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公開番号2024065904
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-15
出願番号2022174990
出願日2022-10-31
発明の名称検出装置
出願人太陽誘電株式会社
代理人個人
主分類G01N 5/02 20060101AFI20240508BHJP(測定;試験)
要約【課題】温度または湿度に基づく補正を適正に行うことが可能な検出装置を提供する。
【解決手段】検出装置は、流体が供給されるチャンバ内に設けられ、感応膜を有する第1センサ10と、前記流体における温度および湿度の少なくとも一方の指標を検出する第2センサ18と、第1補正係数に基づき、前記第1センサが出力する第1出力値を前記第2センサが出力する第2出力値を用いて補正値を生成する補正部32と、前記補正値に基づき前記流体に関する情報を算出する算出部36と、前記第1センサが駆動する期間における、前記第1出力値の時間に対する第1データ列と前記第1データ列に関係付けられ前記第2出力値の時間に対する第2データ列との関係に基づき第2補正係数を算出し、前記第1補正係数を前記第2補正係数に更新する更新部34と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
流体が供給されるチャンバ内に設けられ、感応膜を有する第１センサと、
前記流体における温度および湿度の少なくとも一方の指標を検出する第２センサと、
第１補正係数に基づき、前記第１センサが出力する第１出力値を前記第２センサが出力する第２出力値を用いて補正値を生成する補正部と、
前記補正値に基づき前記流体に関する情報を算出する算出部と、
前記第１センサが駆動する期間における、前記第１出力値の時間に対する第１データ列と前記第１データ列に関係付けられ前記第２出力値の時間に対する第２データ列との関係に基づき第２補正係数を算出し、前記第１補正係数を前記第２補正係数に更新する更新部と、
を備える検出装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記指標を変化させる素子を備え、
前記更新部は、前記第１センサが駆動し、かつ前記素子が駆動する期間における前記関係に基づき前記第２補正係数を算出する請求項１に記載の検出装置。
【請求項３】
前記素子は、前記流体を前記第１センサおよび前記第２センサに供給するポンプである請求項２に記載の検出装置。
【請求項４】
前記更新部は、前記第１センサが駆動し、かつ前記素子が駆動する前の前記素子が駆動しない第１期間、前記第１センサが駆動し、かつ前記素子が駆動する第２期間、および前記第１センサが駆動し、かつ前記素子が駆動した後の前記素子が駆動しない第３期間、の少なくとも２つの期間における前記関係に基づき前記第２補正係数を算出する請求項２または３に記載の検出装置。
【請求項５】
前記更新部は、前記少なくとも２つの期間において、対応する前記第２補正係数を算出し、算出された前記対応する第２補正係数を比較することで、前記対応する第２補正係数が正常か否かを判定する請求項４に記載の検出装置。
【請求項６】
前記第１センサは複数設けられ、
前記補正部は、複数の前記第１補正係数のうち対応する第１補正係数に基づき、対応する第１センサが出力する前記第１出力値を、前記第２出力値を用いて補正することで、複数の前記補正値のうち対応する補正値を生成する処理を、前記複数の第１センサに対し実行し、
前記算出部は、前記複数の補正値に基づき前記情報を算出する請求項１から３のいずれか一項に記載の検出装置。
【請求項７】
前記更新部は、
前記複数の第１センサのうち対応する第１センサの前記第１データ列と前記第２データ列との関係に基づき、複数の前記第２補正係数のうち対応する第２補正係数を算出する処理を、前記複数の第１センサに対し行い、
前記複数の第１補正係数を前記複数の第２補正係数にそれぞれ更新する請求項６に記載の検出装置。
【請求項８】
前記第１センサを搭載する基板と、
前記基板における前記第１センサおよび前記第２センサが搭載される面と反対の面に設けられ、前記ポンプを駆動させる駆動回路と、
を備える請求項３に記載の検出装置。
【請求項９】
前記第１センサおよび前記第２センサが設けられる第１空間と、
前記第１空間と前記ポンプとの間に設けられ、前記流体の流れる方向に対し直交する断面積が前記第１空間における前記方向に直交する断面積より大きい第２空間と、
を備える請求項３に記載の検出装置。
【請求項１０】
前記更新部は、前記第１データ列と前記第２データ列とを回帰分析することで、前記第２補正係数を算出する請求項１から３のいずれか一項に記載の検出装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出装置に関し、例えば感応膜を有する検出装置に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
気体中の物質を検出するセンサとして、感応膜を有するセンサが知られている。温度および湿度に基づき、センサの出力値を補正することが知られている（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－４８９３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
温度および湿度に基づき、センサの出力値を補正することで、温度および湿度による影響を抑制できることができる。しかしながら、センサの使用とともに感応膜の物性または構造が変化すると、温度および湿度に対するセンサの出力値の振る舞いが変化することがある。このため、センサの出力値を適切に補正できなくなる。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、温度または湿度に基づく補正を適正に行うことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、流体が供給されるチャンバ内に設けられ、感応膜を有する第１センサと、前記流体における温度および湿度の少なくとも一方の指標を検出する第２センサと、第１補正係数に基づき、前記第１センサが出力する第１出力値を前記第２センサが出力する第２出力値を用いて補正値を生成する補正部と、前記補正値に基づき前記流体に関する情報を算出する算出部と、前記第１センサが駆動する期間における、前記第１出力値の時間に対する第１データ列と前記第１データ列に関係付けられ前記第２出力値の時間に対する第２データ列との関係に基づき第２補正係数を算出し、前記第１補正係数を前記第２補正係数に更新する更新部と、を備える検出装置である。
【０００７】
上記構成において、前記指標を変化させる素子を備え、前記更新部は、前記第１センサが駆動し、かつ前記素子が駆動する期間における前記関係に基づき前記第２補正係数を算出する構成とすることができる。
【０００８】
上記構成において、前記素子は、前記流体を前記第１センサおよび前記第２センサに供給するポンプである構成とすることができる。
【０００９】
上記構成において、前記更新部は、前記第１センサが駆動し、かつ前記素子が駆動する前の前記素子が駆動しない第１期間、前記第１センサが駆動し、かつ前記素子が駆動する第２期間、および前記第１センサが駆動し、かつ前記素子が駆動した後の前記素子が駆動しない第３期間、の少なくとも２つの期間における前記関係に基づき前記第２補正係数を算出する構成とすることができる。
【００１０】
上記構成において、前記更新部は、前記少なくとも２つの期間において、対応する前記第２補正係数を算出し、算出された前記対応する第２補正係数を比較することで、前記対応する第２補正係数が正常か否かを判定する構成とすることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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