TOP特許意匠商標
特許ウォッチ Twitter
10個以上の画像は省略されています。
公開番号2024065904
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-15
出願番号2022174990
出願日2022-10-31
発明の名称検出装置
出願人太陽誘電株式会社
代理人個人
主分類G01N 5/02 20060101AFI20240508BHJP(測定;試験)
要約【課題】温度または湿度に基づく補正を適正に行うことが可能な検出装置を提供する。
【解決手段】検出装置は、流体が供給されるチャンバ内に設けられ、感応膜を有する第1センサ10と、前記流体における温度および湿度の少なくとも一方の指標を検出する第2センサ18と、第1補正係数に基づき、前記第1センサが出力する第1出力値を前記第2センサが出力する第2出力値を用いて補正値を生成する補正部32と、前記補正値に基づき前記流体に関する情報を算出する算出部36と、前記第1センサが駆動する期間における、前記第1出力値の時間に対する第1データ列と前記第1データ列に関係付けられ前記第2出力値の時間に対する第2データ列との関係に基づき第2補正係数を算出し、前記第1補正係数を前記第2補正係数に更新する更新部34と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項1】
流体が供給されるチャンバ内に設けられ、感応膜を有する第1センサと、
前記流体における温度および湿度の少なくとも一方の指標を検出する第2センサと、
第1補正係数に基づき、前記第1センサが出力する第1出力値を前記第2センサが出力する第2出力値を用いて補正値を生成する補正部と、
前記補正値に基づき前記流体に関する情報を算出する算出部と、
前記第1センサが駆動する期間における、前記第1出力値の時間に対する第1データ列と前記第1データ列に関係付けられ前記第2出力値の時間に対する第2データ列との関係に基づき第2補正係数を算出し、前記第1補正係数を前記第2補正係数に更新する更新部と、
を備える検出装置。
続きを表示(約 1,200 文字)【請求項2】
前記指標を変化させる素子を備え、
前記更新部は、前記第1センサが駆動し、かつ前記素子が駆動する期間における前記関係に基づき前記第2補正係数を算出する請求項1に記載の検出装置。
【請求項3】
前記素子は、前記流体を前記第1センサおよび前記第2センサに供給するポンプである請求項2に記載の検出装置。
【請求項4】
前記更新部は、前記第1センサが駆動し、かつ前記素子が駆動する前の前記素子が駆動しない第1期間、前記第1センサが駆動し、かつ前記素子が駆動する第2期間、および前記第1センサが駆動し、かつ前記素子が駆動した後の前記素子が駆動しない第3期間、の少なくとも2つの期間における前記関係に基づき前記第2補正係数を算出する請求項2または3に記載の検出装置。
【請求項5】
前記更新部は、前記少なくとも2つの期間において、対応する前記第2補正係数を算出し、算出された前記対応する第2補正係数を比較することで、前記対応する第2補正係数が正常か否かを判定する請求項4に記載の検出装置。
【請求項6】
前記第1センサは複数設けられ、
前記補正部は、複数の前記第1補正係数のうち対応する第1補正係数に基づき、対応する第1センサが出力する前記第1出力値を、前記第2出力値を用いて補正することで、複数の前記補正値のうち対応する補正値を生成する処理を、前記複数の第1センサに対し実行し、
前記算出部は、前記複数の補正値に基づき前記情報を算出する請求項1から3のいずれか一項に記載の検出装置。
【請求項7】
前記更新部は、
前記複数の第1センサのうち対応する第1センサの前記第1データ列と前記第2データ列との関係に基づき、複数の前記第2補正係数のうち対応する第2補正係数を算出する処理を、前記複数の第1センサに対し行い、
前記複数の第1補正係数を前記複数の第2補正係数にそれぞれ更新する請求項6に記載の検出装置。
【請求項8】
前記第1センサを搭載する基板と、
前記基板における前記第1センサおよび前記第2センサが搭載される面と反対の面に設けられ、前記ポンプを駆動させる駆動回路と、
を備える請求項3に記載の検出装置。
【請求項9】
前記第1センサおよび前記第2センサが設けられる第1空間と、
前記第1空間と前記ポンプとの間に設けられ、前記流体の流れる方向に対し直交する断面積が前記第1空間における前記方向に直交する断面積より大きい第2空間と、
を備える請求項3に記載の検出装置。
【請求項10】
前記更新部は、前記第1データ列と前記第2データ列とを回帰分析することで、前記第2補正係数を算出する請求項1から3のいずれか一項に記載の検出装置。
(【請求項11】以降は省略されています)

