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公開番号2024064992
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-14
出願番号2023125444
出願日2023-08-01
発明の名称変位センサ
出願人株式会社村田製作所
代理人個人
主分類G01B 7/16 20060101AFI20240507BHJP(測定;試験)
要約【課題】変位センサの湾曲を抑制し、センサの特性が変化することを抑制する。
【解決手段】変位センサ10は、ベース材20及びセンサシート30を備えるセンサ部SDと、第1カバーシート50と、を備えている。ベース材20は、板状である。センサシート30は、ベース材20の第1主面20A上に配置されている。センサシート30は、ベース材20の変位量を計測可能である。第1カバーシート50は、センサシート30に対してベース材20とは反対側に配置されている。第1カバーシート50は、着脱可能である。第1カバーシート50の弾性率は、ベース材20の弾性率に対して大きい。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１主面を有する板状のベース材及び前記ベース材の前記第１主面上に配置され、前記ベース材の変位量を計測可能なセンサシートを備えるセンサ部と、
前記センサシートに対して前記ベース材とは反対側に、着脱可能に配置された第１カバーシートと、
を備え、
前記第１カバーシートの弾性率は、前記ベース材の弾性率より大きい
変位センサ。
続きを表示（約 750 文字）【請求項２】
前記第１カバーシートの弾性率は、前記センサ部の弾性率より大きい
請求項１に記載の変位センサ。
【請求項３】
前記センサシートは、伸長した状態で前記ベース材に取り付けられている
請求項２に記載の変位センサ。
【請求項４】
前記センサ部は、前記センサシートと前記第１カバーシートとの間に位置する保護シートをさらに備える
請求項１に記載の変位センサ。
【請求項５】
前記ベース材の前記第１主面とは反対の第２主面側に着脱可能に配置された第２カバーシートをさらに備え、
前記第２カバーシートの弾性率は、前記ベース材の弾性率より大きい
請求項１に記載の変位センサ。
【請求項６】
前記第２カバーシートの弾性率は、前記センサ部の弾性率より大きい
請求項５に記載の変位センサ。
【請求項７】
第１主面を有する板状のベース材及び前記ベース材の前記第１主面上に配置され、前記ベース材の変位量を計測可能なセンサシートを備えるセンサ部と、
前記ベース材の前記第１主面とは反対の第２主面側に、着脱可能に配置された第１カバーシートと、
を備え、
前記第１カバーシートの弾性率は、前記ベース材の弾性率より大きい
変位センサ。
【請求項８】
前記第１カバーシートの弾性率は、前記センサ部の弾性率より大きい
請求項７に記載の変位センサ。
【請求項９】
前記第１主面の法線方向から平面視したときに、前記第１カバーシートは前記センサシートの全域を覆っている
請求項１～８のいずれか一項に記載の変位センサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、変位センサに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載のひずみセンサは、板状のベース板と、フィルム状のセンサ素子とを有している。センサ素子は、ベース板の一方の主面に積層されている。センサ素子は、第１保護膜、第１電極、圧電フィルム、第２電極、及び第２保護膜を有している。センサ素子は、これらの部材が上述の順番に積層された構造である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－００８３９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載のようなひずみセンサを保管する際、当該ひずみセンサが湾曲した状態で保管されることもある。このようにひずみセンサが湾曲すると、その湾曲の一部がセンサシートの不可逆的な湾曲として残存することがある。この場合、センサシートの特性が変化することになるので、ひずみセンサの検出精度に悪影響を及ぼすおそれがある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明は、第１主面を有する板状のベース材及び前記ベース材の前記第１主面上に配置され、前記ベース材の変位量を計測可能なセンサシートを備えるセンサ部と、前記センサシートに対して前記ベース材とは反対側に、着脱可能に配置された第１カバーシートと、を備え、前記第１カバーシートの弾性率は、前記ベース材の弾性率より大きい変位センサである。
【０００６】
また、上記課題を解決するため、本発明は、第１主面を有する板状のベース材及び前記ベース材の前記第１主面上に配置され、前記ベース材の変位量を計測可能なセンサシートを備えるセンサ部と、前記ベース材の前記第１主面とは反対の第２主面側に、着脱可能に配置された第１カバーシートと、を備え、前記第１カバーシートの弾性率は、前記ベース材の弾性率より大きい変位センサである。
【０００７】
上記構成によれば、カバーシートは、ベース材よりも変形しにくい。そのため、カバーシートがセンサ部に配置されていることにより、ベース材の湾曲を抑制できる。すなわち、ベース材の第１主面に位置するセンサシートの湾曲を抑制できる。その結果、変位センサの保管時等に、センサ特性が変化してしまうことを抑制できる。
【発明の効果】
【０００８】
変位センサの湾曲を抑制し、センサの特性が変化することを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、第１実施形態の変位センサの平面図である。
図２は、図１における２－２線に沿った断面図である。
図３は、第１実施形態における引張試験を説明する図である。
図４は、比較例となる変位センサの湾曲の様態を説明する図である。
図５は、第１実施形態における変位センサ及び比較例となる変位センサを保管したときの抵抗値の変化を示す図である。
図６は、第２実施形態の変位センサの断面図である。
図７は、変更例の変位センサの断面図である。
図８は、変更例の変位センサの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（第１実施形態）
以下、変位センサの第１実施形態について説明する。なお、図面は理解を容易にするために構成要素を拡大して示している場合がある。構成要素の寸法比率は実際のものと、又は別の図中のものと異なる場合がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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