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公開番号2024067286
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-17
出願番号2022177240
出願日2022-11-04
発明の名称オイル封入方法
出願人アズビル株式会社
代理人個人
主分類G01L 13/02 20060101AFI20240510BHJP(測定;試験)
要約【課題】オイル封入空間にオイルを導入して満たした後、オイル導入孔を封止するまでの間、満たしたオイルの減少を抑制する。
【解決手段】オイル導入路105および第1ダイアフラム室103a,第2ダイアフラム室103bにオイルを導入した直後から、オイルの揮発が抑制された空間であるチャンバー141に基板101を配置する(第3工程)。基板101を配置する空間は、陽圧状態およびオイルの蒸気が含まれた状態の少なくとも1つとすることができる。この後、オイル導入路105、第1ダイアフラム室103a、第2ダイアフラム室103bにオイルが導入された状態で、オイル導入孔104を封止する。
【選択図】 図1C
特許請求の範囲【請求項1】
基板の一方の面にダイアフラムを形成し、前記ダイアフラムの内側の面に圧力を導入するためのダイアフラム室を形成し、前記ダイアフラム室に連通して前記基板の他方の面にオイル導入孔を有するオイル導入路を形成する第1工程と、
前記基板の他方の面から、前記オイル導入孔にオイルを供給して前記オイル導入路および前記ダイアフラム室に導入する第2工程と、
前記オイル導入路および前記ダイアフラム室に前記オイルを導入した直後から、前記オイルの揮発が抑制された空間に前記基板を配置する第3工程と、
前記空間に前記基板を配置した後、前記空間で前記オイル導入孔を封止する第4工程と
を備えるオイル封入方法。
続きを表示(約 260 文字)【請求項2】
請求項1記載のオイル封入方法において、
前記空間は、陽圧状態および前記オイルの蒸気が含まれた状態の少なくとも1つとされていることを特徴とするオイル封入方法。
【請求項3】
請求項1記載のオイル封入方法において、
前記空間は、密閉可能とされたチャンバーの内部空間であることを特徴とするオイル封入方法。
【請求項4】
請求項3記載のオイル封入方法において、
前記チャンバーは、前記内部空間を真空排気可能とされていることを特徴とするオイル封入方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、オイル封入方法に関する。
続きを表示(約 1,300 文字)【背景技術】
【0002】
例えば、工業用の差圧計では、一方のダイアフラムに加えられた圧力を他方のダイアフラムに伝達させるために、2つのダイアフラム室およびこれらを連通する連通路を、オイルなどによる圧力伝達物質で満たしている。また、2つのダイアフラム室および連通路に満たしたオイルは、これらの空間に封入するため、オイルの導入孔を、封止部材で封止している(特許文献1)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2018-159593号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
圧力伝達物質としてシリコーンオイルやフッ素オイルなどが用いられるが、これらオイルは蒸発する。このため、2つのダイアフラム室および連通路にオイルを満たした後、封止完了まで時間を要してしまうと、2つのダイアフラム室および連通路に満たしたオイルが減少し、例えば連通路上端よりオイル液面が下降する場合が発生する。この状態で封止をすると、封止された領域(オイル封入空間)に気泡が混入し、圧力が正しく伝達できなくなる懸念がある。
【0005】
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、オイル封入空間にオイルを導入して満たした後、オイル導入孔を封止するまでの間、満たしたオイルの減少を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明に係るオイル封入方法は、基板の一方の面にダイアフラムを形成し、ダイアフラムの内側の面に圧力を導入するためのダイアフラム室を形成し、ダイアフラム室に連通して基板の他方の面にオイル導入孔を有するオイル導入路を形成する第1工程と、基板の他方の面から、オイル導入孔にオイルを供給してオイル導入路およびダイアフラム室に導入する第2工程と、オイル導入路およびダイアフラム室にオイルを導入した直後から、オイルの揮発が抑制された空間に基板を配置する第3工程と、空間に基板を配置した後、空間でオイル導入孔を封止する第4工程とを備える。
【0007】
上記オイル封入方法の一構成例において、空間は、陽圧状態およびオイルの蒸気が含まれた状態の少なくとも1つとされている。
【0008】
上記オイル封入方法の一構成例において、空間は、密閉可能とされたチャンバーの内部空間である。
【0009】
上記オイル封入方法の一構成例において、チャンバーは、内部空間を真空排気可能とされている。
【発明の効果】
【0010】
以上説明したように、本発明によれば、オイル導入路およびダイアフラム室にオイルを導入した直後から、オイルの揮発が抑制された空間に基板を配置して、この空間でオイル導入孔を封止するので、オイル封入空間にオイルを導入して満たした後、オイル導入孔を封止するまでの間、満たしたオイルの減少を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
(【0011】以降は省略されています)

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