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公開番号2024070404
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-23
出願番号2022180871
出願日2022-11-11
発明の名称プローブおよび電気的接続装置
出願人株式会社日本マイクロニクス
代理人個人,個人
主分類G01R 1/073 20060101AFI20240516BHJP(測定;試験)
要約【課題】ランドと安定して接触することが可能なプローブおよび電気的接続装置を提供する。
【解決手段】プローブは、第1端部と第2端部を有し、軸方向に垂直な断面が多角形状である柱形状の母材と、第2端部の先端面に接続する複数の側面のうち第1方向を向く側面を除いた第2端部の残余の側面および第2端部の先端面を覆う接触膜を備える。接触膜の第2端部の先端面を覆う端面は、軸方向と直交する平面である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
検査対象物の電気的特性の検査に使用されるプローブであって、
前記検査において前記検査対象物と接触する第１端部、および第２端部を有し、軸方向に垂直な断面が多角形状である柱形状の母材と、
前記第２端部の先端面に接続する複数の側面のうち第１方向を向く側面を除いた前記第２端部の残余の側面および前記第２端部の前記先端面を覆う接触膜と
を備え、
前記接触膜の前記第２端部の前記先端面を覆う端面は、前記軸方向と直交する平面である、
プローブ。
続きを表示（約 580 文字）【請求項２】
前記第１方向から見て、前記接触膜の前記端面の角部が面取りされている、請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
前記接触膜の外側に露出し、且つ、前記接触膜に覆われた領域に接続する前記第２端部の領域が、前記先端面の方向に向かって前記母材の断面が次第に狭くなるテーパー形状である、請求項１に記載のプローブ。
【請求項４】
前記軸方向に垂直な前記母材の断面が矩形状である、請求項１に記載のプローブ。
【請求項５】
前記母材よりも前記接触膜の導電性が高い、請求項１に記載のプローブ。
【請求項６】
ガイド穴がそれぞれ形成された第１ガイド板と第２ガイド板を離隔して配置した構成を有するプローブヘッドと、
前記ガイド穴に挿入されて前記プローブヘッドに保持される、請求項１乃至５のいずれか１項に記載のプローブと
を備え、
同一の前記プローブが貫通する前記ガイド穴について、前記第１ガイド板の前記ガイド穴に対して前記第２ガイド板の前記ガイド穴の位置が前記第１ガイド板の主面と平行なオフセット方向にずらしてオフセット配置されて、前記第１ガイド板と前記第２ガイド板の間で前記母材が湾曲した状態で保持され、
前記第１方向が前記オフセット方向である、電気的接続装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の電気的特性の検査に使用するプローブおよび電気的接続装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路などの検査対象物の電気的特性をウェハ状態で検査するために、プローブを含む電気的接続装置が使用されている。プローブを用いた検査では、プローブの一方の端部を検査対象物の電極に接触させ、プローブの他方の端部をプリント基板などに配置された端子（以下において「ランド」という。）に接触させる。ランドは、テスタなどの検査装置と電気的に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－１１８０６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
検査対象物の電気的特性を正確に検査するために、プローブとランドの接触が安定している必要がある。本発明は、ランドと安定して接触することが可能なプローブおよび電気的接続装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様に係るプローブは、第１端部と第２端部を有し、軸方向に垂直な断面が多角形状である柱形状の母材と、第２端部の先端面に接続する複数の側面のうち第１方向を向く側面を除いた第２端部の残余の側面および第２端部の先端面を覆う接触膜を備える。接触膜の第２端部の先端面を覆う端面は、軸方向と直交する平面である。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、ランドと安定して接触することが可能なプローブおよび電気的接続装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
本発明の実施形態に係るプローブの構成を示す模式図である。
図１のＩＩ－ＩＩ方向に沿った模式的な断面図である。
本発明の実施形態に係るプローブの第２端部の構成を示す模式的な斜視図である。
本発明の実施形態に係るプローブの第２端部の構成を示す模式的な斜視図である。
本発明の実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す模式図である。
第１比較例のプローブとランドの接触した状態を示す模式図である。
本発明の実施形態に係るプローブとランドの接触した状態を示す模式図である。
テーパー形状ではないプローブが隣接して配置された状態を示す模式図である。
テーパー形状のプローブが隣接して配置された状態を示す模式図である。
第２比較例のプローブの第２端部の構成を示す模式的な斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置及び製造方法などを下記のものに特定するものでない。
【０００９】
図１に示す実施形態に係るプローブ１は、検査対象物の電気的特性の検査に使用される。プローブ１は、検査において検査対象物（図示略）と接触する一方の端部である第１端部１１と、他方の端部である第２端部１２を有する母材１０と、母材１０の第２端部１２の一部を覆う接触膜１３を備える。母材１０は、軸方向Ｄ３に沿って延伸する柱形状である。検査対象物の検査において、第２端部１２はランドと接触する。
【００１０】
母材１０は、軸方向Ｄ３に垂直な断面（以下において、単に「断面」という。）が多角形状である。以下では、図２に示すように、母材１０の断面が矩形状である場合を例示的に説明する。第２端部１２は、先端面１２１に接続する４つの側面を有する。即ち、第２端部１２は、第１方向Ｄ１を向く第１側面Ｓ１、第１方向Ｄ１の反対を向く第２側面Ｓ２、第１方向Ｄ１に垂直な第２方向Ｄ２を向く第３側面Ｓ３、および第２方向Ｄ２の反対を向く第４側面Ｓ４を有する。以下、第１側面Ｓ１から第４側面Ｓ４のそれぞれを限定しない場合には、側面Ｓと表記する。
（【００１１】以降は省略されています）

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