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、検出装置に関し、例えば感応膜を有する検出装置に関する。
続きを表示(約 1,200 文字)【背景技術】
【0002】
気体中の物質を検出するセンサとして、感応膜を有するセンサが知られている。温度および湿度に基づき、センサの出力値を補正することが知られている(例えば特許文献1)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2018-48930号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
温度および湿度に基づき、センサの出力値を補正することで、温度および湿度による影響を抑制できることができる。しかしながら、センサの使用とともに感応膜の物性または構造が変化すると、温度および湿度に対するセンサの出力値の振る舞いが変化することがある。このため、センサの出力値を適切に補正できなくなる。
【0005】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、温度または湿度に基づく補正を適正に行うことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、流体が供給されるチャンバ内に設けられ、感応膜を有する第1センサと、前記流体における温度および湿度の少なくとも一方の指標を検出する第2センサと、第1補正係数に基づき、前記第1センサが出力する第1出力値を前記第2センサが出力する第2出力値を用いて補正値を生成する補正部と、前記補正値に基づき前記流体に関する情報を算出する算出部と、前記第1センサが駆動する期間における、前記第1出力値の時間に対する第1データ列と前記第1データ列に関係付けられ前記第2出力値の時間に対する第2データ列との関係に基づき第2補正係数を算出し、前記第1補正係数を前記第2補正係数に更新する更新部と、を備える検出装置である。
【0007】
上記構成において、前記指標を変化させる素子を備え、前記更新部は、前記第1センサが駆動し、かつ前記素子が駆動する期間における前記関係に基づき前記第2補正係数を算出する構成とすることができる。
【0008】
上記構成において、前記素子は、前記流体を前記第1センサおよび前記第2センサに供給するポンプである構成とすることができる。
【0009】
上記構成において、前記更新部は、前記第1センサが駆動し、かつ前記素子が駆動する前の前記素子が駆動しない第1期間、前記第1センサが駆動し、かつ前記素子が駆動する第2期間、および前記第1センサが駆動し、かつ前記素子が駆動した後の前記素子が駆動しない第3期間、の少なくとも2つの期間における前記関係に基づき前記第2補正係数を算出する構成とすることができる。
【0010】
上記構成において、前記更新部は、前記少なくとも2つの期間において、対応する前記第2補正係数を算出し、算出された前記対応する第2補正係数を比較することで、前記対応する第2補正係数が正常か否かを判定する構成とすることができる。
(【0011】以降は省略されています)

この特許をJ-PlatPatで参照する

関連特許

太陽誘電株式会社
検出装置
12日前
太陽誘電株式会社
コイル部品
12日前
太陽誘電株式会社
コイル部品
12日前
太陽誘電株式会社
積層セラミック電子部品
3日前
太陽誘電株式会社
においセンサ及び感応膜
10日前
太陽誘電株式会社
全固体電池およびその製造方法
10日前
太陽誘電株式会社
弾性波デバイス、フィルタ、マルチプレクサ、および弾性波デバイスの製造方法
4日前
太陽誘電株式会社
磁性基体、磁性基体を備えるコイル部品、コイル部品を備える回路基板、及び回路基板を備える電子機器
13日前
オンキヨー株式会社
システム
5日前
株式会社ヨコオ
検査治具
17日前
個人
歩行者音声ガイドシステム
16日前
横河電機株式会社
光学プローブ
5日前
太陽誘電株式会社
検出装置
1か月前
昭電工業株式会社
測定装置
18日前
株式会社豊田自動織機
無人走行体
20日前
太陽誘電株式会社
検出装置
12日前
大和製衡株式会社
重量選別機
10日前
村田機械株式会社
変位検出装置
20日前
株式会社ニシヤマ
物品取付装置
13日前
キーコム株式会社
試験システム
23日前
矢崎総業株式会社
センサ
12日前
トヨタ自動車株式会社
測定治具
20日前
株式会社ニシヤマ
物品取付装置
13日前
キーコム株式会社
試験システム
23日前
三恵技研工業株式会社
レドーム
1か月前
株式会社ミヤワキ
診断装置
1か月前
株式会社ミヤワキ
診断装置
1か月前
TDK株式会社
ガスセンサ
1か月前
株式会社ミヤワキ
診断装置
1か月前
株式会社シンカグループ
計測装置
1か月前
日本精工株式会社
軸受装置
1か月前
アズビル株式会社
オイル封入方法
1か月前
TDK株式会社
ガスセンサ
1か月前
TDK株式会社
磁気センサ
17日前
個人
氷河融雪水流出量の推定方法
4日前
大同特殊鋼株式会社
形状検出装置
12日前
続きを見る