することが可能な後方散乱電子回折（ＥＢＳＤ：Electron Backscatter Diffraction）測定用圧縮曲げ治具及びＥＢＳＤ測定方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題は、以下のように特定される本発明によって解決される。
（１）金属板又は積層板を曲げ中心の両側から挟み込む構造を有する一対の曲げ用金型を設置して圧縮するためのＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具であり、
前記ＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具は、それぞれ前記一対の曲げ用金型の一方または他方を支持するための一対の金型支持部を備えた、一対の圧縮曲げ部材で構成されており、
前記一対の圧縮曲げ部材は、それぞれ前記金型支持部の端部を互いに離反する方向にスライドさせることで、前記一対の曲げ用金型を互いに近接させるように構成されている、ＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具。
（２）前記一対の曲げ用金型の一方または他方を係止するための金型係止部を更に備えた、（１）に記載のＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具。
（３）前記一対の圧縮曲げ部材の一方の金型支持部は所定の間隔を空けて並設された二本の分割支持部を有し、他方の金型支持部を前記二本の分割支持部の間にスライドさせることで、前記一対の圧縮曲げ部材同士が嵌合するように構成されている、（１）または（２）に記載のＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具。
（４）前記一対の曲げ用金型が、一対の１８０度曲げ用金型または一対のＷ曲げ用金型である、（１）～（３）のいずれかに記載のＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具。
（５）ＳＥＭ装置の測定ステージに設置できるサイズを有する（１）～（４）のいずれかに記載のＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具。
（６）前記金属板、又は、前記積層板における前記金属板の厚さが０．１ｍｍ以下である（１）～（５）のいずれかに記載のＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具。
（７）前記金属板、又は、前記積層板における前記金属板が、銅板または銅合金板である（１）～（６）のいずれかに記載のＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具。
（８）金属板又は積層板を曲げ中心の両側から挟み込む構造を有する一対の曲げ用金型を設置した（１）～（７）のいずれかに記載のＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具を準備する工程と、
前記一対の圧縮曲げ部材の金型支持部の端部を互いに離反する方向に段階的にスライドさせることで、前記一対の曲げ用金型を互いに段階的に近接させて、前記金属板または前記積層板の曲げ挙動を段階的に定点観測する工程と、
を含む、ＥＢＳＤ測定方法。
（９）ＳＥＭ装置内に設けられた、前記ＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具の前記一対の圧縮曲げ部材の金型支持部の端部をそれぞれ保持する一対の保持部、及び、前記保持部を互いに離反する方向に駆動する駆動機構を有する測定ステージに、前記一対の曲げ用金型を設置したＥＢＳＤ測定用圧縮曲げ治具を設ける工程と、
前記測定ステージの前記駆動機構によって前記保持部を駆動させて、前記一対の圧縮曲げ部材の金型支持部の端部を互いに離反する方向に段階的にスライドさせることで、前記一対の曲げ用金型を互いに段階的に近接させて、前記金属板または前記積層板の曲げ挙動を段階的に定点観測する工程と、
を含む、（８）に記載のＥＢＳＤ測定方法。
（１０）前記測定ステージの前記駆動機構を自動制御によって駆動させる、（９）に記載のＥＢＳＤ測定方法。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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