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公開番号2024066899
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-16
出願番号2022176684
出願日2022-11-02
発明の名称検出装置
出願人太陽誘電株式会社
代理人個人
主分類G01N 5/02 20060101AFI20240509BHJP(測定;試験)
要約【課題】弾性波共振器と外部との熱的な干渉を抑制することが可能な検出装置を提供する。
【解決手段】検出装置は、上面と、前記上面と対向する下面と、を有する基板10と、前記上面の実装エリアに設けられる弾性波共振器21と、前記実装エリアを囲み、前記実装エリアと外側とを熱的に分離する第1スリット14aと、前記第1スリットに囲まれた第1部分と、前記第1スリットの外側の第2部分と、を有し、前記上面に設けられたベタ導電体層からなる第1グランドパターンGaと、前記弾性波共振器の共振周波数に基づき、流体中の物質を検出する検出回路と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
上面と、前記上面と対向する下面と、を有する基板と、
前記上面の実装エリアに設けられる弾性波共振器と、
前記実装エリアを囲み、前記実装エリアと外側とを熱的に分離する第1スリットと、前記第1スリットに囲まれた第1部分と、前記第1スリットの外側の第2部分と、を有し、前記上面に設けられたベタ導電体層からなる第1グランドパターンと、
前記弾性波共振器の共振周波数に基づき、流体中の物質を検出する検出回路と、
を備える検出装置。
続きを表示(約 440 文字)【請求項2】
前記第1グランドパターンは、前記第1部分と前記第2部分とを電気的に接続するブリッジを有する請求項1に記載の検出装置。
【請求項3】
前記基板の内層に、平面視において前記第1グランドパターンと重なって設けられた第2グランドパターンと、
平面視において、前記ブリッジまたはその近傍に、前記第1グランドパターンと前記第2グランドパターンとを電気的に接続する、内部に金属層が設けられたコンタクトホールを備える請求項2に記載の検出装置。
【請求項4】
平面視において前記実装エリアと重なる前記下面に、前記弾性波共振器を駆動する電源回路または前記弾性波共振器を発振させる発振回路が設けられる請求項3記載の検出装置。
【請求項5】
前記電源回路または前記発振回路を囲み、前記電源回路または前記発振回路と外側とを熱的に分離する第2スリットとを有し、前記下面に設けられた第3グランドパターンを備える請求項4に記載の検出装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、検出装置に関し、例えば弾性波共振器を有する検出装置に関する。
続きを表示(約 1,300 文字)【背景技術】
【0002】
気体または液体等の流体内の特定物質を検出する検出装置として、弾性波共振器を用いる検出装置が知られている(例えば特許文献1)。プリント基板のグランドパターンにスリットを設けることが知られている(例えば特許文献2)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2018-115927号公報
特開2019-140135号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)等のBAW(Bulk Acoustic Wave)共振器またはSAW(Surface Acoustic Wave)共振器などの共振周波数は、QCM(Quartz Crystal Microbalance)を用いた共振器の共振周波数より高い。高周波特性を考慮すると、コプレーナ導波路のように、信号線を囲むようにグランドパターンを配置する構成となる。このため、弾性波共振器を搭載する基板の表面にグランドパターンが設けられる。また、グランドパターンを介し、弾性波共振器と弾性波共振器の外の回路等とが熱的に干渉しやすい。
【0005】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、弾性波共振器と外部との熱的な干渉を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、上面と、前記上面と対向する下面と、を有する基板と、前記上面の実装エリアに設けられる弾性波共振器と、前記実装エリアを囲み、前記実装エリアと外側とを熱的に分離する第1スリットと、前記第1スリットに囲まれた第1部分と、前記第1スリットの外側の第2部分と、を有し、前記上面に設けられたベタ導電体層からなる第1グランドパターンと、前記弾性波共振器の共振周波数に基づき、流体中の物質を検出する検出回路と、を備える検出装置である。
【0007】
上記構成において、前記第1グランドパターンは、前記第1部分と前記第2部分とを電気的に接続するブリッジを有する構成とすることができる。
【0008】
上記構成において、前記基板の内層に、平面視において前記第1グランドパターンと重なって設けられた第2グランドパターンと、平面視において、前記ブリッジまたはその近傍に、前記第1グランドパターンと前記第2グランドパターンとを電気的に接続する、内部に金属層が設けられたコンタクトホールを備える構成とすることができる。
【0009】
上記構成において、平面視において前記実装エリアと重なる前記下面に、前記弾性波共振器を駆動する電源回路または前記弾性波共振器を発振させる発振回路が設けられる構成とすることができる。
【0010】
上記構成において、前記電源回路または前記発振回路を囲み、前記電源回路または前記発振回路と外側とを熱的に分離する第2スリットとを有し、前記下面に設けられた第3グランドパターンを備える構成とすることができる。
【発明の効果】
(【0011】以降は省略されています)

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